公开(公告)号：TW200827729A

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：TW096149662

申请日：2007-12-24

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07357

Abstract: 本發明係提供可容易進行配線之確定,並且可提升耐久性之一種探針單元之配線固定方法及探針單元。為了此目的,係在將配線插通於設在配線基板之插通孔之後,於將配線基板安裝於探針支架之際從與探針支架相對向之插通孔之端面,將用以固著配線與配線基板之固著材料充填於插通孔與插通於該插通孔之配線的間隙中除了配線延伸至插通孔外部之側的端面附近以外之間隙。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供可容易进行配线之确定,并且可提升耐久性之一种探针单元之配线固定方法及探针单元。为了此目的,系在将配线插通于设在配线基板之插通孔之后,于将配线基板安装于探针支架之际从与探针支架相对向之插通孔之端面,将用以固着配线与配线基板之固着材料充填于插通孔与插通于该插通孔之配线的间隙中除了配线延伸至插通孔外部之侧的端面附近以外之间隙。

公开(公告)号：TW200804831A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：TW096120475

申请日：2007-06-07

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 佐佐木俊輔 SASAKI, SHUNSUKE ,  井沼毅 INUMA, TSUYOSHI ,  山田佳男 YAMADA, YOSHIO ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  赤尾崇 AKAO, TAKASHI ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378

Abstract: 本發明提供可容易地以低成本實現空間轉換件之剛性提升的探針卡。為了達成該目的而具備:平板狀之配線基板11,係具有對應產生檢查用信號之電路構造的配線圖案;中介件13,係積層在配線基板11,而中繼配線基板11之配線;空間轉換件14,係積層在中介件13並由接著劑19固定,而轉換由中介件13所中繼之配線的間隔,並使該配線露出至對向於中介件13之側的相反側之表面;以及探針頭15,係積層於空間轉換件14,且收容保持複數個探針。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供可容易地以低成本实现空间转换件之刚性提升的探针卡。为了达成该目的而具备:平板状之配线基板11,系具有对应产生检查用信号之电路构造的配线图案;中介件13,系积层在配线基板11,而中继配线基板11之配线;空间转换件14,系积层在中介件13并由接着剂19固定,而转换由中介件13所中继之配线的间隔,并使该配线露出至对向于中介件13之侧的相反侧之表面;以及探针头15,系积层于空间转换件14,且收容保持复数个探针。

公开(公告)号：TW200735247A

公开(公告)日：2007-09-16

申请号：TW095149161

申请日：2006-12-27

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 山田佳男 YAMADA, YOSHIO ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO

IPC: H01L ,  G01R

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R1/44 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2874

Abstract: 本發明提供一種無論檢查時的溫度環境為何皆可使探針確實地接觸在接觸對象之測試卡。為了達成該目的而構成為具備:複數個探針,係由導電性材料構成,用以接觸前述半導體晶圓所具有的電極焊墊,以進行電氣訊號之輸入或輸出;探針頭,係收容保持前述複數個探針;基板,係具有對應於前述電路構造的配線圖案;以及間隔變換器,係層積在前述探針頭,用於變更前述基板所具有的前述配線圖案之間隔且進行中繼,並具有對應該中繼之配線而設在與前述探針頭相對側表面的電極焊墊;前述探針之兩端係於具有檢查前述半導體晶圓時的最低溫度和最高溫度之平均溫度的環境下,接觸前述半導體晶圓及前述間隔變換器各自具有的前述電極墊之中央部附近。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种无论检查时的温度环境为何皆可使探针确实地接触在接触对象之测试卡。为了达成该目的而构成为具备:复数个探针,系由导电性材料构成,用以接触前述半导体晶圆所具有的电极焊垫,以进行电气信号之输入或输出;探针头,系收容保持前述复数个探针;基板,系具有对应于前述电路构造的配线图案;以及间隔变换器,系层积在前述探针头,用于变更前述基板所具有的前述配线图案之间隔且进行中继,并具有对应该中继之配线而设在与前述探针头相对侧表面的电极焊垫;前述探针之两端系于具有检查前述半导体晶圆时的最低温度和最高温度之平均温度的环境下,接触前述半导体晶圆及前述间隔变换器各自具有的前述电极垫之中央部附近。

公开(公告)号：TW200731443A

公开(公告)日：2007-08-16

申请号：TW095145094

申请日：2006-12-05

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  山田佳男 YAMADA, YOSHIO

IPC: H01L ,  G01R

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/07378

Abstract: 本發明之目的在於提供一種無論具有配線圖案之基板有無變形,仍可提高平面度及平行度之各精確度的探針卡。為了此目的,本發明之探針卡係具備:複數個探針,由導電性材料所構成,用以接觸半導體晶圓而進行電信號之輸入或輸出;探針頭,收容並保持上述複數個探針;基板,具有與產生檢查用信號之電路構造相對應的配線圖案;補强構件,裝設在上述基板以補强上述基板;中介件(interposer),疊層在上述基板以中繼上述基板之配線;空間轉換件(space transformer),其疊層在上述中介件及上述探針頭之間,用以轉換由上述中介件所中繼之配線的間隔以露出於與上述探針頭相對之側的表面;及複數個第1柱(post)構件,從上述基板之表面即疊層有上述中介件之部分的表面貫穿該基板而埋設,且具有比上述基板之板厚還大的高度。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种无论具有配线图案之基板有无变形,仍可提高平面度及平行度之各精确度的探针卡。为了此目的,本发明之探针卡系具备:复数个探针,由导电性材料所构成,用以接触半导体晶圆而进行电信号之输入或输出;探针头,收容并保持上述复数个探针;基板,具有与产生检查用信号之电路构造相对应的配线图案;补强构件,装设在上述基板以补强上述基板;中介件(interposer),叠层在上述基板以中继上述基板之配线;空间转换件(space transformer),其叠层在上述中介件及上述探针头之间,用以转换由上述中介件所中继之配线的间隔以露出于与上述探针头相对之侧的表面;及复数个第1柱(post)构件,从上述基板之表面即叠层有上述中介件之部分的表面贯穿该基板而埋设,且具有比上述基板之板厚还大的高度。

公开(公告)号：TWI284204B

公开(公告)日：2007-07-21

申请号：TW091115267

申请日：2002-07-05

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA ,  石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  渡邊誠 MAKOTO WATANABE

IPC: G01R ,  H01R

CPC classification number: H01R13/2421 ,  G01R1/06722 ,  H01R11/18

Abstract: 對於經精細圖案化的接觸部，確保進行電氣檢查的針狀體位置精確度。具備：前端部3a接觸於形成圖案的接觸部的複數導電性針狀體3，及與各針狀體3同軸地被連結，並將針狀體3彈推朝與接觸部的接觸方向的複數導電性螺旋彈簧4，及形成有至少分別地收容螺旋彈簧4的收容孔12，同時在防脫狀態下使得針狀體3的前端部被拔出的導孔13形成能與各收容孔12相連通的絕緣性夾持具2。藉由將全部或一部分的導孔13之中心對於收容孔12之中心朝相同平面內的特定一方向偏離，以確保針狀體3的位置精確度。

Abstract in simplified Chinese: 对于经精细图案化的接触部，确保进行电气检查的针状体位置精确度。具备：前端部3a接触于形成图案的接触部的复数导电性针状体3，及与各针状体3同轴地被链接，并将针状体3弹推朝与接触部的接触方向的复数导电性螺旋弹簧4，及形成有至少分别地收容螺旋弹簧4的收容孔12，同时在防脱状态下使得针状体3的前端部被拔出的导孔13形成能与各收容孔12相连通的绝缘性夹持具2。借由将全部或一部分的导孔13之中心对于收容孔12之中心朝相同平面内的特定一方向偏离，以确保针状体3的位置精确度。

公开(公告)号：TWI275799B

公开(公告)日：2007-03-11

申请号：TW091104979

申请日：2002-03-15

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378 ,  G01R3/00

Abstract: 藉著疊層複數個塑膠堆層總成(6)，各該總成與一補強板(3)合併，並藉著將其加熱整體地結合形成支撐構件總成(1)。支架孔(2)係形成在總成對應該補強板(3)之開孔(3a)的部件中，該補強構件增強了支撐構件總成的整體機械強度。此外，由於能夠堆層一些補強板，且可使各補強板具有一微小厚度，故鄰接開孔間之補強板的條帶工作能夠毫無困難地完成，並能夠降低此一支撐構件的製造成本。當此塑膠堆層總成包含塑膠材料時，該塑膠材料係由不織纖維滲入熱固樹脂所形成，由於該不織纖維之纖維係相當短與細微，使得用來接收導電性接觸構件之支架孔的鑽孔能夠更為順利，且能夠更為經濟地加以實行。

Abstract in simplified Chinese: 借着叠层复数个塑胶堆层总成(6)，各该总成与一补强板(3)合并，并借着将其加热整体地结合形成支撑构件总成(1)。支架孔(2)系形成在总成对应该补强板(3)之开孔(3a)的部件中，该补强构件增强了支撑构件总成的整体机械强度。此外，由于能够堆层一些补强板，且可使各补强板具有一微小厚度，故邻接开孔间之补强板的条带工作能够毫无困难地完成，并能够降低此一支撑构件的制造成本。当此塑胶堆层总成包含塑胶材料时，该塑胶材料系由不织纤维渗入热固树脂所形成，由于该不织纤维之纤维系相当短与细微，使得用来接收导电性接触构件之支架孔的钻孔能够更为顺利，且能够更为经济地加以实行。

公开(公告)号：TWI269879B

公开(公告)日：2007-01-01

申请号：TW093104323

申请日：2004-02-20

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314

Abstract: 高精度地進行形成在TAB，COF等帶的電極墊片的檢查。對於以一定間隔設於帶1的電路圖案形成領域10，10a的複數電極墊片11，藉由大約以垂直狀態配置於測試裝置2的複數探針21從大約垂直方向分別接觸俾進行電性檢查將與對應於各電路圖案形成領域10，10a地形成於帶表面的對位用對準標記13a，13b，13c，13d相對應的標記確認孔26設於測試裝置2，而在測試裝置2與帶1的相反側配置攝影機31的狀態下，一面經由攝影機31進行觀察一面調整測試裝置2與帶1的相對位置使得對準位置位於標記確認孔25的內部。

Abstract in simplified Chinese: 高精度地进行形成在TAB，COF等带的电极垫片的检查。对于以一定间隔设于带1的电路图案形成领域10，10a的复数电极垫片11，借由大约以垂直状态配置于测试设备2的复数探针21从大约垂直方向分别接触俾进行电性检查将与对应于各电路图案形成领域10，10a地形成于带表面的对位用对准标记13a，13b，13c，13d相对应的标记确认孔26设于测试设备2，而在测试设备2与带1的相反侧配置摄影机31的状态下，一面经由摄影机31进行观察一面调整测试设备2与带1的相对位置使得对准位置位于标记确认孔25的内部。

公开(公告)号：TW200700736A

公开(公告)日：2007-01-01

申请号：TW095115194

申请日：2006-04-28

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R ,  H01L ,  H01R

CPC classification number: G01R1/045 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/07371 ,  H01R13/2421 ,  H01R2201/20

Abstract: 本發明提供一種檢查對象之電路構造即使在傳輸高頻信號時亦可作對應,且具優越之强度及耐久性的導電性接觸子支持器及導電性接觸子單元。該導電性接觸子支持器係具備:支持器基板,由導電性材料形成,且形成有用以收容可對預定電路構造進行信號輸出入之信號用導電性接觸子的第1開口部;及保持構件,由絕緣性材料形成,且被插入於上述第1開口部,用以保持至少一個上述信號用導電性接觸子;其中,將上述保持構件之表面,亦即與該導電性接觸子支持器之表面呈平行的表面之最大外徑,設為比被收容於該導電性接觸子支持器之上述信號用導電性接觸子的軸線彼此間之最接近間隔更大。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种检查对象之电路构造即使在传输高频信号时亦可作对应,且具优越之强度及耐久性的导电性接触子支持器及导电性接触子单元。该导电性接触子支持器系具备:支持器基板,由导电性材料形成,且形成有用以收容可对预定电路构造进行信号输出入之信号用导电性接触子的第1开口部;及保持构件,由绝缘性材料形成,且被插入于上述第1开口部,用以保持至少一个上述信号用导电性接触子;其中,将上述保持构件之表面,亦即与该导电性接触子支持器之表面呈平行的表面之最大外径,设为比被收容于该导电性接触子支持器之上述信号用导电性接触子的轴线彼此间之最接近间隔更大。

公开(公告)号：TW200636848A

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：TW095104680

申请日：2006-02-13

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 川口博正 KAWAGUCHI, HIROMASA ,  木村敏明 KIMURA, TOSHIAKI ,  河上岳志 KAWAKAMI, TAKESHI

IPC: H01L ,  B24B ,  B32B

CPC classification number: B24B37/24 ,  Y10T428/249989 ,  Y10T428/249991 ,  Y10T428/249992

Abstract: 本發明之課題係提供一種於具有表面波紋之半導體晶圓或電路形成過程產生局部段差之晶圓，沿著該表面波紋或段差，於使晶圓全面均勻、使高低差緩和下可研磨之聚胺基甲酸酯發泡體中，吸水性、水膨脹性極低，不易因水產生變形之研磨墊用緩衝材。本發明之聚胺基甲酸酯發泡體，係於以多元醇與聚異氰酸酯反應所得的聚胺基甲酸酯發泡體中，其特徵為與水之接觸角為90°以上。該聚胺基甲酸酯發泡體以使用疏水性多元醇者較佳，且以形成自己表面層者較佳。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之课题系提供一种于具有表面波纹之半导体晶圆或电路形成过程产生局部段差之晶圆，沿着该表面波纹或段差，于使晶圆全面均匀、使高低差缓和下可研磨之聚胺基甲酸酯发泡体中，吸水性、水膨胀性极低，不易因水产生变形之研磨垫用缓冲材。本发明之聚胺基甲酸酯发泡体，系于以多元醇与聚异氰酸酯反应所得的聚胺基甲酸酯发泡体中，其特征为与水之接触角为90°以上。该聚胺基甲酸酯发泡体以使用疏水性多元醇者较佳，且以形成自己表面层者较佳。

公开(公告)号：TW200636253A

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：TW095110876

申请日：2006-03-29

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川浩嗣 ISHIKAWA, KOJI ,  永潤 TOMINAGA, JUN

IPC: G01R

Abstract: 本發明之目的在於提供一種可維持超狹窄間距且使用壽命長之精準度高的接觸探針。本發明之接觸探針(10)係具有於對檢查對象物進行電性檢查之際，直接連接於該檢查對象物之複數個樑狀懸臂(2)，並具備使懸臂(2)進行微小振動之壓電元件(4)，藉由驅動該壓電元件(4)，使懸臂(2)的前端產生上下振動，可容易將檢查對象物電極上的氧化被膜等加以刺破，而確實與電極接觸。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种可维持超狭窄间距且使用寿命长之精准度高的接触探针。本发明之接触探针(10)系具有于对检查对象物进行电性检查之际，直接连接于该检查对象物之复数个梁状悬臂(2)，并具备使悬臂(2)进行微小振动之压电组件(4)，借由驱动该压电组件(4)，使悬臂(2)的前端产生上下振动，可容易将检查对象物电极上的氧化被膜等加以刺破，而确实与电极接触。