一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器

    公开(公告)号:CN110208576A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910527294.6

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本发明涉及一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器,包括基座、与基座固定连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端固定连接的质量块、以及用于测量悬臂梁位移的测量机构,测量机构包括两端分别与基座和质量块连接的周期伸缩式可变衍射光栅、以及固定于基座上的激光器和光电探测器;激光器和光电探测器分别置于周期伸缩式可变衍射光栅的两侧。与现有技术相比,本发明采用周期伸缩式可变衍射光栅测量物体加速度,利用光学光栅的误差平均效应的特点,具有测量精度高、响应速度快、测量高效、更容易测量精密振动等优点。

    一种特氟龙快速微加工装置及方法

    公开(公告)号:CN107215847A

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201710548247.0

    申请日:2017-07-06

    CPC classification number: B81C1/00023 B81C1/00206 B81C1/00444

    Abstract: 本发明公开了一种新的特氟龙加工装置及工艺,包括同步辐射光源、喷嘴、光束整形器、加热板,其中:同步辐射光源位于喷嘴前端,光束整形器位于加热板的中心位置,加热板上的电阻丝采用钨电阻丝,加热板基片采用玻璃材料,能使加热丝绝缘。同步辐射光源产生的同步辐射光,通过喷嘴汇聚在光束整形器上,形成一束较细的同步辐射光束,照射到特氟龙加工件上进行特氟龙微加工,同时使加热板贴近特氟龙工件对特氟龙工件实行局部加热,实现快速加工。

    六水合钠铷碳氮氧氯双折射光学晶体及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113981534B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202111253822.7

    申请日:2021-10-27

    Abstract: 本发明公开了一种六水合钠铷碳氮氧氯光学晶体及其制备方法和在制备偏振分束棱镜中的应用。其化学式为Na3Rb6(CO3)3(NO3)2Cl·6H2O,分子量1029.39,属于六方晶系,空间群为P63/mcm,晶胞参数为:α=β=90°,γ=120°,Z=2。制备方法采用水热法。所得晶体易于生长、易于切割、易于研磨、易于抛光和易于保存,在空气中稳定,不易潮解;可用于制作格兰型棱镜、渥拉斯顿棱镜、洛匈棱镜或光束分离偏振器等偏振分束棱镜,在光学和通讯领域有重要应用。

    一种植保无人机
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111999524B

    公开(公告)日:2022-08-23

    申请号:CN202010504914.7

    申请日:2020-06-05

    Abstract: 本发明涉及一种植保无人机,包括机身、微处理器和喷洒装置,还包括贴合于所述的植保无人机的机身底部的柔性风速传感器,植保无人机根据柔性风速传感器测量的风速调整药剂喷洒角度和药剂量;柔性风速传感器包括柔性薄膜基底以及设于所述柔性薄膜基底正面的测温电阻、加热电阻和补偿电阻,测温电阻和补偿电阻分别对称设于加热电阻的两侧,并且测温电阻位于加热电阻和补偿电阻之间;柔性薄膜基底的背面设有空腔结构,测温电阻和补偿电阻设于所述空腔结构的位置处的柔性薄膜基底上;测温电阻、加热电阻和补偿电阻分别进行桥式电路连接。与现有技术相比,本发明具有传感器体积小、质量轻、灵敏度高、贴合性强,植保无人机应用场景丰富等优点。

    一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN111220324B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202010074375.8

    申请日:2020-01-22

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS微力‑力矩传感器的标定装置,其特征在于,包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力‑力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源;斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件;所述的待测MEMS微力‑力矩传感器为六轴传感器,包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱;所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上;所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比,本发明具有成本低,标定精度高等优点。

    一种X射线曝光装置
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112859539A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110084626.5

    申请日:2021-01-21

    Abstract: 本发明涉及一种X射线曝光装置,包括套筒(1)和与套筒(1)连接的移动工作台(2),所述的套筒(1)内设置有掩模版(3)和光刻胶基板(4),套筒(1)上设有入光口(11),X射线通过入光口(11)进入套筒(1)内。与现有技术相比,本发明不仅可以有效保护了光刻掩模版,而且此装置可以有效提高光刻的效率以及达到高精度的光刻效果,做到批量生产。

    一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置

    公开(公告)号:CN109920747B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201910185830.9

    申请日:2019-03-12

    Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置,该湿法刻蚀设备包括:壳体,壳体的外壁上设有控制面板;载液盆设于壳体内,用于盛放溶液;该载液盆的盆沿与壳体的内壁固连;超声波雾化器固设于载液盆的底部,用于将载液盆中的溶液雾化成液滴;刻蚀花篮设于载液盆的盆沿上,用于盛放被刻蚀器件;该被刻蚀器件与溶液分离;供电模块设于壳体的底部;其中,超声波雾化器与控制面板电连接;超声波雾化器、控制面板均与供电模块电连接。采用刻蚀花篮使被刻蚀器件与溶液分离,并用超声波雾化器将刻蚀液雾化,利用雾化液滴刻蚀器件,使镂空、栅格等精细复杂结构平稳释放,提供刻蚀精细复杂结构的成功率。

    一种植保无人机
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111999524A

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN202010504914.7

    申请日:2020-06-05

    Abstract: 本发明涉及一种植保无人机,包括机身、微处理器和喷洒装置,还包括贴合于所述的植保无人机的机身底部的柔性风速传感器,植保无人机根据柔性风速传感器测量的风速调整药剂喷洒角度和药剂量;柔性风速传感器包括柔性薄膜基底以及设于所述柔性薄膜基底正面的测温电阻、加热电阻和补偿电阻,测温电阻和补偿电阻分别对称设于加热电阻的两侧,并且测温电阻位于加热电阻和补偿电阻之间;柔性薄膜基底的背面设有空腔结构,测温电阻和补偿电阻设于所述空腔结构的位置处的柔性薄膜基底上;测温电阻、加热电阻和补偿电阻分别进行桥式电路连接。与现有技术相比,本发明具有传感器体积小、质量轻、灵敏度高、贴合性强,植保无人机应用场景丰富等优点。

    一种MEMS压电装置的批量加工方法

    公开(公告)号:CN111252728A

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN202010074417.8

    申请日:2020-01-22

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS压电装置的批量加工方法,MEMS压电装置包括PZT立柱和设于的PZT立柱上的Si层;该加工方法包括以下步骤:取一PZT基板和Si基板,在的Si基板上加工出定位刀口,并将PZT基板加工成固定于的Si基板上的PZT立柱;的Si基板相对位置的边部上的定位刀口的连线构成切割路径,横向和纵向的切割路径构成PZT立柱边缘形状;取一与的Si基板形状大小相同的Si晶片,在的Si晶片的边部加工出定位刀口,的Si晶片键合连接于的PZT立柱上得到中间产品,并且位于Si晶片上的定位刀口与位于Si基板的定位刀口上下对齐;通过切割工艺切割Si晶片,得到覆盖于PZT立柱上的Si层。与现有技术相比,本发明具有生产成本低、切割简单、容易批量生产等优点。

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