分离微小固体成分的器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1324317C

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200410049374.9

    申请日:2004-06-10

    Inventor: 中谷将也

    CPC classification number: G01N33/491

    Abstract: 一种分离微小固体成分的器件,具备:具有第1面和其反向侧的第2面的基板、和设置在该基板的第1面上的隔膜。基板形成有形成于第2面中、具有底的槽;开口于第1面的空洞;和连结槽的底部与空洞的第1通孔。隔膜在对应于空洞的位置上形成直径比第1通孔小的第2通孔。通过该器件和使用其的方法,可从混合了大小不同的多个固体成分的流体中仅使不会堵塞的小的固体成分通过。

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