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公开(公告)号:CN107428935A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680018049.7
申请日:2016-03-24
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: C07C235/64 , C07C233/80 , C08G69/32 , C08G69/42 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1053 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08G73/14 , C08G73/18 , C08G73/22 , C08G75/32 , C09D177/10 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F7/0048 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/2004 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H01L51/0035 , H01L2227/323 , C08K5/136
Abstract: 本发明提供具有优异的图案加工性(高敏感度及高分辨率)、且热处理后的耐化学药品性及耐热性优异的感光性树脂组合物、及该感光性树脂组合物中使用的耐热性树脂或耐热性树脂前体以及作为它们的原料的二胺化合物。本发明提供通式(1)所示的二胺化合物。