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公开(公告)号：JP2016211860A
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：JP2015092360
申请日：2015-04-28
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性を十分に改善し得ると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させ得る光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置1Aは、ファブリペロー干渉フィルタ10と、光検出器3と、干渉フィルタ10の底面のうち光透過領域11の外側の部分が載置された載置面を有するスペーサ4と、干渉フィルタ10とスペーサ4とを接着する接着部材5と、を備える。接着部材5の弾性率は、スペーサ4の弾性率よりも小さい。干渉フィルタ10の側面の少なくとも一部は、スペーサ4の載置面の一部が当該側面の外側に配置されるように、当該載置面上に位置している。接着部材5は、干渉フィルタ10の側面、及びスペーサ4の載置面の一部によって形成された隅部に配置され、側面、及び載置面の一部のそれぞれに接触している。 【選択図】図1
Abstract translation: A一起能够充分提高在法布里 - 珀罗干涉滤光器的透射波长的温度特性，提供一种能够稳定支撑部件上的法布里 - 珀罗干涉滤光片的保持状态的一个光检测装置。 光学检测装置1A中，间隔件4具有法布里 - 珀罗干涉滤光器10，光检测器3，一个安装表面上，其中外部放置在干涉滤光器10的底表面的内光透射区域11 包括，粘接部件5用于粘附的干涉滤波器10和隔离物4，。 粘接部件5的模量大于隔离件4的弹性模量小。 至少所述干涉滤光器10的侧表面的一部分，这样，间隔件4的安装表面的一部分设置在侧表面的外部被定位在安装表面上。 粘接部件5是干涉滤光器10的一侧，并设置在由间隔件4的安装表面的一部分形成的角部，是在与各侧面的一部分上，并且所述安装表面接触。 点域1
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公开(公告)号：JP5921380B2
公开(公告)日：2016-05-24
申请号：JP2012178768
申请日：2012-08-10
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N2201/061
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公开(公告)号：JP2015152713A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：JP2014025289
申请日：2014-02-13
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284
Abstract: 【課題】駆動時における光透過領域での可動ミラーの平坦性の向上、及び、可動ミラーの耐久性の向上を図ることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。 【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10Aは、固定ミラー31と、空隙Sを介して固定ミラー31と対向するように配置され、静電気力によって光透過領域11における固定ミラー31との距離が調整される可動ミラー41と、を備えている。可動ミラー41のうち光透過領域11を囲む包囲部41aには、光透過領域11を囲む複数の第1環状溝44、及び、空隙S側及びその反対側に開口する複数の第1貫通孔45が形成されている。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够在驱动期间改善光透射区域中的可移动镜的平坦度并提高可移动镜的耐久性的法布里 - 珀罗干涉滤光器。解决方案：法布里 - 珀罗干涉滤光器10A包括固定 反射镜31以及经由间隙S配置成与固定镜31对置的可动镜41.通过静电力调节透光区域11中的可动镜41与固定镜31之间的距离。 围绕光透射区域11的可动反射镜41的周围部41a包括围绕光透射区域11的多个第一环状槽44和在间隙S侧和与其相反的一侧开口的多个第一通孔45。
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公开(公告)号：JP2015087318A
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2013227287
申请日：2013-10-31
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286
Abstract: 【課題】小型化が可能な光検出装置を提供すること。 【解決手段】分光センサ1は、主面を有する配線基板2と、配線基板2の主面2A上に配置され、配線基板2と電気的に接続された光検出器3と、配線基板2の主面2A上において光検出器3の周囲に配置されたスペーサ4と、光透過領域11を有し、スペーサ4を介して配線基板2の主面2A上に配置されたファブリペロー干渉フィルタ10と、スペーサ4は、光透過領域11の周囲領域R1においてファブリペロー干渉フィルタ10を支持しており、スペーサ4は、光透過領域11における光の透過方向から見た場合に、周囲領域R1の内側と周囲領域R1の外側とを連通する開口部A1を有する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种小型光检测装置。解决方案：光谱传感器1包括：具有主表面的布线板2; 配置在布线基板2的主面2A并与配线基板2电连接的光检测器3; 布置在布线基板2的主面2A上的光检测器3周围的间隔物4; 以及具有光透射区域11并经由间隔件4布置在布线板2的主表面2A上的法布里 - 珀罗干涉滤光器10.间隔物4在光的周边区域R1中支撑法布里 - 珀罗干涉滤光器10 透光区域11和间隔物4在光透射区域11中从透光方向观察时具有用于将周边区域R1的内部与周边区域R1的外部连通的孔口A1。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JPWO2020071181A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2019037349
申请日：2019-09-24
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: ファブリペロー干渉フィルタは、第1表面を有する基板と、第1表面に配置された第1ミラー部を有する第1積層体と、第1ミラー部に対して基板とは反対側において空隙を介して第1ミラー部と向かい合う第2ミラー部を有する第2積層体と、第1積層体と第2積層体との間において空隙を画定する画定部を有する中間層と、第1積層体を構成する第1層に形成された第1電極と、第2積層体を構成する第2層に形成され、第1電極と向かい合う第2電極と、を備える。中間層は、第1積層体を構成する層のうち、第1層を含む複数層の外縁を被覆する被覆部と、第1表面に平行な方向に沿って被覆部から外側に延在する延在部と、を更に有する。第2積層体は、被覆部により画定部と延在部との間に形成された段差面、及び延在部の外端面を被覆するように延在している。
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公开(公告)号：JP6713589B1
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：JP2020037075
申请日：2020-03-04
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性を十分に改善し得ると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させ得る光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置1Aは、ファブリペロー干渉フィルタ10と、光検出器3と、スペーサ4と、干渉フィルタ10とスペーサ4とを接着する接着部材5と、を備える。接着部材5は、干渉フィルタ10の側面、及びスペーサ4の載置面の一部のそれぞれに接触している。干渉フィルタ10は、第1ミラー31及び第2ミラー41を支持する基板14を更に有している。第1ミラー31は、基板14に対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されており、第2ミラー41は、第1ミラー31に対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されている。接着部材5は、第2ミラー41を構成する誘電体多層膜に至っていない。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019135555A
公开(公告)日：2019-08-15
申请号：JP2019078678
申请日：2019-04-17
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】パッケージと、該パッケージ内に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、を備える光学装置の製造方法を提供する。 【解決手段】光学装置の製造方法は、一次元又は二次元に配置された複数のファブリペロー干渉フィルタと、複数のファブリペロー干渉フィルタを支持する支持層であって、複数の支持体に切断される予定の該支持層と、を用意する第1工程と、第1工程の後に、複数の蓋基板に切断される予定の蓋基板層を支持層に接合することにより、一次元又は二次元に連結された複数の光学装置を得る第2工程と、第2工程の後に、蓋基板層と支持層とが接合された部分を切断することにより、個々の光学装置を得る第3工程と、を含む。 【選択図】図24
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