观察设备
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102362168B

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201080012996.8

    申请日:2010-03-16

    Applicant: 索尼公司

    Inventor: 新田尚

    Abstract: 提供了一种用于使得高分辨率图像的观察成为可能的观察设备。观察设备(100)包括:样品保持器(8),用于保持样品(P);刀片(7),用于切削样品(P)并相继形成新的横截面;光学系统(3),其具有第一物镜(11)和第二物镜(12);以及电子摄影机(2),用于捕捉样品(P)的横截面的图像。主控制器(16)允许电子摄影机(2)使用第一物镜(11)捕捉与横截面的一部分相对应的局部图像。主控制器移动XY平台,从而改变样品(P)和光学系统(3)在XY平面上的相对位置,并且获取多个局部图像。图像处理单元针对每个横截面产生关于通过对局部图像进行合成而形成的合成图像的数据,并且将图像显示在显示单元上。这样一来,用户就可以观察高分辨率图像。

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