코로나 방전을 이용한 입자의 제조장치 및 그 제조방법
    21.
    发明授权
    코로나 방전을 이용한 입자의 제조장치 및 그 제조방법 失效
    코로나방전을이용한입자의제조장치및그제조방

    公开(公告)号:KR100441851B1

    公开(公告)日:2004-07-27

    申请号:KR1020010031211

    申请日:2001-06-04

    Abstract: An apparatus and method for manufacturing particles using corona discharge is disclosed. A discharge electrode is provided within a guide duct and reaction gases are supplied into the guide duct. A high voltage is applied to the discharge electrode and a low voltage is applied to the guide duct to generate a voltage difference therebetween. When heat energy is applied to the reaction gases, chemical reactions occur in the gases and particles are made by the chemical reactions. The particles form new particles centering around ions as nuclei which are generated by corona discharge and moves along the guide duct. A collecting plate positioned in front of the guide duct collects the particles.

    Abstract translation: 公开了一种使用电晕放电制造颗粒的装置和方法。 放电电极设置在导管内并且反应气体被供应到导管内。 向放电电极施加高电压,并且向导管施加低电压以在其间产生电压差。 当热能施加到反应气体时,化学反应在气体中发生,颗粒由化学反应制成。 这些颗粒形成以离子为中心的新粒子,作为由电晕放电产生的核心并沿着导管移动。 位于导管前方的收集板收集颗粒。

    반도체 공정가스용 차압식 유량 제어기

    公开(公告)号:KR100418684B1

    公开(公告)日:2004-02-14

    申请号:KR1020030042584

    申请日:2003-06-27

    Abstract: PURPOSE: A differential pressure flow controller for gases used in semiconductor process is provided to measure and control accurately the flow of the semiconductor process gas by generating the differential pressure from the flow path of the semiconductor process gas. CONSTITUTION: A body(10) includes a flow path of gases. A control valve(20) is used for controlling the flow of the semiconductor process gas by opening or shutting the flow path of the body. A differential pressure generation element(30) is used for generating the differential pressure from the flow path of the body. A tube(40) penetrates the differential pressure generation element. A pressure sensor(50) is inserted into the tube in order to detect the differential pressure of the flow path due to the differential pressure generation element. A CPU(Central Processing Unit)(60) produces the flow of the gases and controls the control valve according to a detection signal of the pressure sensor.

    공기 중 미생물의 포집장치
    23.
    实用新型
    공기 중 미생물의 포집장치 失效
    空气微生物收集装置

    公开(公告)号:KR200324880Y1

    公开(公告)日:2003-08-27

    申请号:KR2020030018849

    申请日:2003-06-16

    Inventor: 안강호 김영원

    Abstract: 본 고안은 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물을 관성충돌에 의하여 포집하는 공기 중 미생물의 포집장치를 개시한다. 체임버를 갖는 몸체와, 몸체의 체임버에 회전할 수 있도록 설치되는 포집판과, 포집판을 회전시키는 구동수단과, 포집판에 공기 중의 입자들에 포함되어 있는 미생물이 관성충돌에 의하여 포집되도록 공기를 분사하는 노즐로 구성된다. 본 고안에 의하면, 노즐에 의하여 회전하는 포집판에 공기를 분사하여 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물 관성충돌에 의하여 간편하게 포집함으로써, 미생물의 포집 효율을 크게 향상시킬 수 있으며, 미생물이 포집판의 한곳에 과다하게 포집되는 것을 효과적으로 방지하여 미생물을 균일하게 포집할 수 있다. 또한, 몸체, 구동장치와 공기도입장치의 간단한 구성에 의하여 식품가공분야, 생화학 테러 등 다양한 현장에 간편하게 설치 및 이동하여 미생물의 포집을 실시할 수 있는 효과가 있다.

    전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치및 그 제조방법
    24.
    发明公开
    전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치및 그 제조방법 失效
    使用电动水力原子化设备制造超细颗粒的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020010098715A

    公开(公告)日:2001-11-08

    申请号:KR1020010020890

    申请日:2001-04-18

    Abstract: 본 발명은 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치와 그 제조방법을 개시한다. 본 발명을 구성하는 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치는 금속유기물, 금속할로겐화합물 등의 전구체 또는 비휘발성물질 또는 비휘발성입자가 공급되며 선단에 노즐을 구비하는 하나 이상의 모세관이 유도덕트의 내부에 위치한다. 모세관과 유도덕트의 사이에 전압차가 형성되어 노즐로부터 고하전의 초미세입자가 방출되도록 모세관과 유도덕트에는 전압이 각각 인가된다. 모세관의 노즐로부터 방출되는 고하전의 초미세입자는 유도덕트를 따라 운반기체에 의하여 운반된다. 초미세입자에 열에너지가 가해져 초미세입자에는 화학반응이 발생하고 화학반응이 일어난 초미세입자는 유도덕트의 전방에 위치하는 포집판에 의하여 포집된다.

    분무입자의 유도가 가능한 전기수력학적 분사장치
    25.
    发明公开
    분무입자의 유도가 가능한 전기수력학적 분사장치 失效
    可引导喷雾颗粒的电液注射装置

    公开(公告)号:KR1020010078078A

    公开(公告)日:2001-08-20

    申请号:KR1020010003722

    申请日:2001-01-26

    CPC classification number: B05B5/005 B05B5/087 B05B5/1608

    Abstract: PURPOSE: An electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles is provided to allow high charged hyperfine particles to be stayed in a specific space, and to naturally suck the outside air. CONSTITUTION: The electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles comprises a hollow typed cylinder(20); a capillary tube(10) penetrating the hollow typed cylinder; and a power source(40) serving to generate the difference of voltage between the hollow typed cylinder and the capillary tube. The capillary tube provided on the tip end of the hollow typed cylinder is connected with a liquid injection device(50). The capillary tube comprises a nozzle(12) disposed on the tip end thereof serving to discharge sprayed particles, and a penetrating hole(32) communicating with the interior of the hollow typed cylinder. The hollow typed cylinder is constructed by connecting many short tubes electrically insulated each other. Different voltages are applied to each short tube of the hollow typed cylinder. Also, an injection member(30) is fitted in the end of the hollow typed cylinder.

    Abstract translation: 目的:提供一种能够引导喷雾颗粒的电液注射装置,以使高电荷超细颗粒停留在特定空间中,并自然地吸入外部空气。 构成:能够引导喷雾颗粒的电液注射装置包括中空型圆筒(20); 穿过中空型圆筒的毛细管(10); 以及用于产生中空型气缸和毛细管之间的电压差的电源(40)。 设置在中空型圆筒的前端的毛细管与液体注入装置(50)连接。 毛细管包括设置在其顶端的用于排出喷雾颗粒的喷嘴(12),以及与中空型圆柱体的内部连通的穿透孔(32)。 中空型圆柱体通过连接许多短管彼此电绝缘而构成。 不同的电压施加到中空型圆筒的每个短管。 此外,注射构件(30)装配在中空型圆柱体的端部中。

    26.
    外观设计
    失效

    公开(公告)号:KR3000396770000S

    公开(公告)日:1983-02-25

    申请号:KR3019820003837

    申请日:1982-05-04

    Applicant: 안강호

    Designer: 안강호

    입자 측정 유니트
    27.
    发明公开
    입자 측정 유니트 有权
    颗粒计数装置与冷凝颗粒计数器

    公开(公告)号:KR1020100085395A

    公开(公告)日:2010-07-29

    申请号:KR1020090004655

    申请日:2009-01-20

    CPC classification number: G01N15/065

    Abstract: PURPOSE: A particle counting unit is provided to count fine articles stably and accurately through a condensation particle detection unit of a multi-channel and simple structure. CONSTITUTION: A particle counting unit(10) comprises a housing, an atomizer unit(200), a saturator(400) and a condenser. The atomizer unit is arranged in the housing and accomplishes fluid communication with a high pressure DI(deionized) water line. The atomizer unit is branched from the high pressure DI water line and sprays the DI water including particles. The saturator is arranged on the downstream of the atomizer unit in the housing. The saturator saturates the particles with the saturation working fluid. The condenser condenses the particles saturated with the saturation working fluid.

    Abstract translation: 目的:提供一种粒子计数单元,通过多通道和简单结构的冷凝颗粒检测单元稳定准确地计数细小物品。 构成:粒子计数单元(10)包括壳体,雾化器单元(200),饱和器(400)和冷凝器。 雾化器单元布置在壳体中并且实现与高压DI(去离子)水管线的流体连通。 雾化器单元从高压DI水线分支并喷射包括颗粒的去离子水。 饱和器布置在壳体中的雾化器单元的下游。 饱和器饱和颗粒与饱和工作液体。 冷凝器冷凝饱和饱和工作流体的颗粒。

    응축 입자 계수 장치
    28.
    发明公开
    응축 입자 계수 장치 有权
    冷凝颗粒计数装置

    公开(公告)号:KR1020100041580A

    公开(公告)日:2010-04-22

    申请号:KR1020080100829

    申请日:2008-10-14

    CPC classification number: G01N15/065

    Abstract: PURPOSE: A condensation particle counter is provided to condense particle through a virtual impactor and to accurately and quickly supply particle data to a user. CONSTITUTION: A condensation particle counter comprises a housing, distributor, saturator(300), condenser(400), virtual impactor(500), and counter(600). The saturator saturates aerosol with fluid. The condenser is placed inside the housing and is connected with the saturator. The condenser condenses particles inside the saturated aerosol. The impactor is placed at a location downstream of the condenser and classifies the aerosol into preset ratio. The counter is placed at a location downstream of the virtual impactor and is connected to the virtual impactor.

    Abstract translation: 目的:提供冷凝颗粒计数器以通过虚拟冲击器凝结颗粒,并准确快速地向用户提供颗粒数据。 构成:冷凝颗粒计数器包括壳体,分配器,饱和器(300),冷凝器(400),虚拟冲击器(500)和计数器(600)。 饱和器饱和气溶胶与流体。 冷凝器放置在壳体内并与饱和器连接。 冷凝器将颗粒物凝结在饱和气溶胶内。 冲击器放置在冷凝器下游的一个位置,并将气溶胶分成预设的比例。 计数器位于虚拟冲击器下游的一个位置,并连接到虚拟冲击器。

    소프트 엑스레이 광이온화 하전기
    29.
    发明授权
    소프트 엑스레이 광이온화 하전기 失效
    软X射线光电充电器

    公开(公告)号:KR100902946B1

    公开(公告)日:2009-06-15

    申请号:KR1020070047230

    申请日:2007-05-15

    CPC classification number: H05F3/06 G01N15/0266

    Abstract: 본 발명은 소프트 엑스레이 광이온화 하전기를 개시한다. 본 발명은 입자들을 포함하는 에어로졸의 유로를 형성하는 챔버를 가지며 외면 일측에 챔버와 연결되는 구멍이 형성되어 있는 하우징과, 하우징의 구멍에 장착되어 소프트 엑스레이를 주사하는 헤드를 갖는 포토이오나이저와, 챔버와 헤드 사이에 장착되어 있고 입자들이 소프트 엑스레이에 의하여 중화되도록 소프트 엑스레이가 통과되는 경질의 트랜스퍼런스 윈도우로 구성된다. 또한, 트랜스퍼런스 윈도우의 가장자리에 연질의 서포트링이 장착되어 있으며, 트랜스퍼런스 윈도우는 슬라이스 유리, 슬라이스 운모 중 어느 하나로 이루어진다. 본 발명에 의하면, 에어로졸의 유로를 형성하는 하우징의 챔버와 포토이오나이저의 헤드 사이에 트랜스퍼런스 윈도우가 장착되어 챔버의 벽면으로부터 입자의 발생이 방지되므로, 입자의 측정에 대한 신뢰성 및 재현성을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 에어로졸의 중화 성능을 유지하면서도 방사성 동위원소에 비하여 안전하고 관리가 용이하여 ISPM 등의 장비에 매우 간편하게 사용할 수 있다.

    응축핵 계수기
    30.
    发明授权
    응축핵 계수기 有权
    冷凝颗粒计数器

    公开(公告)号:KR100888954B1

    公开(公告)日:2009-03-17

    申请号:KR1020070067422

    申请日:2007-07-05

    Applicant: 안강호

    Inventor: 안강호

    CPC classification number: G01N15/065

    Abstract: 본 발명은 다량의 미립자를 효율적으로 측정할 수 있는 응축핵 계수기를 개시한다. 본 발명은 미립자가 부유되고 있는 기체를 작동유체로 포화시켜 포화기체를 생성하는 포화기와, 포화기의 하류에 연결되어 있으며 포화기로부터 공급되는 미립자를 핵으로 액체방울이 생성되도록 포화기체를 응축하는 복수의 응축기들과, 응축기들의 하류에 연결되어 있고 응축기들로부터 공급되는 액체방울을 광학적으로 검출하는 복수의 광학입자 계수기들로 구성된다. 응축기들은 포화기와 광학입자 계수기들을 연결하는 응축기 튜브를 가지며, 응축기 튜브의 내면에 친수성 표면층이 형성되어 있고, 작동유체는 물로 이루어진다. 본 발명에 의하면, 단일의 포화기에 복수의 응축기들이 연결되어 다량의 에어로졸을 효율적으로 측정할 수 있다. 또한, 응축기 튜브의 내면에 친수성 물질이 코팅 또는 플라즈마 표면개질에 의하여 형성됨으로써, 작동유체로 물을 사용할 수 있으면서도 광학적인 방법으로 미립자를 쉽고 정확하게 계측할 수 있는 효과가 있다.

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