Abstract:
본 발명은 반도체 디바이스 제조설비의 가스 박스 모듈에 관한 것이다. 본 발명에 의한 상기 가스 박스 모듈은, 가스 박스를 구성하는 부품들을 결합시키는 블록부 및 상기 부품에 각각 홈 및 상기 홈에 피팅되는 체결부로 구성되는 얼라인 키를 형성함을 특징으로 한다. 본 발명에서는 종래의 스크류를 사용하는 대신 상기 얼라인 키를 이용함으로써, 상기 블록부와 부품을 보다 정확히 얼라인함과 동시에 상기 블록부에 부품을 단단히 결합시킬 수 있게 된다. 그리고, 종래에서와 같은 스크류 마모 및 스크류 마모로 인한 개스킷 탈락등의 문제점을 해소하여 상기 부품들이 쉬프트되거나 가스 리크가 발생되는 종래의 문제점을 해소할 수 있게 된다. 가스 박스, 얼라인 키, 스크류, 개스킷, 레귤레이터, MFC
Abstract:
An apparatus for fabricating a semiconductor is provided to prevent polymer from being deposited on a door by making the door have a temperature not lower than that of the inner wall of a chamber. An inlet/outlet through which a substrate is loaded/unloaded is formed in a chamber in which a space for performing a semiconductor process is performed. The inlet/outlet of the chamber is opened/closed by a door(114). At least one heater member(130) is included in the door to heat the door. A dry etch process or a chemical vapor deposition process is performed on the wafer in the chamber. The chamber further includes a temperature detecting part and a control part. The temperature detecting part measures the temperature of the inner wall of the chamber. The control part receives an electrical signal transferred from the temperature detecting part to control the heater member.
Abstract:
트리 계층 구조의 무선 네트워크를 구성하는 복수의 노드 중 상위의 제1노드와의 연결을 상실한 하위의 제2노드가 네트워크 내에서 라우팅 경로를 복구하는 라우팅 경로 복구방법이 개시된다. 라우팅 경로 복구방법은 제2노드가 라우팅 경로의 복구를 요청하는 경로복구요청 패킷을 브로드캐스팅하는 단계, 경로복구요청 패킷을 수신한 적어도 하나의 노드가 경로의 복구를 위한 중계노드의 역할을 수행하기 위해 경로복구응답 패킷을 제2노드로 전송하는 단계, 제2노드가 경로복구응답 패킷을 전송한 적어도 하나의 노드 중 어느 일 노드를 중계노드로 선택하고, 이를 알리는 경로복구확인 패킷을 중계노드로 전송하는 단계 및 중계노드가 제1노드로 경로복구알림 패킷을 전송하여, 제2노드와 제1노드 사이의 라우팅 경로를 설정하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 기존 트리 라우팅 구조를 가능한 유지하며 경로를 복구하여 네트워크 자원을 절약하고 효율적인 라우팅이 가능하게 된다. 트리 라우팅 구조, 라우팅 경로, 홉 수, 라우팅 테이블, LREQ, LREP
Abstract:
스트리밍 컨텐츠 중복 전송을 방지하기 위한 PCT(Pending Contents Table) 장치 및 그 방법이 제공된다. 상기 방법은 스트리밍 요청을 단말로부터 수신한 경우, 상기 스트리밍 요청에 대응하는 컨텐츠를 컨텐츠 제공 서버로 요청하였는지 결정하는 과정과 상기 컨텐츠 제공 서버로 상기 컨텐츠를 요청한 경우, 상기 컨텐츠 제공 서버로의 상기 스트리밍 요청 전송을 보류하는 과정과 상기 컨텐츠 제공 서버로 상기 컨텐츠를 요청하지 않은 경우, 상기 컨텐츠 제공 서버로 상기 스트리밍 요청을 전송하는 과정과 상기 컨텐츠 제공 서버로부터 상기 컨텐츠를 수신하는 경우, 상기 컨텐츠를 요청한 단말로의 상기 컨텐츠의 전송 방식을 결정하는 과정과 결정된 전송 방식에 따라, 상기 컨텐츠를 요청한 단말로 상기 컨텐츠를 전송하는 과정을 포함한다.
Abstract:
비디오 스트리밍 서비스를 제공하기 위한 기술에 관한 것으로서, 비디오 스트리밍 서비스를 제공하기 위한 모바일 장치의 방법은, 주기적으로 상기 모바일 장치의 위치와 이동 경로 정보를 제 1 서버로 전송하는 과정과, 상기 제 1 서버로부터 상기 모바일 장치의 이동 경로에 따라 예측되는 위치별 비트레이트 정보를 수신하는 과정과, 상기 모바일 장치의 예측되는 위치별 비트레이트 정보를 기반으로 상기 모바일 장치의 현재 위치에 대한 비트레이트를 결정하는 과정과, 상기 비트레이트를 기반으로 비디오 세그먼트를 전송해줄 것을 제 2 서버로 요청하는 과정을 포함한다.
Abstract:
본 명세서의 일 실시 예에 따르는 이동통신 시스템의 비트레이트 선택 서버에서 동영상 송수신 지원 방법은 단말로부터 동영상의 메타데이터 요청을 수신하는 단계; 상기 요청을 기반으로 미디어 서버에 상기 수신한 메타데이터 요청을 전송하는 단계; 상기 미디어 서버에서 메타데이터 응답을 수신하는 단계; 상기 수신한 비디오 메타데이터를 저장하고, 상기 단말에 전송하는 단계; 상기 단말의 가입자 정보를 PCRF(Policy and Charging Rules Function)에 요청하고, 상기 가입자 정보를 수신하는 단계; 상기 단말로부터 상기 동영상의 비디오 세그먼트 요청을 수신하는 단계; 및 상기 비디오 메타데이터 및 상기 가입자 정보 중 하나 이상을 기반으로 상기 동영상의 비트 레이트를 결정하는 단계를 포함한다.본 명세서의 일 실시 예에 따르면 Streaming Proxy가 bitrate 또는 SVC(Scalable Video Coding) 레이어를 할당 할 때 무선 자원의 용량을 고려하므로 각 UE가 이에 대한 고려 없이 자신에게 할당되는 대역폭만을 보고 독립적으로 선택할 때보다 무선 링크에서의 부하 현상이 적어지게 된다. 특히 네트워크 상태에 따라 통신 사업자가 비디오를 위해 사용할 무선 자원의 양을 선택할 수 있으므로 무선자원을 유연하며 효율적으로 사용할 수 있다.
Abstract:
A gas box module of semiconductor device fabricating equipment is provided to more precisely align a block part and components of a gas box module while firmly coupling the component to the block part wherein the components are placed on the block part by forming an align key composed of grooves and a coupling part fit into the groove. A gas box module supplies process gas to semiconductor device fabricating equipment. A coupling part(204) of an align key is formed in components(200) that supply the process gas to be supplied to the inside of a process chamber. A groove part(104) of the align key to which the coupling part is coupled is formed in a block part(100). The groove part can be formed in the upper region of the block part, and the coupling part can be formed in a region under both sides of the components.
Abstract:
PURPOSE: A method for recovering a routing path in a wireless network in a tree structure is provided to save network resources and effectively perform routing without having to reset an existing tree structure overall. CONSTITUTION: When a link with a POS(Parent of Orphaned Sub-tree) is released, a TOS(Top node of the Orphaned Sub-tree)(120) checks the disconnection of the network connection and broadcasts an LREQ(Local repair REQuest) packet requesting path recovery(S210) to a GFO(Gateway node From the Orphaned sub-tree)(130). Upon receiving the path recovery request packet, the GFO(130) adds its address to the path recovery request packet and broadcasts it to a GTO(Gateway node To the Orphaned sub-tree)(140)(S220). The GTO(140) transmits an LREP(Local Repair Reply) packet to the TOS(120) via the GFO(130)(S230). The TOS(120) transmits an LCON(Local repair CONfirm) packet to the GTO(140) via the GFO(130)(S240). The GTO(140) transmits an LINF(Local repair INFormation) packet to the POS, and in this case, the POF(grandParent node of the TOS)(110) first receives the LINF, recognizes whether the POS has an error, and informs establishing of a path from the POF(110) to the TOS(120)(S250).