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公开(公告)号：AT428951T
公开(公告)日：2009-05-15
申请号：AT06024826
申请日：2006-11-30
Applicant: SPATIAL PHOTONICS INC
Inventor： LEE CHII GUANG , KAO CHUN-TEH , HU HUNG KWEI , PAN SHAOHER X
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公开(公告)号：WO2010132424A3
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：PCT/US2010/034354
申请日：2010-05-11
Applicant: Spatial Photonics, Inc. , NOVOTNY, Vlad , MATUS, Gabriel
Inventor： NOVOTNY, Vlad , MATUS, Gabriel
Abstract: Systems and methods, such as for a MEMS device, can include a component having a contact portion that includes on one side a layer including hydrophilic functional groups and a coating formed on the layer. The coating can include hydrophilic functional groups adapted to interact with the hydrophilic functional groups of the layer. The coating can also include hydrophobic functional groups opposite the hydrophilic functional groups of the coating. The layer can be bonded to the component, and the coating can be bonded to the layer. The coating can be adapted to be formed on the layer while in vapor form and can include a lubricant. The layer can be an atomic monolayer or multilayer, such as of aluminum oxide, and the coating can include a fluorinated acid, such as perfluorodecanoic acid.
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公开(公告)号：WO2010132424A2
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：PCT/US2010034354
申请日：2010-05-11
Applicant: SPATIAL PHOTONICS INC , NOVOTNY VLAD , MATUS GABRIEL
Inventor： NOVOTNY VLAD , MATUS GABRIEL
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0075 , B81B2201/047
Abstract: Systems and methods, such as for a MEMS device, can include a component having a contact portion that includes on one side a layer including hydrophilic functional groups and a coating formed on the layer. The coating can include hydrophilic functional groups adapted to interact with the hydrophilic functional groups of the layer. The coating can also include hydrophobic functional groups opposite the hydrophilic functional groups of the coating. The layer can be bonded to the component, and the coating can be bonded to the layer. The coating can be adapted to be formed on the layer while in vapor form and can include a lubricant. The layer can be an atomic monolayer or multilayer, such as of aluminum oxide, and the coating can include a fluorinated acid, such as perfluorodecanoic acid.
Abstract translation: 诸如用于MEMS器件的系统和方法可以包括具有接触部分的部件，该部分在一侧包括包含亲水性官能团的层和形成在该层上的涂层。 涂层可以包括适于与层的亲水性官能团相互作用的亲水性官能团。 涂层还可以包括与涂层的亲水性官能团相对的疏水官能团。 该层可以结合到组分上，并且涂层可以结合到该层。 涂层可以适于在蒸气形式的层上形成并且可以包括润滑剂。 该层可以是原子单层或多层，例如氧化铝，并且涂层可以包括氟化酸，例如全氟癸酸。
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公开(公告)号：WO2005045477A3
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/US2004035662
申请日：2004-10-26
Applicant: SPATIAL PHOTONICS INC , PAN SHAOHER X
Inventor： PAN SHAOHER X
IPC: G02B26/00 , G02B20060101 , G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/0833
Abstract: The upper portion of the high contrast SLM is fully covered by arrays of micro-mirrors with a flat optically reflective layer (102) on the upper surfaces and a pair of embedded torsion hinges (106) under the cavities in the lower portion of mirror plate (103). Torsion hinges (106) in the mirror plate (103) are fabricated to be part of the mirror plate (103) and are kept a minimum distance under the reflective surface to allow only a gap for a predetermined angular rotation. By minimizing the distances between a hinge rotating axes (106) to the upper reflective surfaces (102), the SLM effectively eliminates the horizontal displacement of each minor during an angular transition. According to the present invention, the gaps between adjacent mirrors in the array of SLM can be reduced to less than 0.2 microns to achieve the highest active reflection area fill-ratio of a micro-mirror array at the present time.
Abstract translation: 高对比度SLM的上部完全由上表面上具有平坦光反射层（102）的微镜阵列覆盖，并且在镜板下部的空腔下面的一对嵌入的扭转铰链（106） （103）。 反射镜板（103）中的扭转铰链（106）被制造为镜板（103）的一部分，并且在反射表面下方保持最小距离，以允许只有间隙进行预定的旋转角度。 通过使铰链旋转轴线（106）与上部反射表面（102）之间的距离最小化，SLM在角度转换期间有效地消除了每个次要装置的水平位移。 根据本发明，SLM阵列中的相邻反射镜之间的间隙可以减小到小于0.2微米，以实现目前微镜阵列的最高有效反射区域填充比。
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公开(公告)号：TW201344858A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW102105536
申请日：2013-02-18
Applicant: 空間光子股份有限公司 , SPATIAL PHOTONICS, INC.
Inventor： 林辰華 , LIN, CHEN HUA , 葛爾德爾 羅蘭德 , GELDER, ROLAND VAN
CPC classification number: B81B7/0038 , B81C2203/0109 , B81C2203/019 , B81C2203/032
Abstract: 本發明涉及一種耐水分封裝件。還製造用於MEMS裝置的改進的耐水分封裝件的設備及方法，該耐水分封裝件具有可移動元件，該封裝件包括基板、在基板上的半透明蓋、密封體和水分阻擋體以及圍繞在基板和蓋子周邊的多個平行側壁。側壁具有端部以及位於側壁之間的區域，並且側壁將基板和蓋子分開足夠的距離以便對可移動元件的運動提供空間。該封裝件通過採用膠合劑層來密封，該膠合劑層至少部分填充位於側壁之間的區域，並且位於側壁的端部和基板或蓋子中的一種之間。該膠合劑層使基板或者蓋子分別與側壁的端部粘合。該膠合劑層和側壁一起防止水分進入封裝件。
Abstract in simplified Chinese: 本发明涉及一种耐水分封装件。还制造用于MEMS设备的改进的耐水分封装件的设备及方法，该耐水分封装件具有可移动组件，该封装件包括基板、在基板上的半透明盖、密封体和水分阻挡体以及围绕在基板和盖子周边的多个平行侧壁。侧壁具有端部以及位于侧壁之间的区域，并且侧壁将基板和盖子分开足够的距离以便对可移动组件的运动提供空间。该封装件通过采用胶合剂层来密封，该胶合剂层至少部分填充位于侧壁之间的区域，并且位于侧壁的端部和基板或盖子中的一种之间。该胶合剂层使基板或者盖子分别与侧壁的端部粘合。该胶合剂层和侧壁一起防止水分进入封装件。
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Patent Agency Ranking26.发明专利對於微型裝置的抗粘連材料的原位應用 IN SITU APPLICATION OF ANTI-STICTION MATERIALS TO MICRO DEVICES 审中-公开对于微型设备的抗粘连材料的原位应用 IN SITU APPLICATION OF ANTI-STICTION MATERIALS TO MICRO DEVICES
公开(公告)号：TW200824012A
公开(公告)日：2008-06-01
申请号：TW096123261
申请日：2007-06-27
Applicant: 視頻有限公司 SPATIAL PHOTONICS, INC.
Inventor： 潘蕭何 PAN, SHAOHER X.
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0005 , B81C1/0096 , B81C2201/112
Abstract: 用於應用抗黏連材料到在基板上的微型裝置的方法,包括在封裝裝置的表面或基板的表面引入抗黏連材料並且密封至少部分封裝裝置到基板的表面以形成用於封裝微型裝置和抗黏連材料的室。該微型裝置包括第一元件和第二元件。該方法還包括汽化抗黏連材料以及汽化抗黏連材料後,在第一元件的表面或第二元件的表面沈積抗黏連材料以阻止第一元件和第二元件間的黏連。
Abstract in simplified Chinese: 用于应用抗黏连材料到在基板上的微型设备的方法,包括在封装设备的表面或基板的表面引入抗黏连材料并且密封至少部分封装设备到基板的表面以形成用于封装微型设备和抗黏连材料的室。该微型设备包括第一组件和第二组件。该方法还包括汽化抗黏连材料以及汽化抗黏连材料后,在第一组件的表面或第二组件的表面沉积抗黏连材料以阻止第一组件和第二组件间的黏连。
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27.发明专利導電微結構的低溫製造 LOW TEMPERATURE FABRICATION OF CONDUCTIVE MICRO STRUCTURES 审中-公开导电微结构的低温制造 LOW TEMPERATURE FABRICATION OF CONDUCTIVE MICRO STRUCTURES
公开(公告)号：TW200823973A
公开(公告)日：2008-06-01
申请号：TW096123263
申请日：2007-06-27
Applicant: 視頻有限公司 SPATIAL PHOTONICS, INC.
Inventor： 潘蕭何 PAN, SHAOHER X.
CPC classification number: B81C1/00246 , B81B2201/047 , B81C2201/0176 , B81C2203/0721 , H01L21/02381 , H01L21/02532 , H01L21/0262
Abstract: 一種製造微結構的方法,包括:在低於550℃的溫度下在具有電路的襯底上沈積非晶矽以形成第一結構部分,其中第一結構至少設置一個從電路接收電信號的部分。
Abstract in simplified Chinese: 一种制造微结构的方法,包括:在低于550℃的温度下在具有电路的衬底上沉积非晶硅以形成第一结构部分,其中第一结构至少设置一个从电路接收电信号的部分。
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28.发明公开Simplified manufacturing process for micro mirrors 审中-公开Vereinfachtes HerstellungsverfahrenfürMikrospiegel
公开(公告)号：EP1927878A1
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：EP07121802.8
申请日：2007-11-28
Applicant: Spatial Photonics, Inc.
Inventor： Pan, Shaoher X.
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/042 , B81C1/00174
Abstract: A micro mirror includes a hinge support post on the substrate, a hinge connection post on the hinge support post, wherein the hinge connection post comprises a bottom layer connected to the hinge support post and a side layer surrounding a cavity in the center of the hinge connection post, a hinge component connected to the side layer of the hinge connection post; and a mirror plate configured to tilt around the hinge component.
Abstract translation: 微反射镜包括在基板上的铰链支撑柱，铰链支撑柱上的铰链连接柱，其中铰链连接柱包括连接到铰链支撑柱的底层和围绕铰链中心的空腔的侧层 连接柱，铰链部件连接到铰链连接柱的侧层; 以及构造成围绕所述铰链部件倾斜的镜板。
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公开(公告)号：EP1704424A4
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：EP04796544
申请日：2004-10-26
Applicant: SPATIAL PHOTONICS INC
Inventor： PAN SHAOHER X
IPC: G02B26/00 , G02B20060101 , G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/0833
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公开(公告)号：EP1793260B1
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：EP06024826.7
申请日：2006-11-30
Applicant: Spatial Photonics, Inc.
Inventor： Lee, Chii Guang , Kao, Chun-Teh , Hu, Hung Kwei , Pan, Shaoher X.
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0008 , B81B2201/042 , B81B2203/0109
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