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公开(公告)号：KR100207430B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019960018395
申请日：1996-05-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명에 따른 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 구동기판, 비활성층, 식각 방지층 및 M×N개의 구동 구조의 어레이를 포함한다. 상기 각 구동 구조는 다른 쪽 끝에 돌출부 및 관통되는 식각 구멍을 갖으며 게다가 수평 스트라이프를 갖는 박막형 제1전극, 박막형 제2전극, 탄성부 및 플러그를 포함한다. 상기 수평 스트라이프, 돌출부 및 식각 구멍은 각 박막형 광로 조절 장치의 광효율을 증가시키고 린스 액의 제거를 용이하게 하며 박막형 희생층의 제거를 용이하게 하도록 한다.
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公开(公告)号：KR100207381B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019950025841
申请日：1995-08-22
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀을 통하여 구동 기판상의 패드와 도전층을 배선시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 패드가 형성된 구동 기판상에 제1절연층, 제1도전층 및 제2절연층을 순차적으로 적층시키는 제1단계와, 상기 패드 상부에 적층된 상기 제2절연층, 제1도전층 및 제1절연층을 순차적으로 식각시켜 콘택홀을 형성시켜서 상기 패드를 노출시키는 제2단계와, 상기 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시킨 후 상기 콘택홀 주변에 형성된 제2도전층을 제거하여 절연갭을 형성시키는 제3단계로 이루어지며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100207374B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940009521
申请日：1994-04-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치의 광로조절장치(500)의 제조방법에 관한 것으로, 종래의 광로조절장치의 제조과정 중 열처리를 수행하고 나서 희생층을 제거하는 것과는 달리 본 발명에서는 희생층을 제거하고 나서 급속 열처리를 수행하여 광로조절장치(500)를 제조한다. 따라서, 본 발명은 종래의 제조과정에 발생하는 힐록의 문제점과 희생층의 재질 및 두께에 대한 제약을 해결할 수 있어, 희생층의 재질의 선택이 다양하고 희생층의 제거에도 용이한 잇점이 있다.
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公开(公告)号：KR100207373B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940000803
申请日：1994-01-18
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 제조공정을 용이하게 하며 광효율을 높게 하기에 적합한 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 보강대(140)을 형성시킴으로써 거울(110)의 휨을 방지하고 또한 거울(110)의 반사면을 편평하게 구동시킬 수 있어 더욱 광효율을 높일 수 있는 개선된 광로조절장치의 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR100151457B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019940009504
申请日：1994-04-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 상기 트랜지스터 각각에 전기적으로 연결된 제1 및 제2 접속단자가 구비된 구동기판과; 상기 구동기판의 상부에 상기 제1 및 제2 접속 단자가 분리되도록 상기 제1 및 제2 접속단자를 각각 에워싸며 형성된 지지부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 제1 및 제2 접속단자와 접촉되게 형성된 제1플러그와, 상기 지지부의 상부에 일측이 접촉되어 상기 지지부를 관통하여 형성된 제1 플러그에 전기적으로 연결되고, 타측이 상기 구동 기판에 대해 수평으로 이격된 신호 전극과, 상기 제1 및 제2 접속단자를 전기적으로 분리하기 위해, 상기 신호전극 중 상기 제1 및 제2 접속단자 사이에 형성된 부분을 에워싸는 절연체와, 상기 변형부를 관통하도록 형성되어, 상기 제2 접속단자와 전기적으로 연결되는 신호전극과 접촉하는 제2 플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부에 상기 제2 플러그와 접촉되는 부분과 상기 제2 플� ��그에 접촉되지 않는 부분으로 분리하여 형성된 거울로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 변형부 상부의 일측부분에 형성된 거울이 바이어스 전극으로 사용되어 변형부는 이와 중첩되는 일측부분에서만 휘어짐이 발생되고 나머지 타측 부분이 평탄하게 경사지므로 광특성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 변형부의 휘어지는 면적이 축소되므로 거울과의 계면에서 발생되는 응력을 감소시킬 수 있어 크랙 발생 및 박리현상을 감소시킬 수 있는 잇점이 있고, 바이어스 전압이 구동기판에 형성된 도선 패턴에 의해 공통으로 바이어스 전극에 인가되므로 바이어스 전극의 결함시 열방향의 모든 액츄에이터가 아닌 해당되는 액츄에어터만 구동되지 않아 손실을 최소화할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100132004B1
公开(公告)日：1998-04-16
申请号：KR1019940009768
申请日：1994-05-04
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: A manufacturing method for a light path control apparatus comprises a first process through seventh process. The first process is to form an isolation layer(700) of chloride on a pattern substrate(800) of glass or silicon wafer material patterned. The second process is to form a mirror(600) by coating a metal material which is conductive and has a fine reflection property on the isolation layer(700). The third process is to form a transformation portion(560) by coating a material of an electric distortion ceramic or piezoelectric ceramic on the mirror(600). The fourth process is to form a membrane(520) consisting of a conductive metal material on the transformation portion(560). The fifth process is to form a support portion(300) by coating a conductive metal material on a driving substrate(100) embedding a plurality of transistors as a matrix type and comprising a semiconductor material like glass or silicon. The sixth process is to connect the support portion(300) to the membrane(520) by a fusion splicing method using a low melting point metal. The seventh process is to remove the isolation portion(700) by using a flux. Thus, the reliability of the light path control apparatus is improved.
Abstract translation: 光路控制装置的制造方法包括：第一工序〜第七工序。 第一种方法是在图案化的玻璃或硅晶片材料的图形衬底（800）上形成氯化物隔离层（700）。 第二种方法是通过在隔离层（700）上涂覆导电并且具有精细反射特性的金属材料来形成反射镜（600）。 第三种方法是通过在反射镜（600）上涂覆电变形陶瓷或压电陶瓷的材料来形成变换部分（560）。 第四种方法是在转变部分（560）上形成由导电金属材料组成的膜（520）。 第五种方法是通过在作为矩阵型嵌入多个晶体管的驱动衬底（100）上涂覆导电金属材料并且包括诸如玻璃或硅的半导体材料来形成支撑部分（300）。 第六种方法是通过使用低熔点金属的熔接方法将支撑部分（300）连接到膜（520）。 第七种方法是通过使用助熔剂去除隔离部分（700）。 因此，提高了光路控制装置的可靠性。
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公开(公告)号：KR1019970077763A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960018394
申请日：1996-05-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은, 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 종래의 하부 전극이 신호 전극으로 작동하는데 따른 이소 컷팅부의 형성과 그 이소 컷팅부의 형성으로 인한 상부전극과 하부전극의 쇼트(short) 현상, 이소 컷팅 부위의 변형부에서 발생하는 크랙(crack) 현상 공통전극의 단락이나 두께가 얇아짐에 따른 저항 증가 등의 문제점을 해결하기 위하여 능동 소자가 매트릭스 구조로 형성된 구동 기판상에 보호층, 식각 스톱층, 희생층을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 희생층의 표면을 평탄화 시킨후 소정 형상으로 패터닝하는 공정과, 상기 희생층 및 희생층의 패터닝으로 노출된 식각 스톱층의 상부에 멤브레인, 하부 전극을 순차적으로 형성하는 공정과, 하부 전극을 소정 형상으로 패터닝 시키는 공정과, 상기 하부 전극 하부 전극의 패터닝으로 노출된 멤브레인의 상부에 순차적으로 변형부 및 상부 전극을 형성하는 공정과, 상기 상부 전극, 변형부, 하부 전극, 멤브레인을 픽셀 형상으로 순차적으로 패터닝하는 공정과, 상기 하부 전극, 멤브레인, 식각 스톱층, 보호층을 순차적으로 식각시켜 소정 형상의 비아 홀을 형성하는 공정과, 상기 비아홀(Via-Hole)의 내부 및 변형부에 상부에 비아 콘택(Via-contact)층을 형성하는 공정과, 상기 픽셀형상으로 패터닝된 기판의 전면에 보호막을 도포하는 공정과, 상기 희생층을 식각시켜 전체적으로 제거하는 공정과, 상기 보호막의 일부분을 제거하여 상기 상부 전극을 노출시키는 공정으로 이루어진 방법으로 광로 조절 장치를 제조함으로써, 능동소자로부터 발생되는 누설전류로 인한 상부전극과 하부전극의 쇼트(short) 현상을 방지 고, 이소 컷팅 부위의 변형부에서 발생하는 크랙(crack)을 방지하며, 공통전극의 단락이나 두께가 얇아짐에 따른 저항 증가를 막아서 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970008400B1
公开(公告)日：1997-05-23
申请号：KR1019930031716
申请日：1993-12-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: An optical path controller of a projection type image display is constructed in such a manner that supports 2 are formed on both sides of each pixel region on a driving substrate 1, a conductor 3 with a length corresponding to the vertical length of the support vertically penetrates the support, a signal electrode 4 is formed over the driving substrate 1 having a predetermined distance therebetween, the signal electrode 4 being formed on the support and conductor, and a membrane 5, a transformation section 6 and a bias electrode 7 are sequentially formed in the shape of "T" on the signal electrode 4 and each pixel region, having a predetermined distance from the driving substrate 1.
Abstract translation: 投影型图像显示器的光路控制器以这样的方式构成：支撑体2形成在驱动基板1上的每个像素区域的两侧，具有对应于支撑件垂直长度的长度的导体3垂直地穿透 在支撑体上，信号电极4形成在其间具有预定距离的驱动基板1上，信号电极4形成在支撑体和导体上，并且膜5，变换部分6和偏置电极7依次形成在 信号电极4上的“T”形状和与驱动基板1有预定距离的每个像素区域。
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