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公开(公告)号：JP2018048819A
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：JP2016182715
申请日：2016-09-20
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】測定精度を低下させることなく、コラムの摺動面に対する潤滑剤の供給を低コストに行うことができる表面形状測定装置を提供する。 【解決手段】ベースと、ベース上に立設され、上下方向に延びるコラムと、コラムに沿って上下方向に移動自在にコラムに支持されたキャリッジと、キャリッジに支持された検出器であって、ワークに当接する測定子の変位を検出する検出器と、コラムの上面に形成され、潤滑剤を貯留する凹状の貯留部と、コラムの上面に形成された複数の供給溝であって、且つ貯留部に貯留されている潤滑剤を、コラムの側面の中でキャリッジと摺動する複数の摺動面に対してそれぞれ供給する複数の供給溝と、を備える。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017187467A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016208440
申请日：2016-10-25
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】ワークの形状パラメータを高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。 【解決手段】回転中心を通過する基準線に平行な方向であって基準線からずれた直線上であってワークWを挟んだ2つの位置のうち一方位置に検出器26を配置した状態でワークの表面形状を測定する第1測定手段と、2つの位置のうち他方位置に検出器を配置した状態でワークの表面形状を測定する第2測定手段と、第1測定手段による測定結果と第2測定手段による測定結果とを照合して、ワークの表面形状を規定する形状パラメータを算出する形状パラメータ算出手段34と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017187464A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016133413
申请日：2016-07-05
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】ワークの直径を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置を提供する。 【解決手段】ワークWに対して一方側に検出器26を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1取得ステップと、ワークに対して他方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2取得ステップと、を備える。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6171259B1
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：JP2016070209
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】ワークの表面形状の測定精度を簡単に向上させることができる表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。 【解決手段】測定子の変位を検出する検出器と、ワークを検出器に対して相対移動させる相対移動部と、を備え、ワークに対して測定子を当接させた状態で、相対移動部によりワークを検出器に対して相対移動させながら、検出器で測定子の変位を検出した結果に基づき、ワークの表面形状を測定する表面形状測定装置において、ワークの重量を検出する重量検出部を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6149337B1
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：JP2017011142
申请日：2017-01-25
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】ワークの形状パラメータを高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定装置を提供する。 【解決手段】ワークを載置する回転テーブルと、ワークの表面の変位を検出する検出器と、検出器を回転テーブルの回転中心に垂直な移動軸方向に沿ってワークの一方側の第1位置とワークの他方側の第2位置とに移動させる移動機構と、を備え、検出器を第1位置に配置した状態で回転テーブルを回転させながら検出器によりワークの表面形状を示す第1形状データを取得し、且つ検出器を第2位置に配置した状態で回転テーブルを回転させながら検出器によりワークの表面形状を示す第2形状データを取得する。 【選択図】図16
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公开(公告)号：JP6031732B1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2016133413
申请日：2016-07-05
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 増田 光
Abstract: 【課題】ワークの直径を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置を提供する。 【解決手段】ワークWに対して一方側に検出器26を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1取得ステップと、ワークに対して他方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2取得ステップと、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 工件的直径能够以高精度和高再现性，能够具有优良的通用性，偏移量的计算方法测定的表面形状测量方法进行测定，并提供一种表面形状测量装置。 甲代替检测器26相对于在一侧的工件W，使得围绕旋转中心的相对旋转，并在工件和所述检测器，由检测器检测到所述工件的表面的位移时 获取第一形状数据示出了工件的表面的形状的第一获取步骤，通过将检测器上的工件的另一侧，围绕工件和检测器的旋转中心相对旋转 同时，并获取第二形状数据表示当在所述检测器检测所述工件的表面的位移在工件的表面的形状的第二获取步骤。 点域1
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