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公开(公告)号：KR100576360B1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020030088721
申请日：2003-12-08
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정진석
IPC: H01L21/336
CPC classification number: H01L29/6653 , H01L21/28114 , H01L29/42376 , H01L29/665 , H01L29/6656 , H01L29/6659 , H01L29/7833
Abstract: 티형 게이트 및 엘형 스페이서를 구비하는 반도체 소자의 제조 방법들을 제공한다. 이 방법은, 수직 게이트 패턴을 갖는 상기 반도체 기판 상에 절연막 및 희생막을 차례로 형성한다. 상기 희생막을 식각하여 희생 스페이서를 형성한다. 적어도 상기 수직 게이트 패턴의 상부면이 노출될 때까지 상기 절연막을 식각하여 상기 수직 게이트 패턴의 측벽과 상기 희생 스페이서 사이에 위치하는 수직부 및 상기 수직부로부터 연장되어 상기 반도체 기판과 상기 희생 스페이서 사이에 위치하는 수평부를 포함하는 L-형 스페이서를 형성한다. 상기 L형-스페이서의 상기 수직부의 일부를 선택적으로 식각하여 상기 수직 게이트 패턴의 상부 측벽과 상기 희생 스페이서 사이에 빈공간을 형성한다. 적어도 상기 빈공간을 채우는 전도막으로 이루어지는 수평 게이트 패턴을 형성하여, 상기 수직 게이트 패턴 및 상기 수평 게이트 패턴으로 이루어지는 T형-게이트를 얻는다. 이어서, 상기 희생 스페이서를 제거한다.
T형-게이트, L형-스페이서, 희생 스페이서, 공간, 식각-
公开(公告)号：KR1020040080510A
公开(公告)日：2004-09-20
申请号：KR1020030015315
申请日：2003-03-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8238
CPC classification number: H01L29/6659 , H01L21/82345 , H01L21/823468 , H01L29/6656
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a CMOS(Complementary MOS) transistor is provided to prevent etch damage of an N-type transistor region and to easily control overlap length by forming selectively the first spacer at both sidewalls of a P-type gate pattern. CONSTITUTION: N-type gate patterns(110a) and P-type gate patterns(110b) are formed on an N-type transistor region and a P-type transistor region of a substrate(100). N-type impurities are selectively implanted into the N-type transistor region. The first insulating layer(120a) is formed on the resultant structure. The first spacer(130) is selectively formed at both sidewalls of the P-type gate pattern by etching the first insulating layer of the P-type transistor region while remaining the first insulating layer on the N-type transistor region. P-type impurities are selectively implanted into the P-type gate pattern and the P-type transistor region.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造CMOS（互补MOS）晶体管的方法，以防止N型晶体管区域的蚀刻损伤，并且通过在P型栅极图案的两个侧壁处选择性地形成第一间隔物来容易地控制重叠长度。 构成：在衬底（100）的N型晶体管区域和P型晶体管区域上形成N型栅极图案（110a）和P型栅极图案（110b）。 N型杂质被选择性地注入到N型晶体管区域中。 在所得结构上形成第一绝缘层（120a）。 通过蚀刻P型晶体管区域的第一绝缘层，同时保留N型晶体管区域上的第一绝缘层，第一间隔物（130）选择性地形成在P型栅极图案的两个侧壁处。 P型杂质选择性地注入到P型栅极图案和P型晶体管区域中。
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公开(公告)号：KR1020040057471A
公开(公告)日：2004-07-02
申请号：KR1020020084219
申请日：2002-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정진석
IPC: H01L21/336
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a transistor of a semiconductor device is provided to prevent the ions for a shallow junction region of a source/drain electrode from diffusing into an unwanted portion by sequentially forming a deep junction region and the shallow junction region. CONSTITUTION: A gate oxide layer(12) and a gate poly(14) are sequentially deposited on a substrate(10). An anti-reflective coating(16a) is formed on the gate poly. A spacer(18a) is formed at both sidewalls of the anti-reflective coating. A deep junction region(20a) is formed at both sides of the anti-reflective coating in the substrate by carrying out the first ion-implantation using the spacer as a mask. The spacer is removed. A gate electrode is formed by selectively etching the gate poly and the gate oxide layer using the anti-reflective coating as an etching mask. A shallow junction region is formed between the gate electrode and the deep junction region by carrying out the second ion-implantation using the gate electrode as a mask.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的晶体管的方法，以通过顺序地形成深结区域和浅结区域来防止源/漏电极的浅结区域的离子扩散到不需要的部分。 构成：栅极氧化物层（12）和栅极聚（14）依次沉积在衬底（10）上。 在栅极poly上形成抗反射涂层（16a）。 在防反射涂层的两个侧壁处形成间隔物（18a）。 通过使用间隔物作为掩模进行第一离子注入，在衬底中的抗反射涂层的两侧形成深结区域（20a）。 移除间隔物。 通过使用抗反射涂层作为蚀刻掩模选择性地蚀刻栅极多晶硅和栅极氧化物层来形成栅电极。 通过使用栅电极作为掩模进行第二离子注入，在栅电极和深结区之间形成浅结区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100213066B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960039857
申请日：1996-09-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06T1/00
Abstract: 본 발명은 하이퍼링크 기능을 갖는 동영상 재생장치에 관한 것으로서, 동영상을 재생하는 동영상재생기; 동영상을 출력하는 출력부; 하이퍼링크되어 있는 특정부분에 대한 정보를 받아들이는 사용자신호 입력부; 입력부로부터 신호를 검출하여 동영상의 프레임번호 및 프레임 상의 위치정보를 생성하는 사용자입력신호검출부; 동영상프레임집합, 프레임위치정보 및 특정부분에 대한 상세한 정보가 저장되어 있는 곳의 주소정보를 저장하고 있는 하이퍼링크 맵 데이터베이스; 프레임번호 및 위치정보를 받아 하이퍼링크 맵 데이터베이스를 조회하는 하이퍼링크 맵 조회기; 출력된 주소를 액세스하는 하이퍼링크 이동기; 및 프레임번호 및 위치정보의 하이퍼링크 맵 조회기 전달을 제어하고, 출력된 주소를 하이퍼링크 이동기로의 전달을 제어하며, 억세스한 곳의 정보를 재생하는 동영상재생기를 제어하는 제어부를 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 동영상이 재생되는 동안에도 재생되고 있는 동영상 중 사용자가 선택하는 특정부분에 대한 보다 상세한 정보를 얻을 수 있도록 함으로써 더욱 풍부한 정보이용을 가능하게 하였다.-
公开(公告)号：KR1019990015439A
公开(公告)日：1999-03-05
申请号：KR1019970037565
申请日：1997-08-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06Q50/00
Abstract: 본 발명은 단축 접속 웹 전화기에 관한 것으로, 단축 접속 웹 전화기는 복수 개의 웹 사이트 주소를 저장하는 제1메모리; 사용자의 웹 전화기를 인터넷에 연결하고 브라우저를 실행하며 제1메모리에 저장된 웹 사이트 주소를 읽어서 해당 웹 사이트에 접속하는 프로그램을 저장하는 제2메모리; 및 제2메모리에 저장된 프로그램을 수행하는 중앙처리장치로 이루어진다.
본 발명에 의하면, 자주 방문하는 웹 사이트의 경우 그 웹 사이트의 주소를 소정의 메모리에 저장해두고, 매 방문시에 주소를 입력하는 대신 한 번의 버튼 터치로 메모리에 저장된 주소를 읽어서 접속하므로 조작이 간단한 이점이 있다.-
公开(公告)号：KR1019990015438A
公开(公告)日：1999-03-05
申请号：KR1019970037564
申请日：1997-08-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L12/24
Abstract: 본 발명은 네트웍 연결 시간 관리 기능을 갖춘 시스템에 관한 것으로서, 공중 전화 교환망(PSTN 망)과 연결되어 네트웍 서비스를 제공 받는 네트웍 연결 시간 관리 시스템은, 네트웍 사용 요금 체계와 사용자가 설정한 네트웍 환경을 저장하고 네트웍 연결 시간 및 검색중인 문서의 주소를 저장하며 그 저장된 내용에 따라 네트웍 연결에 관한 신호를 출력하는 네트웍 연결 시간 관리부; 사용자와의 인터페이스를 제공하는 사용자 인터페이스부; 사용자 인터페이스부를 통해 사용자가 설정한 네트웍 환경을 네트웍 연결 시간 관리부에 전송하고, 네트웍에 접속하여 정보를 검색하며, 네트웍 연결 시간 관리부에서 전송한 네트웍 연결에 관한 신호에 따라 네트웍 해제 및 검색중인 정보 다운로드를 수행하는 네트웍 사용부를 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 네트웍 연결 시간 관리 시스템 및 그 방법으로서 사용자의 희망 여부에 따라 네트웍 사용 시간에 따라 부과되는 요금 체계를 반영한 시간 관리를 할 수 있게되어 요금 부담을 줄일 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019990001922A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970025395
申请日：1997-06-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04Q9/00
Abstract: 본 발명은 정보 단말 장치 및 그 동작 방법에 관한 것으로서, 특히 정보 단말기용 리모콘에 영상 입출력 표시장치를 부가하여 본체와의 상호 교신이 가능한 장치 및 그 동작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적을 위하여 정보를 송수신하여 해당 정보를 그래픽으로 화면상에 디스플레이하는 본체부; 상기 본체부와 동일한 그래픽 정보를 수신하여 화면상에 디스플레이하고, 그 그래픽 정보를 지시자에 따라 선택하면 상기 본체부의 그래픽 정보가 동일하게 지시되는 리모콘부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 정보 단말기용 리모콘에 영상 입출력 장치를 부가하여 그 그래픽을 선택하여 본체와의 교신을 수행함으로서 사용자가 편리하고 정밀하게 지시점을 선택할 수 있는 이점이 있다.
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公开(公告)号：KR1019980050393A
公开(公告)日：1998-09-15
申请号：KR1019960069201
申请日：1996-12-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야:
인터네트를 이용한 전자신문에 관한 기술이다.
나. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제:
인터네트를 이용한 전자신문의 예약과 자동배달을 수행한다.
다. 그 발명의 해결방법의 요지:
본 발명에서, 예약모듈 2는 제반동작을 미리 지정하는 모듈로서 기사예약, 활동시간, 기사보존 등의 하부모듈로 구성되며, 배달모듈 4는 지정된 시각에 예약된 기사가 위치한 인터네트 상의 지점(사이트)에 접속하여 해당 기사를 전달받아 사용자 컴퓨터의 저장장치의 지정된 위치에 보관하고 배달된 기사에 관련된 정보를 데이타베이스에 관리하는 기능을 담당한다. 그리고 출력모듈 6은 사용자에게 배달된 기사의 제목, 입력시간 등의 정보를 보여주고, 사용자의 지시에 따라 기사본문의 출력, 기사의 삭제, 다른 기사그룹의 열람 등의 기능을 수행한다.
라. 발명의 중요한 용도:
인터네트를 이용한 전자신문 예약 및 자동배달
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