電磁波加熱装置
    21.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2017022713A1

    公开(公告)日:2018-05-24

    申请号:JP2017533057

    申请日:2016-08-01

    CPC classification number: H05B6/64 H05B6/72 H05B7/00

    Abstract: 【課題】水蒸気を用いた電磁波加熱装置の小型化を実現する。電磁波加熱装置は、加熱室と、加熱室の第1壁面に配備され、加熱室内の被加熱物を加熱するための電磁波を放射する平面アンテナと、加熱室の第1壁面とは異なる第2壁面に配備され、電磁波の共振構造により高電圧を発生して放電プラズマを発生させる放電装置と、半導体素子により形成され、電磁波を出力する発振器を備え、発振器から出力される電磁波が、平面アンテナと放電装置とに供給されるように構成される。【選択図】図1

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