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公开(公告)号：KR101350403B1
公开(公告)日：2014-01-13
申请号：KR1020110139285
申请日：2011-12-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 렌즈 제작 시 플루오르고분자 박막을 코팅하여 소수성 막을 형성시킴으로써 렌즈의 개구수(Numerical Aperture)를 증가시킬 수 있는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고개구수 렌즈 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 플루오르고분자(fluoropolymer) 코팅을 이용한 고개구수 렌즈 제조방법은 기판에 적어도 하나의 실린더 형상 패턴을 형성하는 단계; 상기 형성된 실린더 형상 패턴의 상부 및 상기 실린더 형상 패턴으로부터 노출된 기판의 표면에 플루오르고분자(fluoropolymer) 박막을 코팅하는 단계; 및 상기 플루오르 고분자 박막이 코팅된 상기 실린더 형상 패턴을 포함한 전면에 대해 열처리 공정을 수행하여 미세 렌즈를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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