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公开(公告)号:KR1020050089897A
公开(公告)日:2005-09-09
申请号:KR1020040015254
申请日:2004-03-06
Applicant: 안강호
Inventor: 안강호
IPC: G01N15/02
CPC classification number: G01N15/065 , G01N15/0205 , G01N25/142 , G01N2015/0046
Abstract: 본 발명은 클린룸등의 청정공간내의 입자들의 크기별 분포와 개수를 측정할 수 있는 입자측정시스템 및 입자측정방법을 개시한다. 본 발명에 따른 입자측정시스템 및 입자측정방법은 각 응축핵계수기의 각 포화기와 각 응축기의 온도차 또는 각 응축핵계수기에 유입되는 기체의 유량을 조절함으로써 각 응축핵계수기에서 성장될 수 있는 입자의 최소크기는 상이하게 되며, 이에 따라 입자들의 크기별 분포 와 개수를 계산할 수 있다. 본 발명에 따른 입자측정시스템 및 입자측정방법은 1회의 측정으로 기체 중의 입자들의 크기별 분포와 개수들을 신속하고 정확하게 구할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号:KR100511628B1
公开(公告)日:2005-09-01
申请号:KR1020030038567
申请日:2003-06-14
IPC: G01N21/33
CPC classification number: G01N21/6456 , G01N21/6486
Abstract: 본 발명은 공기 중에 부유하는 입자들을 관성충돌에 의하여 포집하여 그 중 미생물의 존재 유무를 형광작용에 의한 이미지 분석을 이용하여 판독하는 공기 중 미생물의 판독 시스템 및 그 방법을 개시한다. 본 발명의 판독 시스템은 몸체의 체임버에 회전할 수 있도록 설치되는 포집판과, 포집판을 회전시키는 구동장치와, 포집판에 공기 중의 입자들이 관성충돌에 의하여 포집되도록 공기를 분사하는 노즐과, 포집판에 포집되는 입자들에 자외선을 조사하는 자외선램프와, 자외선램프로부터 조사되는 자외선에 의하여 포집판의 입자들 중 형광작용을 하는 미생물의 이미지데이터를 출력하는 카메라와, 카메라로부터 입력되는 미생물의 이미지데이터를 처리하여 미생물을 판독하는 컴퓨터로 구성된다. 본 발명에 의하면, 노즐에 의하여 회전하는 포집판에 공기를 분사하여 공기 중에 부유하는 입자들을 관성충돌에 의하여 포집하고, 자외선의 조사에 의하여 형광작용을 하는 미생물의 이미지데이터를 카메라의 촬영에 의하여 획득한 후, 미생물의 이미지데이터를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 미생물의 존재 유무를 실시간으로 판독할 수 있다. 또한, 노즐의 분사에 의한 관성충돌에 의하여 공기 중에 부유하는 미생물의 포집을 간편하고 효율적으로 실시할 수 있으며, 공기 중의 미생물을 현장에서 신속하고 정확하게 판독할 수 있으면서도 이동, 설치와 조작이 매우 간편한 효과가 있다.
Abstract translation: 目的:提供一种在空气中解释微生物的系统和方法,以通过使用荧光操作的图像分析来解释微生物是否存在于空气中。 构成:在空气中解释微生物的系统包括具有室(11)的主体(10)。 收集板(20)可移动地安装在主体(10)的室(11)处。 提供驱动装置(30)以使收集板(20)旋转。 提供注射装置以将空气喷射到收集板(20)上,以便通过惯性碰撞在集电板(20)上的空气中收集颗粒。 紫外线灯(50)向收集板(20)上聚集的颗粒辐射紫外线。 照相机(60)基于收集板(20)的颗粒之间的荧光操作输出微生物的图像数据。
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公开(公告)号:KR100441851B1
公开(公告)日:2004-07-27
申请号:KR1020010031211
申请日:2001-06-04
CPC classification number: B01J19/088 , B01J12/002 , B01J2219/00146 , B01J2219/0811 , B01J2219/083 , B01J2219/0849 , B01J2219/0871 , B01J2219/0883 , B01J2219/0894 , B03C3/38 , B03C3/41 , B03C2201/10 , C01G1/00 , C01G1/02 , C01G49/02 , H05H1/48 , H05H2001/483
Abstract: An apparatus and method for manufacturing particles using corona discharge is disclosed. A discharge electrode is provided within a guide duct and reaction gases are supplied into the guide duct. A high voltage is applied to the discharge electrode and a low voltage is applied to the guide duct to generate a voltage difference therebetween. When heat energy is applied to the reaction gases, chemical reactions occur in the gases and particles are made by the chemical reactions. The particles form new particles centering around ions as nuclei which are generated by corona discharge and moves along the guide duct. A collecting plate positioned in front of the guide duct collects the particles.
Abstract translation: 公开了一种使用电晕放电制造颗粒的装置和方法。 放电电极设置在导管内并且反应气体被供应到导管内。 向放电电极施加高电压,并且向导管施加低电压以在其间产生电压差。 当热能施加到反应气体时,化学反应在气体中发生,颗粒由化学反应制成。 这些颗粒形成以离子为中心的新粒子,作为由电晕放电产生的核心并沿着导管移动。 位于导管前方的收集板收集颗粒。
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公开(公告)号:KR100418684B1
公开(公告)日:2004-02-14
申请号:KR1020030042584
申请日:2003-06-27
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A differential pressure flow controller for gases used in semiconductor process is provided to measure and control accurately the flow of the semiconductor process gas by generating the differential pressure from the flow path of the semiconductor process gas. CONSTITUTION: A body(10) includes a flow path of gases. A control valve(20) is used for controlling the flow of the semiconductor process gas by opening or shutting the flow path of the body. A differential pressure generation element(30) is used for generating the differential pressure from the flow path of the body. A tube(40) penetrates the differential pressure generation element. A pressure sensor(50) is inserted into the tube in order to detect the differential pressure of the flow path due to the differential pressure generation element. A CPU(Central Processing Unit)(60) produces the flow of the gases and controls the control valve according to a detection signal of the pressure sensor.
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公开(公告)号:KR200324880Y1
公开(公告)日:2003-08-27
申请号:KR2020030018849
申请日:2003-06-16
IPC: G01N1/00
Abstract: 본 고안은 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물을 관성충돌에 의하여 포집하는 공기 중 미생물의 포집장치를 개시한다. 체임버를 갖는 몸체와, 몸체의 체임버에 회전할 수 있도록 설치되는 포집판과, 포집판을 회전시키는 구동수단과, 포집판에 공기 중의 입자들에 포함되어 있는 미생물이 관성충돌에 의하여 포집되도록 공기를 분사하는 노즐로 구성된다. 본 고안에 의하면, 노즐에 의하여 회전하는 포집판에 공기를 분사하여 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물 관성충돌에 의하여 간편하게 포집함으로써, 미생물의 포집 효율을 크게 향상시킬 수 있으며, 미생물이 포집판의 한곳에 과다하게 포집되는 것을 효과적으로 방지하여 미생물을 균일하게 포집할 수 있다. 또한, 몸체, 구동장치와 공기도입장치의 간단한 구성에 의하여 식품가공분야, 생화학 테러 등 다양한 현장에 간편하게 설치 및 이동하여 미생물의 포집을 실시할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号:KR1020010098715A
公开(公告)日:2001-11-08
申请号:KR1020010020890
申请日:2001-04-18
IPC: B01J2/00
CPC classification number: B01J2/04 , B01J2/02 , B05B1/14 , B05B5/0255 , B05B5/0533 , B05B7/168 , B05B7/201
Abstract: 본 발명은 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치와 그 제조방법을 개시한다. 본 발명을 구성하는 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치는 금속유기물, 금속할로겐화합물 등의 전구체 또는 비휘발성물질 또는 비휘발성입자가 공급되며 선단에 노즐을 구비하는 하나 이상의 모세관이 유도덕트의 내부에 위치한다. 모세관과 유도덕트의 사이에 전압차가 형성되어 노즐로부터 고하전의 초미세입자가 방출되도록 모세관과 유도덕트에는 전압이 각각 인가된다. 모세관의 노즐로부터 방출되는 고하전의 초미세입자는 유도덕트를 따라 운반기체에 의하여 운반된다. 초미세입자에 열에너지가 가해져 초미세입자에는 화학반응이 발생하고 화학반응이 일어난 초미세입자는 유도덕트의 전방에 위치하는 포집판에 의하여 포집된다.
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公开(公告)号:KR1020010078078A
公开(公告)日:2001-08-20
申请号:KR1020010003722
申请日:2001-01-26
IPC: B05B5/00
CPC classification number: B05B5/005 , B05B5/087 , B05B5/1608
Abstract: PURPOSE: An electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles is provided to allow high charged hyperfine particles to be stayed in a specific space, and to naturally suck the outside air. CONSTITUTION: The electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles comprises a hollow typed cylinder(20); a capillary tube(10) penetrating the hollow typed cylinder; and a power source(40) serving to generate the difference of voltage between the hollow typed cylinder and the capillary tube. The capillary tube provided on the tip end of the hollow typed cylinder is connected with a liquid injection device(50). The capillary tube comprises a nozzle(12) disposed on the tip end thereof serving to discharge sprayed particles, and a penetrating hole(32) communicating with the interior of the hollow typed cylinder. The hollow typed cylinder is constructed by connecting many short tubes electrically insulated each other. Different voltages are applied to each short tube of the hollow typed cylinder. Also, an injection member(30) is fitted in the end of the hollow typed cylinder.
Abstract translation: 目的:提供一种能够引导喷雾颗粒的电液注射装置,以使高电荷超细颗粒停留在特定空间中,并自然地吸入外部空气。 构成:能够引导喷雾颗粒的电液注射装置包括中空型圆筒(20); 穿过中空型圆筒的毛细管(10); 以及用于产生中空型气缸和毛细管之间的电压差的电源(40)。 设置在中空型圆筒的前端的毛细管与液体注入装置(50)连接。 毛细管包括设置在其顶端的用于排出喷雾颗粒的喷嘴(12),以及与中空型圆柱体的内部连通的穿透孔(32)。 中空型圆柱体通过连接许多短管彼此电绝缘而构成。 不同的电压施加到中空型圆筒的每个短管。 此外,注射构件(30)装配在中空型圆柱体的端部中。
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公开(公告)号:KR1020100085395A
公开(公告)日:2010-07-29
申请号:KR1020090004655
申请日:2009-01-20
CPC classification number: G01N15/065
Abstract: PURPOSE: A particle counting unit is provided to count fine articles stably and accurately through a condensation particle detection unit of a multi-channel and simple structure. CONSTITUTION: A particle counting unit(10) comprises a housing, an atomizer unit(200), a saturator(400) and a condenser. The atomizer unit is arranged in the housing and accomplishes fluid communication with a high pressure DI(deionized) water line. The atomizer unit is branched from the high pressure DI water line and sprays the DI water including particles. The saturator is arranged on the downstream of the atomizer unit in the housing. The saturator saturates the particles with the saturation working fluid. The condenser condenses the particles saturated with the saturation working fluid.
Abstract translation: 目的:提供一种粒子计数单元,通过多通道和简单结构的冷凝颗粒检测单元稳定准确地计数细小物品。 构成:粒子计数单元(10)包括壳体,雾化器单元(200),饱和器(400)和冷凝器。 雾化器单元布置在壳体中并且实现与高压DI(去离子)水管线的流体连通。 雾化器单元从高压DI水线分支并喷射包括颗粒的去离子水。 饱和器布置在壳体中的雾化器单元的下游。 饱和器饱和颗粒与饱和工作液体。 冷凝器冷凝饱和饱和工作流体的颗粒。
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公开(公告)号:KR1020100041580A
公开(公告)日:2010-04-22
申请号:KR1020080100829
申请日:2008-10-14
CPC classification number: G01N15/065
Abstract: PURPOSE: A condensation particle counter is provided to condense particle through a virtual impactor and to accurately and quickly supply particle data to a user. CONSTITUTION: A condensation particle counter comprises a housing, distributor, saturator(300), condenser(400), virtual impactor(500), and counter(600). The saturator saturates aerosol with fluid. The condenser is placed inside the housing and is connected with the saturator. The condenser condenses particles inside the saturated aerosol. The impactor is placed at a location downstream of the condenser and classifies the aerosol into preset ratio. The counter is placed at a location downstream of the virtual impactor and is connected to the virtual impactor.
Abstract translation: 目的:提供冷凝颗粒计数器以通过虚拟冲击器凝结颗粒,并准确快速地向用户提供颗粒数据。 构成:冷凝颗粒计数器包括壳体,分配器,饱和器(300),冷凝器(400),虚拟冲击器(500)和计数器(600)。 饱和器饱和气溶胶与流体。 冷凝器放置在壳体内并与饱和器连接。 冷凝器将颗粒物凝结在饱和气溶胶内。 冲击器放置在冷凝器下游的一个位置,并将气溶胶分成预设的比例。 计数器位于虚拟冲击器下游的一个位置,并连接到虚拟冲击器。
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