公开(公告)号：KR100576819B1

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：KR1019990060245

申请日：1999-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍성철 ,  강석희 ,  김우규

IPC: H01L21/00

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 라인에 사용되는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 일정한 주기로 실시되는 반도체 공정설비의 공정조건 검사의 결과 데이터를 작업자의 수작업에 의해 관리하지 않고, 일련의 순서로 진행되는 서버의 제어와 그 주변 장치들의 제어에 의한 관리로 대체하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것이다.
수작업으로 실시되던 공정조건 검사의 데이터 관리가 본 발명에 의한 반도체 공정데이터 관리 시스템으로 대체됨으로써, 공정조건 검사 데이터를 관리하기 위한 관리도의 작성이 불필요하게 되고, 작업자의 과다한 업무가 줄어들며, 공정 진행 전 검사의 결과 데이터가 전산화되어 엔지니어의 데이터 검색과 가공작업이 용이해지고, 이상 설비의 도출이 용이하게 되어 빠른 조치가 가능해지며, 위의 데이터를 실시간으로 전송하는 프로세스에 의해 작업자는 후기 데이터의 입력과 동시에 공정 투입 가능 여부를 확인이 가능해므로, 신속한 공정 투입이 이루어진다.
컨트롤 서버, 데이터 베이스 서버, 호스트 서버

公开(公告)号：KR1020060020863A

公开(公告)日：2006-03-07

申请号：KR1020040069564

申请日：2004-09-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김우규

IPC: B41J2/455 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/10 ,  B41J2/471

Abstract: 본 발명은 광주사장치 내부의 온도 상승으로 인한 광학계의 초점거리 변화를 자동으로 보정할 수 있는 광주사장치에 관한 것이다. 본 발명의 한 유형에 따르면, 광원으로부터 방출된 광을 감광체면 상에 주사하는 광주사장치는, 상기 광원으로부터 방출된 광을 감광체면 상에 결상시키기 위한 광학계의 각 부품들을 위치결정 및 고정하는 것으로, 온도변화에 따른 상기 광학계의 초점거리 변화를 자동으로 보정할 수 있도록 온도변화에 따라 상기 각 부품들 사이의 거리를 변화시키는 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
광주사장치, 레이저 프린터, 실린더 렌즈, 초점 거리, 형상기억합금

公开(公告)号：KR1020050099124A

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：KR1020040024292

申请日：2004-04-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김우규

IPC: B29C45/78

Abstract: 본 발명은 웰드라인의 생성위치를 조절하기 위해 구조가 개선된 사출성형장치 및 사출성형방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 사출성형장치는 용융수지를 가열하기위한 히터와, 용융수지의 온도를 측정하기 위한 온도센서와, 상기 온도센서로 부터 용융수지의 온도값을 입력받아 상기 히터의 전원을 제어하는 제어부를 구비하여 용융수지의 유동성을 제어함으로써 웰드라인의 생성위치를 제어한다.

公开(公告)号：KR1020020063007A

公开(公告)日：2002-08-01

申请号：KR1019990060245

申请日：1999-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍성철 ,  강석희 ,  김우규

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A process data control system is provided to substitute for a manpower system in controlling process datum by using a computer system. CONSTITUTION: A process data control system comprises a processing equipment(27) for performing defined processes, a measuring equipment(29) for performing a measurement processing, an equipment controller(25) connected between the processing equipment(27) and the measuring equipment(29) for transferring order signals, and an operator interface(20) connected between the equipment controller(25) and a network(100) for transferring signals to the equipment controller(25) and displaying feedback datum. A data base server(40) is connected to the network(100) for saving transferred datum. A control server(30) is connected with the operator interface(20) and the data base server(40) through the network(100) for transferring firstly generated order signals to the operator interface(20) and a host server(50) for saving and calculating after collecting necessary datum.

Abstract translation: 目的：提供过程数据控制系统，通过使用计算机系统来代替人力系统控制过程数据。 构成：过程数据控制系统包括用于执行定义的过程的处理设备（27），用于执行测量处理的测量设备（29），连接在处理设备（27）和测量设备（25）之间的设备控制器（25） 29），以及连接在设备控制器（25）和网络（100）之间的用于将信号传送到设备控制器（25）并显示反馈数据的操作员接口（20）。 数据库服务器（40）连接到网络（100）以保存传送的数据。 控制服务器（30）通过网络（100）与操作员界面（20）和数据库服务器（40）连接，用于将首先生成的订单信号传送到操作员界面（20）和主机服务器（50），用于 收集必要的数据后进行储存和计算。