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公开(公告)号：KR1020020034521A
公开(公告)日：2002-05-09
申请号：KR1020000064908
申请日：2000-11-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박용섭
IPC: H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A chemical vapor deposition(CVD) apparatus for fabricating a semiconductor is provided to prevent a wafer from being caught in a slit valve, by determining a precise position of a slid wafer through a reflex mirror attached to the cover of a loadlock chamber and by inspecting whether the wafer is slid to the slit valve installed between a storage elevator and a process chamber. CONSTITUTION: A CVD process is performed in the process chamber(10). The wafer regarding which the CVD process is performed stands by in a wafer standing-by chamber. A robot blade(30) loads/unloads the wafer between the wafer standing-by chamber and the process chamber, connected between the process chamber and the wafer standing-by chamber. The storage elevator temporarily stores the wafer. The robot blade and the storage elevator are installed in the loadlock chamber. The slit valve(21) connects or isolates the loadlock chamber and the process chamber, installed between the loadlock chamber and the process chamber. A loadlock chamber cover(23) is so formed to close up the loadlock chamber. The inside of the loadlock chamber is observed through the reflex mirror attached to the inside of the loadlock chamber cover.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体的化学气相沉积（CVD）装置，以通过确定通过安装在负载锁定室的盖的反射镜的滑动晶片的精确位置来防止晶片被捕获在狭缝阀中，以及 通过检查晶片是否滑动到安装在存储电梯和处理室之间的狭缝阀。 构成：在处理室（10）中执行CVD工艺。 执行CVD工艺的晶片在晶片待机室中搁置。 机器人刀片（30）在连接在处理室和晶片待机室之间的晶片待机室和处理室之间加载/卸载晶片。 存储电梯临时存储晶片。 机器人刀片和存储电梯安装在负载锁定室中。 狭缝阀（21）连接或隔离装载在锁定室和处理室之间的装载室和处理室。 负载锁定室盖（23）被形成为将负载锁定室关闭。 通过安装在负载锁盖室内侧的反光镜观察装载室的内部。
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公开(公告)号：KR1020170069587A
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020150176983
申请日：2015-12-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 영상처리장치가개시된다. 본영상처리장치는, 동일한대상체를서로다른시간에촬영한제1 영상과제2 영상을수신하는영상수신부, 제2 영상을기준으로제1 영상을정합하여변환정보를획득하고, 제1 영상에서대상체의영역에대응되는제1 부분영상을추출하며, 추출된제1 부분영상을변환정보에따라변환하여, 제2 영상의대상체의영역에대응되는제2 부분영상을생성하는프로세서및 제2 부분영상을출력하는출력부를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种图像处理装置。 视频处理设备，所述第一视频图像接收部，用于接收第一视频任务2拍摄的不同时间同一对象，第二图像的基础上，以获得转换信息，所述第一图像中的目标对象的匹配 并提取对应于的区域中的第一部分图像，并将所提取的第一部分图像转换根据转换信息，和一个第二部分图像处理器和第二部分图像以生成对应于所述目标对象的区域中的图像中 并输出一个输出信号。
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公开(公告)号：KR1020160103482A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：KR1020150027488
申请日：2015-02-26
Applicant: 삼성전자주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B6/00
CPC classification number: A61B6/485 , A61B6/032 , A61B6/463 , A61B6/466 , A61B6/481 , A61B6/487 , G06F19/321 , G06T7/0012 , G06T7/30 , G06T7/33 , G06T2200/04 , G06T2207/10081 , G06T2207/10116 , G06T2207/30101 , G06T2207/30172 , A61B6/5241
Abstract: 혈관을나타내는 3차원의료영상및 2차원의료영상을획득하는단계; 2차원의료영상내의혈관의일부영역과대응되는 3차원의료영상내의혈관영역을결정하는단계; 및혈관영역을 2차원의료영상내의혈관의일부영역에정합하는단계를포함하는의료영상처리방법및 이를위한의료영상장치가개시된다.
Abstract translation: 公开了医疗图像处理方法及其医疗图像装置。 医疗图像处理方法包括以下步骤：获得显示血管的3D医学图像和2D医学图像; 确定所述3D医学图像中对应于所述2D医学图像中的血管的局部区域的血管区域; 并将血管区域与2D医学图像中的血管的部分区域相匹配。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160098010A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020150133882
申请日：2015-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사 , 서강대학교산학협력단
CPC classification number: G01S7/52085 , A61B8/145 , A61B8/5207 , A61B8/54 , G01S7/52036 , G01S7/52046 , G01S7/52049 , G01S15/42 , G01S15/8995
Abstract: 복수의스티어링각도들로복수의평면파들을송신하는프로브및 상기복수의평면파들에의한합성송신집속빔패턴의그레이팅로브가관심영역외부에위치하도록상기복수의평면파들을결정하는제어부를포함하는초음파진단장치가개시된다.
Abstract translation: 公开了一种超声波诊断装置。 超声波诊断装置包括将平面波传递到转向角的探针，以及控制部，其确定平面波，以允许通过平面波的组合的发射光束图案的光栅图案位于感兴趣区域之外。 因此，能够提高超声波图像的图像质量。
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公开(公告)号：KR1020160065674A
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：KR1020140169972
申请日：2014-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A61B6/00
CPC classification number: A61B6/469 , A61B6/037 , A61B6/4441 , A61B6/488 , A61B6/5205 , G06F19/00 , G06T11/005 , G06T2211/424 , G06T2211/432 , A61B6/00 , A61B6/40 , A61B6/4007
Abstract: 엑스선소스로부터대상체로조사된엑스선을검출하여획득되는측정데이터를획득하는데이터획득부및 상기측정데이터에기초하여초기영상을획득하고, 상기측정데이터및 상기초기영상에기초하여 ROI(region of interest) 외부측정데이터및 ROI 내부측정데이터를교차로추정하고, 상기 ROI 내부측정데이터에기초하여재구성영상을획득하는영상처리부를포함하는의료영상장치가개시된다.
Abstract translation: 公开了一种医疗成像装置，包括：数据获取器，被配置为获取通过将X射线源辐射的X射线检测到对象而获取的测量数据; 以及被配置为基于测量数据获取初始图像的图像处理器，基于测量数据和初始图像交替地估计测量数据和ROI内部测量数据，并且获取一个 基于ROI内部测量数据的重建图像。
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公开(公告)号：KR1020160056271A
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：KR1020150140613
申请日：2015-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
Abstract: 멀티파라미터맵핑 (magnetic resonance fingerprinting) 을통해, 자기공명영상장치가제1 물질및 제2 물질을포함하는대상체의자기공명영상을처리하기위한방법및 장치가개시된다.
Abstract translation: 公开了一种通过使用多参数映射（磁共振指纹图谱）通过磁共振成像装置处理包括第一材料和第二材料的物体的磁共振图像的方法和装置。 根据本发明，该装置包括：RF控制单元，向对象施加多个RF脉冲; 数据采集单元对第一和第二磁共振信号进行低取样; 以及成像处理单元，被配置为确定所述第一和第二材料的属性值。 本发明提供能够有效地分割不同材料的磁共振信号的磁共振成像装置。
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公开(公告)号：KR100653684B1
公开(公告)日：2006-12-04
申请号：KR1020000064908
申请日：2000-11-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박용섭
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 선행 공정을 종료한 웨이퍼가 화학기상증착 공정이 진행되는 프로세스 챔버로 무빙될 때, 웨이퍼가 중간에서 슬라이딩될 경우, 슬라이딩된 웨이퍼의 포지션을 정확히 확인하여 웨이퍼가 브로큰되는 것을 방지한 반도체 제조용 화학기상증착 설비에 관한 것으로, 본 발명 반도체 제조용 화학기상증착 설비는 화학기상증착 공정이 진행되는 프로세스 챔버, 화학기상증착 공정이 진행될 웨이퍼가 대기하는 웨이퍼 대기 챔버, 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 로봇 블레이드 및 웨이퍼가 저장되는 스토리지 엘리베이터가 설치되는 로드락 챔버, 로드락 챔버와 프로세스 챔버 사이에 설치되는 슬릿 밸브, 로드락 챔버를 밀폐시킬 수 있도록 형성된 로드락 챔버 커버, 그리고 로드락 챔버 커버에 설치된 반사경을 포함한다.
이와 같은, 본 발명은 웨이퍼가 화학기상증착 공정이 진행되는 프로세스 챔버로 무빙될 때, 웨이퍼를 무빙하는 로봇 블레이드에서 웨이퍼 슬라이딩이 발생할 경우, 슬라이딩된 웨이퍼가 슬릿 밸브에 걸렸는지 여부를 정확히 확인할 수 있어 웨이퍼가 슬릿 밸브에 걸려서 브로큰되는 경우를 미연에 방지할 수 있다.
화학기상증착설비, 반사경-
公开(公告)号：KR1020060087697A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008500
申请日：2005-01-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박용섭
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 카세트에 장착된 웨이퍼를 스토리지 엘리베이터로 로딩할 시 웨이퍼의 센터를 검출하는 센터파인드보드에 관한 것이다.
스토리지 엘리베이터에 공정이 완료된 웨이퍼가 대기할 시 웨이퍼로부터 발열되는 고온에 의해 페일이 발생하지 않도록 하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 센터파인드보드는, 웨이퍼가 입출력하기 위한 통로를 갖도록 수평방향으로 형성된 직사각형홀과, 상기 직사각형홀의 상부기판 상에 수평방향으로 돌출되도록 고정되어 상기 웨이퍼로부터 발열되는 고열을 차단하기위한 방열판을 구비한다.
반도체 제조설비에서 로드락챔버에 설치되어 있는 스토리지 엘리베이터에 공정이 완료된 웨이퍼를 일시적으로 수납하여 대기하고 있을 때 센터파인드보드 직사각형홀의 상부에 방열판을 설치하여 웨이퍼로부터 발열되는 고열을 차단하도록 하여 방열판 상부에 설치된 수광센서 및 PCB 등이 웨이퍼의 고열로 인하여 페일이 발생되는 것을 방지한다.
웨이퍼 로딩장치, 웨이퍼 로딩미스, 센터파인드보드, 스토리지 엘리베이터
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