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公开(公告)号：CN102509743B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201210001003.8
申请日：2012-01-04
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/109 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以超薄硅片为衬底，以纳米TiO2/SrTiO3异质结有源层为基体材料，以Au为金属插指电极的高性能半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用溶胶凝胶技术制备TiO2及SrTiO3溶胶，并在超薄硅衬底上依次生长成致密的纳米SrTiO3薄膜及TiO2薄膜；然后通过磁控溅射和标准的光刻、剥离技术在薄膜表面制成一定形状的Au插指电极。本发明制备的TiO2/SrTiO3异质结金属-半导体-金属紫外光探测器具有制备方法简单，成本低廉，有望大规模生产的特点，对波长250nm-350nm的紫外线具有良好的检测性能。
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公开(公告)号：CN103091932A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310016000.6
申请日：2013-01-16
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/35 , H04B10/2537
Abstract: 本发明属于微波光子学技术领域，具体涉及一种基于高非线性光纤受激布里渊散射效应和多泵浦信号的超宽调谐范围的单带通可调谐微波光子滤波器。由激光器、相位调制器、隔离器、N个泵浦源、耦合器、高非线性光纤、环行器、探测器和网络分析仪组成；利用高非线性光纤的受激布里渊散射效应和相位调制器输出信号的相位相反强度相等的特点，通过高非线性光纤的受激布里渊散射效应对相位调制器输出的一阶上边带进行增强或减弱，打破相位调制器输出信号一阶上下边带的强度平衡，从而实现需要频率的信号被滤波输出。通过合理增加泵浦信号的数量，利用高频泵浦信号引起的受激布里渊增益抵消低频泵浦信号引起的受激布里渊损耗，增加滤波器的调谐范围。
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公开(公告)号：CN101915998B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201010234943.2
申请日：2010-07-23
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器及其制备方法。该器件是在SOI衬底的顶层硅一侧制作，为一体脊型结构，沿着输入光的方向顺次是输入单模波导1、第一单模渐变波导2、多模波导3、第二单模渐变波导4、输出单模波导5；在各段波导的上表面制备有一层二氧化硅上包层204，在二氧化硅上包层的上面制备有用于热光调制的平行四边形金属电极205。本发明所述基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器采用光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀、生长金属膜和金属膜的腐蚀等工艺制作。该可变光衰减器可以在0～30dB范围内，实现对光信号的连续可变衰减。
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公开(公告)号：CN101881785B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201010205116.0
申请日：2010-06-22
Applicant: 吉林大学
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于微机电系统领域，涉及一种四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及其制备方法。由可动质量块、成对的弹簧折叠梁、插指状下电极和微加速度传感器外框组成；在外部载荷的作用方向上，可动质量块的前端和后端通过弹簧折叠梁连接在加速度传感器外框上，可动质量块、弹簧折叠梁、加速度传感器外框为一体结构；在可动质量块的下表面制作有上电极，上电极与插指状下电极间具有一定的空隙，从而组成平板差分电容，上电极通过加速度传感器外框与插指状下电极键合在一起。本发明所述的传感器结构，明显地解决了变间隙结构存在的非线性问题，利于后续检测电路的制作，同时使振动模态更好的分离，提高了器件的抗干扰能力并增加传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102163639A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110070874.0
申请日：2011-03-23
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/028 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以超薄石英为衬底，以纳米TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜为基体，以Au、Pt或Ni为金属插指电极，以Al或Ag为光反射层的低表面态密度的高性能半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用溶胶凝胶技术制备不同配比的TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜，并在超薄石英衬底上生长成致密的纳米薄膜；再经过高强度紫外清洗机对薄膜进行处理；然后通过磁控溅射和标准的光刻、剥离技术在薄膜表面制成一定形状的叉指电极；最后在超薄石英片背面蒸镀一层反射层用以提高光的吸收效率。通过调整TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜的不同配比，可以使本发明探测器的响应峰值在200nm到350nm紫外波段范围内可调。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101562208A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910067032.2
申请日：2009-06-02
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/036 , H01L31/0224 , H01L31/18 , C23C14/34
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于半导体光电探测器件领域，具体涉及一种以石英为衬底，以纳米TiO2薄膜为基本紫外光探测材料，以Ni为金属电极的背入射式紫外光探测器及其制备方法。该探测器以石英为衬底，采用M－S－M(金属－半导体－金属)结构。该紫外光探测器的制作方法是：采用溶胶－凝胶技术，在石英衬底上生长一层TiO2纳米薄膜，然后再在制备好的TiO2薄膜上通过磁控溅射的方法蒸发一层薄Ni实现电极接触，采用光刻技术得到Ni插指状电极。本发明制备的MSM平面双肖特基势垒结构紫外光探测器，采用背入射方式工作，可大幅提高器件的响应度。器件对波长250nm～350nm的紫外线具有良好的检测性能。
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公开(公告)号：CN120090698A
公开(公告)日：2025-06-03
申请号：CN202510248536.3
申请日：2025-03-04
Applicant: 吉林大学
IPC: H04B10/079 , H04B10/2537 , H04B10/61 , H04B10/80
Abstract: 一种基于光电振荡器结合I/Q解调技术的微波光子频率测量方法及装置，属于微波光子学技术领域。由基于受激布里渊散射效应的光电振荡模块、基于移频器阵列的多本振组和基于Hartley结构的I/Q解调模块组成，本发明利用光电振荡器感知低功率射频信号并进行放大，采用移频器阵列实现多本振信号并存，对接收到的高频信号进行下变频，再通过基于Hartley结构的I/Q解调相干接收技术与多本振信号构建信道化接收系统。本发明充分利用了微波光子技术在宽带微波信号传输、处理等方面的优势，实现面向雷达、电子战和通信应用的高性能、多功能微波光子射频信号接收系统，为射频信号接收系统整体性能的全面提升提供了新的解决思路。
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公开(公告)号：CN115078827B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202210678344.2
申请日：2022-06-13
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于固定频点探测的微波光子频率测量方法及装置，属于微波光子学技术领域。由可调激光器、耦合器1、耦合器2、强度调制器1、强度调制器2、可调滤波器1、可调滤波器2、掺铒光纤放大器、隔离器、单模光纤、环形器、微波信号源1、微波信号源2、直流稳压电源、光电转换器和频谱分析仪组成。本发明基于下变频拍频技术使单个以及多个信号频率值测量误差保持在6MHz以下，具有多频探测能力，并且多频分辨率为15MHz；本发明本振信号采用全光的受激布里渊效应产生，不需要输入电信号，使系统结构简单损耗小。本发明应用下变频技术在固定中频频率处对信号进行探测，大大缓解后续ADC采样的压力，并且避免使用高昂的电子测量器件。
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公开(公告)号：CN114551727B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202210157792.8
申请日：2022-02-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于邻二氯苯和2‑巯基吡啶双掺杂的钙钛矿太阳能电池及其制备方法，属于钙钛矿太阳能电池技术领域。太阳能电池采用ITO/SnO2/Perovskite/Spiro‑OMeTAD/Ag的n‑i‑p正型结构，其中Perovskite为邻二氯苯和2‑巯基吡啶双掺杂的钙钛矿层。本发明邻二氯苯和2‑巯基吡啶的引入有效钝化了钙钛矿层未配位的Pb2+缺陷，减少了光生载流子的非辐射复合损失；同时增大了晶粒尺寸，减少了晶界，改善了钙钛矿层的结晶性。基于本发明方法制备的钙钛矿太阳能电池具有19.67％的光电转换效率，未封装的电池在室温、30％湿度条件下600h后仍保持原始效率的85％以上，显示出良好的稳定性。
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公开(公告)号：CN118139493A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410246333.6
申请日：2024-03-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于氯仿/异丙醇加工烷基铵盐钝化层的钙钛矿太阳能电池及其制备方法，属于钙钛矿太阳能电池技术领域。太阳能电池采用ITO/SnO2/Perovskite/LP/Spiro‑OMeTAD/Ag的n‑i‑p正型结构，其中LP为钝化层。本发明中将具有不同碳链长度的烷基溴化铵钝化材料通过氯仿和异丙醇的混合溶剂进行加工，减少溶剂对钙钛矿表面的破坏，引入的具有合适碳链长度的钝化层材料有效钝化了界面缺陷，减少载流子淬灭，最大限度地减少了非辐射复合位点。本发明制备的钙钛矿太阳能电池具有22.28％的光电转换效率，未封装的电池在室温、30％湿度条件下700h后仍保持原始效率的85％以上，显示出良好的器件稳定性。
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