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公开(公告)号：CN107210726B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201680006223.6
申请日：2016-02-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 声表面波装置集合体(1)具备：集合基板(2)；多个第1电路部(3A)，被设置于集合基板上，具有第1高压端子(6a)以及第1接地端子(7a)；第2电路部(4A)，被设置于集合基板上，具有第2高压端子(6b)以及第2接地端子(7b)；和供电布线(13)，被设置于集合基板上以使得包围多个第1电路部以及第2电路部的周围。各第1电路部构成作为带通型滤波器的声表面波装置(3)。第2电路部构成带通型滤波器。多个第1接地端子(7a)以及第1高压端子(6a)还有第2接地端子(7b)连接于供电布线(13)，第2高压端子(6b)未连接于供电布线(13)，各声表面波装置(3)的通频带与由第2电路部(4A)构成的带通型滤波器的通频带相同。
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公开(公告)号：CN105794107B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN107615659A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号：CN105474539B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201480045825.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/107 , H01L23/10 , H01L41/29 , H01L2224/11 , H01L2924/0002 , H03H3/08 , H03H9/059 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制在切割时供电线从压电基板剥离，并抑制密闭空间的密闭性降低的声表面波设备及其制造方法。在压电基板的主面(11a)，形成导电图案，该导电图案包含：声表面波元件图案、焊盘、和与焊盘电连接并延伸到主面(11a)的外周缘(11x)的供电线(18j)。隔着支撑层，压电基板与外罩接合，形成被压电基板、外罩以及框部(32)包围的密闭空间，其中，该支撑层包含；沿着主面(11a)的外周缘(11x)并与外周缘(11x)之间设有间隔地形成为框状的框部(32)、和形成在焊盘上的焊盘邻接部。支撑层在框部(32)之中的从焊盘邻接部分离的独立部分与供电线(18j)交叉的交叉部分(32x)的附近，还包含与供电线(18j)交叉的加强部(36)。
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公开(公告)号：CN104798302B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201380060102.6
申请日：2013-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08
Abstract: 提供能减少短路不良和泄漏不良的发生的弹性波装置的制造方法。在具有压电性的母基板(10)的一方主面上形成多个功能元件部(11)、和将多个功能元件部(11)电连接的连接线(12)。在母基板(10)的一方主面上形成包围功能元件部(11)的树脂制的支承层(20)。通过按照切割线将具有母基板(10)、功能元件部(11)以及支承层(20)的层叠体(35)分断成多个，来得到具有功能元件部(11)的弹性波装置(1)。连接线(12)具有：位于切割线上的线主体(12a)；和将线主体(12a)和功能元件部(11)电连接的连接部(12b)。在层叠体(35)的分断前，在母基板(10)上与支承层(20)分离地形成在线主体(12a)的宽度方向上跨线主体(12a)的树脂制的保持构件(21)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117859267A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202280056699.6
申请日：2022-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明抑制在引出电极间流过电流。弹性波装置包含：第1基板；压电层，在俯视下与第1基板重叠，具有第1主面和相反侧的第2主面；功能电极，设置在压电层的第1主面以及压电层的第2主面中的至少一者；第2基板，具有在第1方向上与压电层的第1主面对置的第1主面和相反侧的第2主面；以及多个引出电极。多个引出电极具备：支承部，在压电层的第1主面与第2基板的第1主面之间对第2基板进行支承；贯通过孔，贯通第2基板；第1连接盘，设置在第2基板的第1主面，与贯通过孔电连接；以及第2连接盘，设置在第2基板的第2主面，与贯通过孔电连接。在至少一个引出电极中，在第2基板的第1主面与第1连接盘之间、第2基板的第2主面与第2连接盘之间、以及贯通过孔的侧壁与第2基板之间具有绝缘体。
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公开(公告)号：CN117063401A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024593.8
申请日：2022-03-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供能够抑制压电层对支承构件的粘附的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包含包括支承基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上的压电层(14)；功能电极，设置在压电层(14)上；至少1个支承体；和盖部(25)。至少1个支承体中的1个支承体在压电性基板(12)上设置为包围功能电极，在该支承体上设置有盖部(25)。在支承构件(13)设置有第1空洞部(10a)。第1空洞部(10a)在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。设置有被压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)包围的第2空洞部(10b)。将压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)被层叠的方向设为高度方向，将沿着高度方向的尺寸设为高度时，第1空洞部(10a)的高度比第2空洞部(10b)的高度高。
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公开(公告)号：CN116547909A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180072183.6
申请日：2021-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种声波器件包括压电层和串联臂谐振器和并联臂谐振器，该压电层包括铌酸锂或钽酸锂，串联臂谐振器和并联臂谐振器各自包括在所述压电层上的至少一对第一电极和第二电极。该声波器件使用处于第一厚度剪切模式的体波。串联臂谐振器中的压电层的第一部分的膜厚度不同于并联臂谐振器中的压电层的第二部分的膜厚度。在串联臂谐振器和并联臂谐振器中的每一个中，假设压电层的膜厚度为d并且彼此相邻的第一电极和第二电极的中心之间的距离为p，则比率d/p小于或等于约0.5。
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公开(公告)号：CN107615657B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201680027933.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 甲斐诚二
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种在具有中空构造的弹性波装置中难以产生压电薄膜的裂纹或缺损、且难以产生层叠膜内的界面剥离、能够通过泄露检测容易挑选出不合格品的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)、和IDT电极(5)，在俯视下，在设置有IDT电极(5)的区域的外侧的区域，层叠膜(3)局部地不存在，还具备：支承层(8)，在支承基板(2)上，被设置在层叠膜(3)局部地不存在的区域(R)的至少一部分，并且被配置为在俯视下包含层叠膜(3)被设置的区域；盖部件(9)，被设置在支承层(8)上，与压电薄膜(4)以及支承层(8)一起构成IDT电极(5)所面对的中空空间(7)。
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公开(公告)号：CN107615659B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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