生成光掩模及数据、固态图像传感器和微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:CN102122115B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201110000210.7

    申请日:2011-01-04

    CPC classification number: G03F7/0005 B29D11/00298 G03F1/50 H01L27/14685

    Abstract: 本发明涉及光掩模数据的产生方法、光掩模的制作方法、具有微透镜阵列的固态图像传感器及微透镜阵列的制造方法。提供一种产生用于制作微透镜阵列的光掩模数据的方法,该光掩模在包含周边区域和主区域的各矩形区域中具有包含遮光部分和非遮光部分的微透镜图案,该周边区域具有矩形区域的四个边作为外边缘,该主区域具有作为周边区域的内边缘的边界,该周边区域由分别包含所述四个边中的一个作为其一部分的四个条带区域构成,并且,所述外边缘和所述内边缘之间的宽度不大于曝光用光的波长的1/2,该方法包括确定周边区域中的遮光部分和非遮光部分的布局,使得遮光部分的密度被设为落在0%~15%的范围内。

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