金属表面処理装置及びこれを利用した金属表面処理方法
    22.
    发明专利
    金属表面処理装置及びこれを利用した金属表面処理方法 有权
    金属表面处理装置和使用其的金属表面处理方法

    公开(公告)号:JP2016501316A

    公开(公告)日:2016-01-18

    申请号:JP2015549261

    申请日:2013-12-19

    CPC classification number: C23C8/24 C23C8/04

    Abstract: 本発明の金属表面処理装置は、表面処理ができる温度に加熱された対象金属を表面処理する金属表面処理装置において、前記対象金属の外面形状に対応される形状からなり、前記対象金属の外面と一定間隔以内に配置され、前記対象金属の少なくとも一部を収容する反応チャンバー及び前記反応チャンバー内に収容された対象金属側へ自己触媒反応に必要な処理ガスを供給する処理ガス供給部を含む。そして、これを利用した金属表面処理方法は、対象金属の外面形状に対応される形状からなり、前記対象金属の外面と一定間隔以内に配置され、前記対象金属の少なくとも一部を収容する反応チャンバー内に対象金属を位置させる段階及び処理ガス供給部を通じて前記反応チャンバー内に処理ガスを供給して、前記対象金属に自己触媒反応による処理ガス層を形成する段階を含む。【選択図】図1

    Abstract translation: 本发明的金属表面处理设备是一种用于表面处理目标金属的金属表面处理装置,其被加热到能够表面处理的温度由对应于所述目标金属的外轮廓形状,并且对象金属的外表面 设置在一定距离内,包括用于提供到经受容纳在反应室中的金属端和用于容纳所述反应室中的自催化至少所述目标金属的一部分所需要的处理气体的处理气体供给单元。 使用相同的金属表面处理方法包括对应于目标金属,所述外表面的所述目标金属的外表面的形状和被设置在一定距离内的形状,至少包含目标金属的一部分在反应室 将处理气体提供到通过该级和所述处理气体供给部的反应室来定位内的靶金属,包括通过自催化形成工艺气体层的步骤对所述受试者的金属。 点域1

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