公开(公告)号：CN104603326B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201380026913.4

申请日：2013-04-24

Applicant: 索尼公司

Inventor： 小林俊之 ,  清水圭辅 ,  角野宏治 ,  水口由纪子 ,  村上洋介

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C14/562 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2404/143 ,  B65H2511/112 ,  B65H2513/11 ,  B65H2515/31 ,  B65H2553/412 ,  B65H2701/173 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C16/0209 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  B65H2220/02 ,  B65H2220/01

Abstract: 提供了一种成膜装置，包括辊对辊机构和加热单元。辊对辊机构被配置为传输成膜靶并包括张力释放单元，所述张力释放单元被配置为释放施加至所传输的成膜靶的张力。所述加热单元被配置为加热由辊对辊机构传输的成膜靶。

公开(公告)号：CN104603326A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201380026913.4

申请日：2013-04-24

Applicant: 索尼公司

Inventor： 小林俊之 ,  清水圭辅 ,  角野宏治 ,  水口由纪子 ,  村上洋介

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C14/562 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2404/143 ,  B65H2511/112 ,  B65H2513/11 ,  B65H2515/31 ,  B65H2553/412 ,  B65H2701/173 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C16/0209 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  B65H2220/02 ,  B65H2220/01

Abstract: 提供了一种成膜装置，包括辊对辊机构和加热单元。辊对辊机构被配置为传输成膜靶并包括张力释放单元，所述张力释放单元被配置为释放施加至所传输的成膜靶的张力。所述加热单元被配置为加热由辊对辊机构传输的成膜靶。