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公开(公告)号：CN107346059B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201710300099.0
申请日：2017-05-02
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种可变焦距(VFL)成像系统，包括：相机系统；第一高速可变焦距(VFL)透镜；第二高速可变焦距(VFL)透镜；第一中继透镜，包括第一中继焦距；第二中继透镜，包括第二中继焦距；以及透镜控制器。所述第一中继透镜和所述第二中继透镜沿着所述VFL成像系统的光轴相对于彼此间隔达等于所述第一中继焦距和所述第二中继焦距之和的距离。所述第一高速VFL透镜和所述第二高速VFL透镜在位于距所述第一中继透镜等于所述第一中继焦距的距离处的中间平面的相对侧上沿着所述光轴相对于彼此间隔。所述透镜控制器被配置为：提供所述第一高速VFL透镜的光功率和所述第二高速VFL透镜的光功率的同步周期性调制。
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公开(公告)号：CN109581618A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811146609.4
申请日：2018-09-29
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B7/28
Abstract: 提供了一种可变焦距(VFL)透镜系统，包含VFL透镜、VFL透镜控制器、物镜、相机和光焦度监测配置。在标准工件成像模式期间，物镜将工件光沿着成像光学路径穿过VFL透镜透射到相机，这提供对应的工件图像曝光。在光焦度监测模式期间，光焦度监测配置产生所监测的束图案，束图案沿着成像光学路径的穿过VFL透镜到相机的至少一部分行进，这提供监测图像曝光。在VFL透镜的周期性调制的不同相位定时处获得不同的监测图像曝光，并且在每个监测图像曝光中测量与在对应的相位定时处的VFL透镜的光焦度相关的所监测的束图案的尺寸。
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公开(公告)号：CN106338809B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201610542692.1
申请日：2016-07-11
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： P.G.格拉德尼克
IPC: G02B7/36
Abstract: 提供了一种用于精密机器视觉检验或者计量系统的成像系统。该成像系统光路包含可变放大率透镜部和可变焦距透镜部。可变放大率透镜部包含各种放大率状态(例如，0.5x至100x，使用可更换透镜等等)。根据放大率状态，可变焦距透镜部(例如，包含可调谐声学梯度折射率(“TAG”)透镜)以不同焦距扫描频率操作。对于各种放大率透镜，以这种方式操作的TAG透镜提供相对一致的焦距范围(例如，对应于景深的数量)，而不限制成像系统的有效数值孔径。
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公开(公告)号：CN107346059A
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201710300099.0
申请日：2017-05-02
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种可变焦距(VFL)成像系统，包括：相机系统；第一高速可变焦距(VFL)透镜；第二高速可变焦距(VFL)透镜；第一中继透镜，包括第一中继焦距；第二中继透镜，包括第二中继焦距；以及透镜控制器。所述第一中继透镜和所述第二中继透镜沿着所述VFL成像系统的光轴相对于彼此间隔达等于所述第一中继焦距和所述第二中继焦距之和的距离。所述第一高速VFL透镜和所述第二高速VFL透镜在位于距所述第一中继透镜等于所述第一中继焦距的距离处的中间平面的相对侧上沿着所述光轴相对于彼此间隔。所述透镜控制器被配置为：提供所述第一高速VFL透镜的光功率和所述第二高速VFL透镜的光功率的同步周期性调制。
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