Abstract:
본 발명은 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 단백질 농축 소자 제조 방법은, 기판(substrate)의 상부 표면을 테플론(Teflon)을 이용하여 표면 처리하는 단계; 표면 처리된 기판의 상부면에 마이크로 플로우 패터닝(microflow patterning) 기법을 이용하여 선택적 이온투과막을 형성하는 단계; 상기 선택적 이온투과막이 형성된 상기 기판의 상부면에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 부어서 상기 기판의 상부면으로 PDMS 몰드(mold)를 형성하는 단계; 상기 기판과 상기 PDMS 몰드를 분리하여, 상기 분리된 PDMS 몰드 내부에 상기 선택적 이온투과막이 포함되는 제1 PDMS 층을 형성하는 단계; 및 상기 선택적 이온투과막이 노출되는 상기 제1 PDMS 층의 상부면에 마이크로 채널이 형성된 제2 PDMS 층을 본딩(bonding)하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면에서는 상기 제1 PDMS 층에 포함된 상기 선택적 이온투과막과 상기 제2 PDMS 층에 포함된 상기 마이크로 채널이 상호 교접하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 압전 물질과 자성 물질이 일체화된 극미세 사이즈의 MEMS 구조물을 형성함으로써, 자기전기효과 계수를 극대화할 수 있고, 초소형 자기 센서 또는 전류 센서의 구현에 응용할 수 있는 압전-자성 마이크로 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 의한 압전-자성 마이크로 소자는, 지지층, 상기 지지층 상에 적층형으로 형성되는 하부 전극층, 압전 박막층 및 상부 전극층을 포함하는 압전체, 상기 압전체를 덮는 절연층 및 상기 절연층 상에 형성되는 자성 박막층을 포함하고, 상기 지지층, 압전체 및 절연층은 캔틸레버(cantilever) 구조를 이루고, 상기 자성 박막층은 상기 캔틸레버 구조의 돌출부 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 단백질 농축을 위한 마이크로포어 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 포어 소자는 이온투과막이 함침된 마이크로 포어(micorpore)를 포함하는 선택적 이온 투과층; 상기 선택적 이온 투과층의 상부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 상부 레저버(reservoir)가 형성되는 상부 PDMS(polydimethylsiloxane)층; 및 상기 선택적 이온 투과층의 하부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 하부 레저버(reservoir)가 형성되는 하부 PDMS(polydimethylsiloxane)층을 포함한다.