公开(公告)号：KR1020090011623A

公开(公告)日：2009-02-02

申请号：KR1020070075392

申请日：2007-07-27

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  세종공업 주식회사

Inventor： 김흥락 ,  이경일 ,  서호철 ,  조용준

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/00

Abstract: A hydrogen leakage sensor using a measurement resistor and a method of manufacturing the hydrogen leakage sensor are provided to mass-product the hydrogen leakage sensor through MEMS(Micro Electro Mechanical System) technology at a low cost. A hydrogen leakage sensor using a measurement resistor includes an SOI(Silicon On Insulator)(100), a silicon oxide film(200) formed on both sides of the SOI substrate, a first adhesive film(300) formed of Ti on the silicon oxide film, a coil-shaped platinum heater(400) formed on the first adhesive film, a first alumina insulating film(500) formed on the platinum heater, a second adhesive film(600) formed of Ti on the first alumina insulating film, a measurement resistor(610) formed of platinum on the second adhesive film, a second alumina insulating film(620) formed on the measurement resistor, a third adhesive film(630) formed of Ti on the second alumina insulating film, a platinum catalytic film(700) formed on the third adhesive film, and a back etched portion(800) formed by dry-etching the silicon oxide film and the SOI substrate.

Abstract translation: 提供使用测量电阻器的氢泄漏传感器和制造氢泄漏传感器的方法，以低成本通过MEMS（微机电系统）技术大量产生氢泄漏传感器。 使用测量电阻器的氢泄漏传感器包括SOI（绝缘体上硅）（100），形成在SOI衬底两侧的氧化硅膜（200），由氧化硅上的Ti形成的第一粘合膜（300） 膜，形成在第一粘合膜上的线圈状白金加热器（400），形成在铂加热器上的第一氧化铝绝缘膜（500），在第一氧化铝绝缘膜上由Ti形成的第二粘合膜（600） 在第二粘合膜上由铂形成的测量电阻器（610），形成在测量电阻器上的第二氧化铝绝缘膜（620），在第二氧化铝绝缘膜上由Ti形成的第三粘合膜（630），铂催化膜 700），以及通过干蚀刻氧化硅膜和SOI衬底形成的背面蚀刻部（800）。

公开(公告)号：KR1020080057469A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：KR1020060130805

申请日：2006-12-20

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  (주)세호코리아

Inventor： 김흥락 ,  김광일

IPC: C02F1/461 ,  C02F103/08

CPC classification number: C02F1/461 ,  C02F2103/08 ,  C02F2201/002 ,  C02F2201/4617

Abstract: An apparatus and a method for supplying safe cooling water used in a ship by seawater electrolysis are provided to cause marine aquatic microorganisms to be naturally annihilated or destroyed due to the growth inhibition of the aquatic microorganisms, thereby prevent the aquatic microorganisms from living in a supply pipe or a cooler by generating electrolyzed water and consistently supplying the electrolyzed water into a seawater inflow passage. An apparatus for supplying safe cooling water used in a ship by seawater electrolysis comprises: a tubular electrolyzed water generator(100) which has a positive electrode(130) and a negative electrode(140) formed on an inner peripheral surface thereof in such a shape that the electrodes face each other in a predetermined distance, and which is installed on a seawater inflow pipe for supplying seawater that cools a ship engine; a DC rectifier(200) installed with the electrolyzed water generator in parallel and connected to the positive electrode and the negative electrode by a cable to rectify and supply an electric current that is supplied to the positive electrode and the negative electrode; and connecting sockets(150a,150b) installed at both ends of the electrolyzed water generator to clamp the electrolyzed water generator to a seawater inflow pipe. The apparatus further comprises a concentration measuring sensor installed between the positive electrode and the negative electrode of the electrolyzed water generator such that the concentration measuring sensor is not interfered with the positive electrode and the negative electrode. Further, the positive electrode is made of titanium and the negative electrode is made of stainless steel.

Abstract translation: 提供一种通过海水电解提供船舶使用的安全冷却水的装置和方法，由于水生微生物的生长抑制，海洋水生微生物被天然湮灭或破坏，从而防止水生微生物生活在供水 管或冷却器，通过产生电解水并将电解水一贯地供应到海水流入通道中。 一种用于通过海水电解供应用于船舶的安全冷却水的装置，包括：管状电解水生成器（100），其具有形成在其内周面上的正极（130）和负极（140） 电极以预定距离彼此面对，并且其安装在用于供应用于冷却船舶发动机的海水的海水流入管中; 直流整流器（200），其并联安装有电解水发生器，并且通过电缆与正极和负极连接，以对提供给正极和负极的电流进行整流和供给; 以及安装在电解水发生器的两端的连接插座（150a，150b），以将电解水发生器夹紧到海水流入管。 该装置还包括安装在电解水发生器的正极和负极之间的浓度测量传感器，使得浓度测量传感器不会干扰正极和负极。 此外，正极由钛制成，负极由不锈钢制成。

公开(公告)号：KR100601253B1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：KR1020020082789

申请日：2002-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김영덕 ,  김흥락 ,  김광일 ,  정우철

IPC: G01P15/00

Abstract: 본 발명은 가속도 센서의 베이스 접합 구조에 관한 것으로서, 진동체에 연결되는 메인 베이스와, 상기 메인 베이스로부터 진동체의 진동을 전달받는 유니트 베이스와, 상기 유니트 베이스에 설치되고 상기 전달된 진동을 전기적 신호로 변환시키는 압전체를 구비하는 가속도 센서에 있어서, 프리프레그(prepreg)로 상기 메인 베이스와 유니트 베이스를 접합시키는 것을 특징으로 하며, 이러한 방법에 의해 정렬이 용이하고, 두께가 얇음에도 불구하고 절연특성 및 전단강도가 아주 우수한 접합층을 갖게 되므로 고온에서도 연화되지 않고 절연특성이 우수한 가속도센서의 제조가 가능한 장점이 있으며, 또한 이러한 방법으로 제조된 접합층의 절연특성이 기존의 방법에 비하여 월등히 뛰어나 산업현장에서 사용할 경우 내노이즈 특성이 우수한 장점이 있다.
가속도센서, 압전체, 절연체, 베이스, 프리프레그

公开(公告)号：KR1020060070749A

公开(公告)日：2006-06-26

申请号：KR1020040109344

申请日：2004-12-21

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김흥락 ,  김영덕 ,  김광일

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/22

Abstract: 본 발명은 ＭＯＳ형 수소 검지센서에 관한 것으로서,
제1 실리콘 기판(111); 상기 제1 실리콘 기판(111)의 양측면상에 형성된 제1 및 제2 실리콘 산화막(121,122); 상기 제1 실리콘 산화막(121)상에 형성된 제2 실리콘 기판(112); 상기 제2 실리콘 기판(112)상에 형성된 제3 실리콘 산화막(123); 상기 제3 실리콘 산화막(123)상에 형성된 수소 흡착금속층(130); 상기 수소 흡착금속층(130)상에 형성된 제1 전극층(141); 상기 제2 실리콘 기판(112)상의 또다른 위치에 형성된 제2 전극층(142);을 포함하여 이뤄진다.
수소 센서, 폭발, SOI 기판, 수소흡착 금속, MOS

公开(公告)号：KR1020060021981A

公开(公告)日：2006-03-09

申请号：KR1020040070718

申请日：2004-09-06

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김광일 ,  김흥락 ,  김영덕

IPC: H01L35/34 ,  H01L31/09

CPC classification number: H01L35/34 ,  G01J5/12 ,  H01L35/12

Abstract: 본 발명은 하부실리콘산화막과 하부실리콘층과 중앙실리콘산화막과 상부실리콘층과 상부실리콘산화막을 포함한 SOI 실리콘 기판 위에 고온부와 저온부를 포함하는 써모파일 적외선 센서를 제작하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SOI 실리콘 기판을 이용한 써모파일 적외선 센서의 제작방법은 고온부가 형성될 부분의 하부실리콘산화막을 패터닝하여 제거하고, 하부실리콘산화막을 마스크로 하여 하부실리콘층을 식각하는 제 1 단계와; 고온부의 흑체가 형성될 부분의 상부실리콘산화막을 패터닝하여 제거하고, 상부실리콘산화막을 마스크로 하여 상부실리콘층을 식각하는 제 2 단계와; 저온부가 형성될 부분의 상부실리콘층을 제거한 후 상부실리콘층과 연결되는 알루미늄전극을 형성하여 열전쌍을 형성하는 제 3 단계와; 고온부가 형성될 부분의 상부실리콘층 위에 상부절연막과 금속박막을 순차적으로 적층하는 제 4 단계와; 알루미늄전극 위에 금속패드와 와이어를 연결하고 에폭시로 채우는 제 5 단계와; 금속박막을 처리하여 흑체를 형성하는 제 6 단계를 포함한다.
멤브레인, 써모파일, 적외선 센서, 열전쌍, 제백효과, SOI웨이퍼

公开(公告)号：KR1020050063457A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020030094864

申请日：2003-12-22

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  김광일 ,  김영덕 ,  김흥락

IPC: G01B11/24

Abstract: 본 발명은 선재의 진원도 및 직선도 측정장치에 관한 것으로서
선재의 진원도 및 직선도를 측정하는 장치에 있어서, 바닥면을 구성하는 베이스프레임(10)과; 상기 베이스프레임(10)의 양쪽 단부의 중앙에 설치되어 선재(3)를 지지하는 선재지지대(7)와; 상기 선재지지대(7)에 지지된 선재(3)를 회전시키는 회전구동부(9)와: 상기 선재(3)의 양쪽에 상기 선재(3)와 수평으로 설치된 안내부(6)와; 상기 선재(3)의 길이방향과 수직으로 설치되고, 상기 안내부(6)를 따라서 상기 선재(3)의 길이방향으로 직선왕복운동하는 직선구동부(5)와; 상기 이송부(5)의 일단부에 설치되고, 레이저(4)를 발광시켜서 상기 선재(3)에 조사하는 레이저발광부(1)와; 상기 이송부(5)의 타단부에 설치되고, 상기 레이저발생부(1)에서 발광한 레이저(4)를 수광하는 레이저수광부(2)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하며,
수작업으로 이루어지는 시험 평가 과정의 자동화와 경향관리를 통한 품질 관리기능 강화되며 생산제품의 사용자의 다양한 요구를 적절하게 만족시킬 수 있는 사전 및 사후의 품질관리 기술의 확보할 수 있고, 생산품 및 향후 개발품의 정확한 품질관리를 통한 제품 생산 및 개발기능의 보완하여 생산제품과의 적절한 경쟁력 확보를 통한 기존시장의 안정화 및 신규 수요창출 극대화 하는 효과를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020040056226A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：KR1020020082799

申请日：2002-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김흥락 ,  김광일 ,  김영덕

IPC: G01N27/30

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an AgCl/Ag thin film reference electrode for a chemical sensor is provided to improve performance of the AgCl/Ag thin film reference electrode by improving micro roughness of the AgCl/Ag thin film reference electrode. CONSTITUTION: A first intermediate metal layer is deposited on an upper surface of a silicon oxide layer(3) by using a nickel as a source. A second intermediate metal layer is formed on an upper surface of a nickel layer by using titanium as a source, thereby improving surface roughness of a reference electrode. An Ag layer(2) is deposited on an upper surface of the second intermediated layer. An AgCl layer(1) is formed on an upper surface of the Ag layer(2) by using a solution containing Cl radical. The reference electrode is heat-treated at a temperature of about 200 to 400°C.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于化学传感器的AgCl / Ag薄膜参比电极的方法，以通过改善AgCl / Ag薄膜参比电极的微观粗糙度来改善AgCl / Ag薄膜参比电极的性能。 构成：通过使用镍作为源，第一中间金属层沉积在氧化硅层（3）的上表面上。 通过使用钛作为源，在镍层的上表面上形成第二中间金属层，从而提高参考电极的表面粗糙度。 Ag层（2）沉积在第二中间层的上表面上。 通过使用含有Cl自由基的溶液，在Ag层（2）的上表面上形成AgCl层（1）。 参考电极在约200-400℃的温度下热处理。

公开(公告)号：KR100434759B1

公开(公告)日：2004-06-07

申请号：KR1020010048571

申请日：2001-08-11

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  김영덕 ,  김광일 ,  김흥락 ,  오민환 ,  김동수

IPC: G01N27/333

Abstract: PURPOSE: A sensor measuring hydrogen ion concentration and dissolved oxygen and an apparatus for measuring the same using the sensor are provided to easily handle and use the apparatus for measuring by simultaneously measuring hydrogen ion concentration and dissolved oxygen with a micro sensor. CONSTITUTION: A sensor measuring hydrogen ion concentration and dissolved oxygen includes a base formed with a silicon wafer and having a measurement groove(12) for measuring hydrogen ion concentration, a reference groove(14), a dissolved oxygen sensor part; a measurement electrode(16) formed at the surface of the measurement groove measuring excited voltage of a solution to be measure; a reference electrode(18) attached to the surface of the reference groove; a detecting electrode(26) attached to the dissolved oxygen sensor part; a sensing membrane(20) formed at the lower hole of the measurement groove to be contacted with the solution; a transmissive film(22) formed at the lower hole of the reference groove to be contacted with the solution; a wall member attached to around each groove and the sensor part to secure a space for filling the solution in each groove and the sensor part; and a sealing member preventing the filled solution from leaking out or evaporating.

Abstract translation: 目的：提供一种测量氢离子浓度和溶解氧的传感器以及一种使用该传感器测量该传感器的装置，以通过使用微传感器同时测量氢离子浓度和溶解氧来容易地处理和使用测量设备。 构成：测量氢离子浓度和溶解氧的传感器包括由硅晶片形成并具有用于测量氢离子浓度的测量槽（12）的基座，基准槽（14），溶解氧传感器部件; 测量电极（16），形成在测量待测溶液的激励电压的测量槽的表面处; 参考电极（18），其附接到参考凹槽的表面; 安装在溶解氧传感器部分上的检测电极（26） 形成在所述测量凹槽的所述下部孔处以与所述溶液接触的传感膜（20） 透射膜（22），形成在基准凹槽的下孔处以与溶液接触; 围绕每个凹槽和传感器部件附接的壁构件，以确保用于填充每个凹槽和传感器部件中的溶液的空间; 以及防止填充的溶液泄漏或蒸发的密封构件。

公开(公告)号：KR100332918B1

公开(公告)日：2002-06-20

申请号：KR1019970073940

申请日：1997-12-26

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  엠이엠씨코리아 주식회사

Inventor： 류근걸 ,  강성건 ,  김동수 ,  김흥락

IPC: H03H9/30

Abstract: PURPOSE: A method of selectively etching a titanium film of surface acoustic filter is provided to etch a titanium film selectively without corroding an aluminum film and an SiO2 piezoelectric substrate in a surface acoustic filter. CONSTITUTION: A titanium film having a thickness of 30 to 5000 angstrom is formed on an SiO2 substrate, and an aluminum film is formed on the titanium film. After etching the aluminum film, the titanium film is etched by depositing the SiO2 substrate, in which the aluminum film is etched, in a mixed solution of H2O, H2O2 and NH4OH. The ratio of H2O:H2O2:NH4OH is 3-6:1:1.

公开(公告)号：KR1020020017120A

公开(公告)日：2002-03-07

申请号：KR1020000050235

申请日：2000-08-29

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  김광일 ,  김흥락

IPC: H01L51/00

Abstract: PURPOSE: A reference electrode of pH meter and a fabricating method thereof are provided to fabricate stably an electrode by forming a titanium/molybdenum before an etching process and by etching a space therebetween. CONSTITUTION: A molybdenum layer is formed on a predetermined portion of a surface of a silicon wafer by using a depositing process. A titanium layer is formed on a surface of the molybdenum layer by performing the depositing process. A cavity is formed by using an etch solution on a predetermined portion of an outer circumference formed with the titanium/molybdenum layer. A potassium chloride(KCl) is charged into the cavity. A sealing process for an edge portion of a neighboring titanium/molybdenium layers and the potassium chloride(KCl) is performed.

Abstract translation: 目的：提供pH计的参比电极及其制造方法，通过在蚀刻工艺之前形成钛/钼并蚀刻其间的空间来稳定地制造电极。 构成：通过使用沉积工艺在硅晶片的表面的预定部分上形成钼层。 通过进行沉积工艺在钼层的表面上形成钛层。 通过在形成有钛/钼层的外周的预定部分上使用蚀刻溶液形成空腔。 将氯化钾（KCl）装入空腔。 对相邻的钛/钼层和氯化钾（KCl）的边缘部分进行密封处理。