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发明专利
反応種供給装置および表面処理装置有权
Title translation: 将反应种供给单元和一个表面处理装置

公开(公告)号：JP5725601B2

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：JP2010149525

申请日：2010-06-30

Applicant: 国立大学法人名古屋大学 , NUエコ・エンジニアリング株式会社 , 富士機械製造株式会社

Inventor： 堀勝 , 加納浩之 , 森一明 , 中根伸幸 , 渡邊智弘 , 五十褄丈二

IPC: B01J19/08 , B08B5/00 , H05H1/24

CPC classification number: B23H1/00 , H05H1/48 , H05H2001/485 , H05H2001/488 , H05H2245/123

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