公开(公告)号：CN105977175B

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201610127183.2

申请日：2016-03-07

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 梁仙一 ,  伊藤优作 ,  远藤智章 ,  大浦幸伸 ,  小田中健太郎

IPC: H01L21/66

Abstract: 提供保护膜检测方法，高精度地确认保护膜覆盖装置所进行的水溶性保护膜的覆盖状况，是检测被加工物上是否覆盖有水溶性保护膜的方法。保护膜检测方法具有检测前的准备步骤(ST1)和检测步骤(ST2)。准备步骤(ST1)具有：反射强度获取步骤(ST12)，对参照物的覆盖有水溶性保护膜的第1区域和未覆盖水溶性保护膜的第2区域照射红外光并接受反射光，获取第1区域的反射强度和第2区域的反射强度；阈值决定步骤(ST13)，根据波数为3000cm‑1～3600cm‑1的情况下的第1区域的反射强度和第2区域的反射强度来求解阈值。检测步骤(ST2)对被加工物的表面照射红外光并接受反射光并将获取的反射强度与阈值进行比较。

公开(公告)号：CN109765293A

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201811316479.4

申请日：2018-11-07

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 远藤智章 ,  田篠文照 ,  井谷博之 ,  长森广树 ,  大浦幸伸 ,  梁仙一

IPC: G01N29/024 ,  H01L21/67

Abstract: 提供检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置，对流动于管路的液体中有无气泡进行检查。该检查器配设在作为液体的流路的管路上，其具有：两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；和控制部，其与该两个超声波振子电连接，该控制部具有振幅计算部、判定部和振幅范围登记部，振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得的波形信息计算出该第一超声波的振幅，在该振幅范围登记部中登记有在混入有气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，该判定部在该第一超声波的振幅在该振幅的范围内的情况下，判定为在该液体中混入了气泡。

公开(公告)号：CN105572075A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510677364.8

申请日：2015-10-19

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 工藤裕 ,  伊藤优作 ,  远藤智章 ,  大浦幸伸 ,  中西彩菜 ,  梁仙一 ,  小田中健太郎

IPC: G01N21/47

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/20224 ,  G06T2207/30148

Abstract: 提供保护膜检测装置和保护膜检测方法，当在被加工物的加工面上覆盖保护膜的情况下，能够高精度地确认是否在一整面上覆盖了保护膜。对覆盖了保护膜的被加工物W的上表面供给雾，对被加工物的上表面照射光(110)并拍摄供给雾后的被加工物W的上表面，根据通过拍摄取得的图像，使用覆盖有保护膜的区域(830)与由于未覆盖保护膜而形成有微细的液滴的凹凸且产生照射光的米氏散射的区域(831)之间的拍摄图像中的反射光的强度差，检测未覆盖保护膜的区域，从而高精度地确认是否在一整面上覆盖了保护膜。