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公开(公告)号：CN102221744A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110098336.2
申请日：2011-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。
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公开(公告)号：CN1757514A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510107535.X
申请日：2005-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14403 , B41J2002/14411
Abstract: 一种液滴喷头，具备：形成了喷出液滴的多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)、在底面形成有振动板(11)并形成了成为存留有液滴的喷出室(12)的凹部(12a)的空腔基板(3)、与振动板(11)相面对并形成了驱动振动板(11)的独立电极(7)的电极基板(2)、具有成为向喷出室(12)供给液滴的公共液滴室(13)的凹部(13a)、用于从公共液滴室(13)向喷出室(12)移送液滴的贯穿孔(14)、从喷出室(12)向喷嘴孔(16)移送液滴的喷嘴连通孔(15)的贮液室基板(4)，在贮液室基板(4)上，在一方的面上接合有喷嘴基板(5)，在另一方的面上接合有空腔基板(3)。
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公开(公告)号：CN118426162A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410128907.X
申请日：2024-01-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 提供一种能够降低膜片部的刚性的波长可变干涉滤波器。波长可变干涉滤波器(1)具备：第一基板(2)，设置有第一反射膜(41)；以及第二基板(3)，设置有相对于第一反射膜(41)隔着间隙(G)而对置的第二反射膜(42)，第一基板(2)具备：可动部(24)，是设置有第一反射膜(41)的部位；膜片部(25)，围绕可动部(24)；以及基部(26)，隔着膜片部(25)将可动部(24)支承为能够在厚度方向上位移，膜片部(25)是通过在第一基板(2)的表面开口的槽(23)形成的第一基板(2)的厚度比基部(26)薄的部位，槽(23)的底部(23B)的宽度(W2)比槽(23)的开口(23A)的宽度(W1)大。
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公开(公告)号：CN109814246B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201811379050.X
申请日：2018-11-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。
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公开(公告)号：CN105511072B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201610034338.8
申请日：2011-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B5/26 , G01J3/26 , G02B1/10 , G02B6/29361 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
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公开(公告)号：CN104516100B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201410488590.7
申请日：2014-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。
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公开(公告)号：CN103376545B
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201310129984.9
申请日：2013-04-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备，该波长可变干涉滤波器具备：设置有固定反射膜的固定基板、设置有可动反射膜的可动基板、第一静电致动器以及能与第一静电致动器独立驱动的第二静电致动器，其中，构成第一静电致动器的两个第一部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置，构成第二静电致动器的两个第二部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置。
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公开(公告)号：CN102608689B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN102736156B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210106425.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。
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公开(公告)号：CN104748846A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410815568.9
申请日：2014-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/0202 , G01J3/0235 , G01J3/027 , G01J3/0272 , G01J3/0289 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32
Abstract: 本发明涉及分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法。分光测量系统具备：拍摄装置(3)，具备拍摄图像的拍摄元件(312)；以及分光模块(2)，具备波长可变干涉滤波器以及安装部(8)，安装部(8)保持波长可变干涉滤波器，并装卸自如地安装于拍摄装置(3)，在向拍摄装置(3)进行安装时，安装部(8)能够将该波长可变干涉滤波器配置于向拍摄元件(312)入射的入射光的光路上。
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