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公开(公告)号：KR1020110009620A
公开(公告)日：2011-01-28
申请号：KR1020100065278
申请日：2010-07-07
Applicant: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Inventor： 기무라도시유키
CPC classification number: F04B37/08 , F04B49/065 , F04B2201/0801
Abstract: PURPOSE: A cryo-pump and a monitoring method for the same are provided to implement an operating state of a cryo-pump, suitable for a vacuum device in which the cryo-pump is installed, using the cryo-pump controller. CONSTITUTION: A cryo-pump(10) discharges gas from a vacuum chamber of a vacuum device. The cryo-pump comprises a refrigerator(12), a cryo-panel(14) which is cooled with the refrigerator, and a controller which controls the operation frequency of the refrigerator to achieve the target temperature of the cryo-panel. The controller monitors the operation frequency for a first determination time when the operation frequency of the refrigerator reaches a first determination standard and for a second determination time shorter than the first determination time when reaching a second determination standard.
Abstract translation: 目的：提供一种低温泵及其监测方法，以使用冷冻泵控制器来实现适用于安装有低温泵的真空装置的低温泵的运行状态。 构成：冷冻泵（10）从真空装置的真空室排出气体。 冷冻泵包括冰箱（12），用冰箱冷却的冷冻面板（14），以及控制冰箱的操作频率以实现冷冻面板的目标温度的控制器。 当达到第二确定标准时，当冰箱的操作频率达到第一确定标准并且比第一确定时间短的第二确定时间时，控制器监视操作频率的第一确定时间。
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公开(公告)号：KR2019910006262Y1
公开(公告)日：1991-08-19
申请号：KR2019880007430
申请日：1988-05-19
Applicant: 도키코 가부시키 가이샤
CPC classification number: F04B49/10 , F04B2201/0801 , F04B2201/0802
Abstract: 내용 없음.
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公开(公告)号：KR1020180075058A
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160178951
申请日：2016-12-26
Applicant: 주식회사 유시스템
CPC classification number: F04B49/065 , F04B49/10 , F04B2201/0801 , F04B2203/00 , G08B5/22 , G08B21/18
Abstract: 공기압축시스템모니터링장치및 그동작방법이개시된다. 본발명에따른복수의공기압축기들(상기복수의공기압축기들각각에는압축공기를저장하기위한탱크와상기복수의공기압축기들각각의탱크에공기를압축해서전달하기위한복수의구동모터들이탑재되어있음)을포함하는공기압축시스템장치를모니터링하기위한공기압축시스템모니터링장치는공기압축기에대한복수의선정된(predetermined) 서로다른압력값 범위들과상기복수의선정된서로다른압력값 범위들각각에대응하는구동모터에대한최적소비전력값 범위들이대응되어기록되어있는소비전력테이블을저장하여유지하는소비전력테이블유지부, 상기공기압축시스템장치로부터선정된주기간격으로상기복수의공기압축기들각각의공기압축에따른압력값을수신하는압력값 수신부, 상기공기압축시스템장치로부터상기선정된주기간격으로상기복수의구동모터들각각의구동에따른소비전력값을수신하는소비전력값 수신부, 상기복수의공기압축기들각각의압력값을기초로상기소비전력테이블내에서상기복수의공기압축기들각각의압력값이속하는압력값 범위를확인한후 상기복수의구동모터들각각의소비전력값이상기소비전력테이블내에서상기복수의공기압축기들중 대응되는공기압축기의압력값이속하는압력값 범위에대응하는최적소비전력값 범위에포함되는지여부를확인하는소비전력확인부, 상기복수의구동모터들중 제1 구동모터의소비전력값이상기소비전력테이블내에서제1 공기압축기(상기제1 공기압축기는공기압축을위해상기제1 구동모터가탑재되어있는공기압축기임)의압력값이속하는압력값 범위에대응하는최적소비전력값 범위에포함되지않는것으로확인된경우, 상기제1 구동모터에대해고장의심상태로판단하는고장의심상태판단부및 디스플레이를통해상기제1 구동모터가고장의심상태임을나타내는제1 경고메시지를출력하는경고메시지출력부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101761837B1
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020170010550
申请日：2017-01-23
Applicant: (주)에스엠테크
Inventor： 양철수
CPC classification number: F04D15/0263 , F04B49/06 , F04B2201/0801 , F04B2203/0201 , H04L51/02
Abstract: 본발명은펌프에전달되는전류값과펌프의온도를실시간으로측정하여미리설정된안정범위를벗어나는경우펌프의소손을방지하기위해펌프의작동을중지시키는펌프의소손및 위험감지제어방법에관한것이다.종래수배관의내측또는수중에설치되는펌프는유지보수의관리가매우어렵게되므로, 이를펌프의고장을사전에방지하는기술이현장실무에서는절실히요구되었으나이에대한대비책이전혀마련되지않았다. 이를개선하기위해본 발명은펌프의일측에는온도센서가설치되고, 펌프의전류공급단자에는전류측정기가전기적으로연결되며, 과전류를차단하는계전기가설치된펌프의제어방법에있어서, 상기제어반에는온도센서와전류측정기에서전달된측정값을신호변환부에서데이터로변환하여, 연산부를통해미리저장부가저장되어있는된 온도/전류상관테이블의온도및 한계전류값으로이루어지는설정값과비교하되, 상기온도/전류상관테이블은일정온도에서일정간격마다온도별한계전류값을저장한데이터테이블로서, 펌프의온도가한계온도값이상인경우에제어반에서는펌프의소손을방지하기위해측정된전류값과상관없이즉각정지신호를발생하고, 펌프의온도가일정범위이내인경우에는연산된온도값에따라온도/전류상관테이블의한계전류값을특정하고, 펌프에서측정되어제어반에서변환된전류값이상기한계전류값보다큰 경우펌프의소손을방지하기위해펌프의가동을중지하는정지신호를발생하는것을특징으로하는펌프의소손및 위험감지제어방법을제안한다. 본발명에의한펌프의소손및 위험감지제어방법은펌프에전달되는전류값과펌프의온도를실시간으로측정하여미리설정된안정범위를벗어나는경우펌프의소손을방지하기위해펌프의작동을중지시킴으로써펌프소손을미연에방지할수 있는효과가있다. 또한, 본발명은검출된전류값과온도값을통해파손된관로의부하원을유지하기위해펌프가과도하게작동하게되는것을감지하여관로파손을예측하여수배관의유지보수편의성을향상되는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及泵的损坏和危险检测控制方法停止电流值和所述泵的操作，以防止在泵壳体的恶化是通过实时泵的温度测量预先被传递到泵设置的稳定范围之外。 以往，由于设置在水管内或水管下方的泵的维护变得难以管理，因此在现场实践中需要防止泵失效的技术，但根本没有采取措施。 本发明以改善，这是是泵，所述泵电流供给端子和电流计的温度传感器装配侧电连接到，在控制泵继电器切断的方法的安装过电流，控制面板包括温度传感器 通过从涡电流仪器以在信号转换单元中，计算的数据传输测量值的转换，但通过所述温度/电流由温度并限制所存储的温度/电流相关表的电流值预先设定值存储单元相比 任何表是jeojanghan温度的数据表通过在恒定温度下限制以规则的间隔的电流值，在的情况下泵比控制面板的极限温度的值，并且为了防止泵的劣化无论立即停止信号测量的电流值的温度 当泵的温度在一定范围内时，根据计算出的温度值指定温度/电流相关表的极限电流值， 并且当电流值大于控制器的转换器电流极限值时，产生用于停止泵操作的停止信号，以防止泵燃尽。 根据本发明的控制燃尽和泵风险的方法是实时控制泵的当前值和温度，并停止泵的操作以防止燃烧 - 有一个效果，它可以预先预防。 此外，本发明通过检测到的电流值和温度值来检测泵的过度操作，以便保持断开的管的负载源，并预测管断裂，从而提高了水管的维护便利性 有。
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公开(公告)号：KR101687278B1
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：KR1020157004413
申请日：2013-03-27
Applicant: 얀마 가부시키가이샤
CPC classification number: F02M53/02 , F02M53/00 , F02M59/42 , F02M59/44 , F02M63/0001 , F04B53/04 , F04B2201/0801
Abstract: 연료분사펌프내에결로가생겨, 그것이동결된상태에서엔진시동이불가능하게되는것을방지하는기술을제공한다. 본발명은, 펌프본체와하이드롤릭헤드(hydraulic head)를구비하고, 엔진에의해구동되는연료분사펌프에관한것으로, 상기엔진운전중에, 상기하이드롤릭헤드의온도를이슬점온도이상으로승온시키는것을특징으로한다. 이에따라, 엔진운전중에하이드롤릭헤드를승온시켜, 연료분사펌프내의수분을제거할수 있다. 따라서, 연료분사펌프내에결로가생겨, 그것이동결된상태에서엔진시동이불가능하게되는것을방지할수 있다.
Abstract translation: 提供一种防止发动机在燃料喷射泵发生结露而冻结的状态下不能起动的结构。 燃料喷射泵技术领域本发明涉及一种具有泵体和液压头并由发动机驱动的燃料喷射泵，其特征在于，在发动机运转时，液压头的温度升高至露点， 点温度以上。 因此，可以在发动机运转时，提高液压头的温度并除去燃料喷射泵中的水。 因此，能够防止发动机在燃料喷射泵发生结露而冻结的状态下不能起动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150032908A
公开(公告)日：2015-03-30
申请号：KR1020157004413
申请日：2013-03-27
Applicant: 얀마 가부시키가이샤
CPC classification number: F02M53/02 , F02M53/00 , F02M59/42 , F02M59/44 , F02M63/0001 , F04B53/04 , F04B2201/0801 , F01M1/00 , F04B53/18
Abstract: 연료 분사 펌프 내에 결로가 생겨, 그것이 동결된 상태에서 엔진 시동이 불가능하게 되는 것을 방지하는 기술을 제공한다. 본 발명은, 펌프 본체와 하이드롤릭 헤드(hydraulic head)를 구비하고, 엔진에 의해 구동되는 연료 분사 펌프에 관한 것으로, 상기 엔진 운전중에, 상기 하이드롤릭 헤드의 온도를 이슬점 온도 이상으로 승온시키는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 엔진 운전중에 하이드롤릭 헤드를 승온시켜, 연료 분사 펌프 내의 수분을 제거할 수 있다. 따라서, 연료 분사 펌프 내에 결로가 생겨, 그것이 동결된 상태에서 엔진 시동이 불가능하게 되는 것을 방지할 수 있다.
Abstract translation: 提供一种防止发动机在燃料喷射泵发生结露而冻结的状态下不能起动的结构。 燃料喷射泵技术领域本发明涉及一种具有泵体和液压头并由发动机驱动的燃料喷射泵，其特征在于，在发动机运转时，液压头的温度升高至露点， 点温度以上。 因此，可以在发动机运转时，提高液压头的温度并除去燃料喷射泵中的水。 因此，能够防止发动机在燃料喷射泵发生结露而冻结的状态下不能起动。
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公开(公告)号：KR1020150005945A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020147030575
申请日：2013-04-24
Applicant: 에드워즈 리미티드
Inventor： 태터살잭레이몬드
CPC classification number: F04B49/02 , F04B23/04 , F04B49/20 , F04B2201/0801 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/06 , F04C2220/30 , F04C2270/701 , F04D19/046 , F04D27/0261 , F04D27/0292 , F05D2260/85
Abstract: 프로세스 챔버를 배기하기 위해, 부스터 펌프 및 이 부스터 펌프 하류측의 보조 펌프를 구비하는 진공 펌프 구성체를 예열하기 위한 방법은, 부스터 펌프가 아이들 모드에 있을 때, 부스터 펌프의 아이들 속도보다 높은 제 1 속도로 부스터 펌프를 설정하는 단계, 및 적어도 진공 펌프 구성체가 아이들 모드로부터 활성화될 때부터 부스터 펌프가 제 1 소정 문턱 값 이상인 온도에 도달할 때까지의 기간 동안, 부스터 펌프의 유출구에서의 보조 압력을 0.1mbar 내지 10mbar의 범위 내로 제어하는 방법을 포함한다. 이러한 방법은 제어기가 상술된 동작을 수행하도록 구성된 시스템에서 실행된다.
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公开(公告)号：JP6208219B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2015509479
申请日：2013-04-24
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor： タッターソール ジャック レイモンド
CPC classification number: F04B49/02 , F04B23/04 , F04B49/20 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/06 , F04D19/046 , F04D27/008 , F04D27/0261 , F04B2201/0801 , F04C2220/30 , F04C2270/701
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公开(公告)号：JP5989131B2
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：JP2014547810
申请日：2012-11-27
Inventor： カルベック・アレクサンダー , シッケ・ユルゲン , メルクル・クリスティアン
CPC classification number: F04B49/02 , F04B49/06 , F04C25/02 , F04C28/06 , H02P6/20 , F04B2201/0801 , F04C2270/075 , F04C2270/701
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公开(公告)号：JP2015516044A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：JP2015509479
申请日：2013-04-24
Applicant: エドワーズ リミテッド , エドワーズ リミテッド
Inventor： ジャック レイモンド タッターソール , ジャック レイモンド タッターソール
CPC classification number: F04B49/02 , F04B23/04 , F04B49/20 , F04B2201/0801 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/06 , F04C2220/30 , F04C2270/701 , F04D19/046 , F04D27/008 , F04D27/0261
Abstract: 【課題】真空ポンプ装置をアイドルモードから迅速にウォーミングアップして、加工システムをアイドルモードから通常作動モードに移行させるのに要する時間を短縮する真空ポンプ装置のウォーミングアップ方法および装置を提供することにある。【解決手段】ブースタポンプと、プロセスチャンバを真空引きするための、ブースタポンプの下流側のバッキングポンプとを有する真空ポンプ装置をウォーミングアップする方法において、ブースタポンプがアイドルモードにあるときのブースタポンプのアイドル速度より速い第1速度にブースタポンプを設定する工程と、真空ポンプ装置がアイドルモードから付勢されるときから、ブースタポンプが第1所定閾値に等しいかまたはこれを超える温度に到達するときまでの少なくとも一定時間、ブースタポンプの出口でのバッキング圧力を0.1ミリバールから10ミリバールの範囲内に制御する工程とを有することを特徴とする方法。この方法を実施する装置も提供する。【選択図】図1
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