イオンビーム発生装置およびイオンビーム発生方法

    公开(公告)号:JP2019197645A

    公开(公告)日:2019-11-14

    申请号:JP2018090594

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 【課題】2つ以上のビーム引出し口を備える1つのイオンビーム発生装置から異なる種類のイオンビームを出力することができるイオンビーム発生技術を提供する。 【解決手段】イオンビーム発生装置1は、プラズマP1,P2の生成源となるガスG1,G2を真空チャンバ2に導入するガス導入口31,32と、マイクロ波M1,M2を真空チャンバ2に導入するマイクロ波導入口41,42と、真空チャンバ2の内部に少なくとも2つのプラズマ生成領域R1,R2を形成する磁場を発生させる磁場発生部71〜74と、真空チャンバ2に電圧を印加する電圧印加部11,12と、プラズマ生成領域R1,R2のそれぞれに対応して設けられ、プラズマ生成領域R1,R2にて生成されたプラズマP1,P2からイオンビームB1,B2を引き出す少なくとも2つのビーム引出口61,62を備える。 【選択図】 図1

    液体処理装置
    22.
    发明专利
    液体処理装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2017159274A

    公开(公告)日:2017-09-14

    申请号:JP2016048412

    申请日:2016-03-11

    Abstract: 【課題】一例として、小型化がしやすい液体処理装置を得る。 【解決手段】実施形態の液体処理装置は、ハウジングと、筒状フィルタと、紫外線照射装置と、を備えた。ハウジングは、第一の筒状部と、第一の筒状部を囲った第二の筒状部と、を有し、液体が流れる第一の流路が第一の筒状部の筒内に設けられ、液体が流れる第二の流路が第一の筒状部と第二の筒状部との間に設けられ、第一の筒状部が第一の流路と第二の流路とを仕切った。筒状フィルタは、第一の筒状部の筒内に配置され、第一の流路内の液体を濾過する。紫外線照射装置は、第一の筒状部と第二の筒状部との間に設けられ第二の流路に面し中心軸の軸方向に延びた管と、管に収容され第二の流路内の液体に紫外線を照射する光源と、を有した。 【選択図】図3

    液体処理装置及び液体処理システム

    公开(公告)号:JP2017140560A

    公开(公告)日:2017-08-17

    申请号:JP2016022366

    申请日:2016-02-09

    Abstract: 【課題】液体処理装置(紫外線照射装置)の信頼性を向上し、安全な処理水を提供する。 【解決手段】液体処理装置は、監視対象の紫外線ランプと、紫外線ランプに対し処理水の紫外線透過率が所定の透過率範囲で測定された紫外線強度値及び流量値をパラメータとする一つの関数で近似できる複数の位置に紫外線ランプの紫外線強度を測定する測定窓が位置するように配置された複数の紫外線モニタ用センサを具備する。 【選択図】図1

    排気浄化装置
    25.
    发明专利
    排気浄化装置 审中-公开
    排气排放控制装置

    公开(公告)号:JP2016053341A

    公开(公告)日:2016-04-14

    申请号:JP2014180131

    申请日:2014-09-04

    Abstract: 【課題】フィルタ本体に捕集された微粒子物質(PM)に電磁波を用いた加熱処理を適用して酸化する場合にPMの反応残量を抑制することができる排気浄化装置を提供すること。 【解決手段】実施形態に係る排気浄化装置は、排気ガスに含まれる微粒子物質を捕捉するフィルタ本体と、このフィルタ本体を収容する導電性の外容器と、周波数を可変とする電磁波を生成する電磁波発生装置と、この電磁波発生装置において発生する前記電磁波の周波数を所定の帯域内において可変に制御する周波数制御部と、を具備し、前記電磁波が前記フィルタ本体に照射されることにより、直接的もしくは間接的に前記フィルタ本体に付着した前記微粒子物質が加熱されるように構成された排気浄化装置である。前記周波数制御部は、前記外容器内部に発生する前記電磁波の伝搬モードを、前記フィルタ本体において、シングルモードを発生する周波数とマルチモードを発生する周波数をまたがるように経時的に変化させる機能を有する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种废气排放控制装置,其能够通过使用电磁波进行热处理,在由过滤体吸收的PM氧化的情况下,限制颗粒物质(PM)的反应残留量。解决方案:排气 一种实施方式的排放控制装置包括:捕获废气中包含的颗粒物质的过滤器主体; 用于容纳过滤体的导电外容器; 用于产生具有可变频率的电磁波的电磁波产生部分; 以及频率控制部分,用于在预定带宽内可变地控制在电磁波产生部分中产生的电磁波的频率,其中排气排放控制装置被构造成使得附着到过滤体的颗粒物质被直接或间接地加热 通过用电磁波照射过滤体。 频率控制部具有对在过滤体内的外容器的内部产生的电磁波的传播模式进行时变的功能,以跨越生成单模的频率和产生多模的频率。 图:图1

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