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公开(公告)号:JP5854051B2
公开(公告)日:2016-02-09
申请号:JP2013538596
申请日:2012-10-12
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C09K11/08 , C01B21/082 , C09K11/64
CPC classification number: C09K11/7728 , C01B21/0821 , C01B21/0826 , C09K11/0883 , C09K11/7734 , H05B33/14 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C01P2002/77 , C01P2002/84 , C01P2004/03 , C01P2004/04 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , H01L33/502
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