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公开(公告)号：JP2017128507A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2017039351
申请日：2017-03-02
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】サセプターとシリカガラスルツボとの中心軸を調節することなく、サセプターの内表面とシリカガラスルツボの外表面との間に敷設するだけで互いの中心軸が実質的に一致するようになる、シリコン単結晶引き上げ方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ21を保持可能なサセプター31の内面形状の三次元データとルツボ21の三次元データに基づき且つサセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設するとサセプター31の中心軸32とルツボの中心軸22が実質的に一致する様に形成された成形体42を、サセプター31の内表面とルツボ31の外表面との間に敷設する工程を備える、シリコン単結晶引き上げ方法。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017124972A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2017039350
申请日：2017-03-02
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】サセプターとシリカガラスルツボとの中心軸を調節することなく、サセプターの内表面とシリカガラスルツボの外表面との間に敷設するだけで互いの中心軸が実質的に一致するようになる、シリコン単結晶引き上げ方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ21を保持可能なサセプター31の内面形状の三次元データとルツボ21の三次元データに基づき、サセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設するとサセプター31の中心軸32とルツボ21の中心軸22が実質的に一致する様に形成される成形体42を加工する工程と、成形体42をサセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設する工程と、ルツボ21をサセプター31に装填する工程とを備える、シリカガラスルツボ21を保持可能なサセプター31にシリカガラスルツボ21を装填する方法。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2016183098A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2016082687
申请日：2016-04-18
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: G01B11/24 , G01N21/3563 , C30B15/10 , C03B20/00 , C30B29/06
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの赤外吸収スペクトルの三次元分布を高精度に決定し、ルツボの品質を評価する方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部17からシリカガラスルツボ11の内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、その反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部17と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部17と内表面との間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離を関連付けることによって、シリカガラスルツボ11の内表面の三次元形状を求め、赤外吸収スペクトルの三次元分布を決定し、赤外吸収スペクトルが規定の範囲内に入っているか否かによってシリカガラスルツボ11の品質を評価する方法。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供通过高精度地确定其红外吸收光谱的三维分布来评价石英玻璃坩埚的质量的方法。解决方案：用于评价石英玻璃坩埚11的质量的方法包括： 内径测量单元17沿着石英玻璃坩埚11的内表面非接触地移动; 在运动路线上的多个测量点处，用来自内部距离测量单元17的激光束倾斜地照射石英玻璃坩埚11的内表面，通过使用激光位移计测量反射光并改变内部距离测量 单元17和激光束的内表面和发射方向，从而观察到两个峰，并且基于内表面上的峰的位置来测量内距离测量单元17和内表面之间的内表面距离 两面之间; 通过将每个测量点处的三维坐标与内表面距离相关联来获得石英玻璃坩埚11的内表面的三维形状; 确定红外吸收光谱的三维分布; 并确定红外吸收光谱是否位于调节区域内。选择图：图1
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2016000687A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：JP2015131221
申请日：2015-06-30
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 【課題】設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボの製造方法を提供する。 【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定し、当初の製造条件に基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる回転モールド法での改善製造条件を設定することにより、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高め、設計データに対する三次元形状の一致度が高いシリカガラスルツボの製造方法。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供通过用于工程数据的三维形状高度重合的旋转模具法制造石英玻璃坩埚的方法。解决方案：在获得的模拟数据之间的三维形状的一致性的情况下 基于初始物理参数和测量数据低于预定标准，设置改善物理参数，其中符合度等于或高于预定标准。 在基于初始制造条件获得的模拟数据与测量数据的三维形状之间的一致性低于预定标准的情况下，在旋转模具法中设定改进的制造条件，由此， 与设计数据一致的模拟数据处于或高于预定标准。 结果，石英玻璃坩埚的设计数据与测量数据之间的三维形状的一致性增加到预定标准或更高，从而增强了设计数据的三维形状的一致性。
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