公开(公告)号：BG66424B1

公开(公告)日：2014-03-31

申请号：BG11048009

申请日：2009-09-29

Applicant: AMG TEHNOLODZHI OOD ,  STAVROV VLADIMIR

Inventor： STAVROV VLADIMIR

IPC: G01Q30/02 ,  G01Q70/02

Abstract: Изобретениетосеотнасядосензоризасканиращасондовамикроскопия (SРМ), коитоосигуряватвисокаточности разделителнаспособностприизмерване, методзатримерноизмерванес подобнисензории методзаполучаванетоим, които, чрезизмерваненаизмененияв амплитудата, честотата, фазоватаразликаилинатунеленток, намиратприложениезаопределяненатопографскирелеф, геометриченразмерилидругахарактеристиканаобектив различниобластинатехниката. Сензоритесесъстоятоттяло, микроконзолаи сондовачаст, коитоиматобщаплоскаповърхност, вкоятое формиранпонеединелементзафункционализираневъввиднаотвори/иликанавка, вкойтое поместенхетерогененсондовелементкатовъглероднананотръба (СNТ), борнаилиборнитриднананотръба, нанонишка, нанокристали др., включителносъссложнаформа, напримерцилиндърсъссфера. Методътнатримерноизмерванедававъзможност, катосеизползватсензори, притежаващиеластичностпотринаправления, собичайнататехниказасканиращасондовамикроскопия, приизмерванев даденаточка, дасеопределятхарактеристикитенаобразецав тритенаправлениябеззавъртаненасензораи/илинаизследванияобразец. Изобретениетосеотнасяи дометодзаполучаваненаописанитесензориповъзпроизводими точенначин.@

公开(公告)号：BG111143A

公开(公告)日：2013-08-30

申请号：BG11114312

申请日：2012-02-16

Applicant: AMG TEHNOLODZHI OOD ,  STAVROV VLADIMIR

Inventor： STAVROV VLADIMIR

IPC: B81B7/00

Abstract: The device is intended for scanning probe microscopy (SPM), including scanning atomic force microscopy (AFM). It consists of a passive holder body (6) having dimensions, which are usual for scanning probe microscopy SPM sensors, and provided with a trench (10), disposed towards its narrow side. The device further comprises a monolithic actual sensor (7) of reduced dimensions, consisting of a micro cantilever (3') and a probe element, said sensor (7) being inserted and rigidly cantilevered in the trench (10) of the passive holder body (6). In an embodiment, the device comprises a second, cantilevered structure (11) at the free end of the actual sensor body. In other embodiments a ratio of the micro cantilever length to the length of the side of the actual sensor body, wherefrom the micro cantilever extends, is in the range from 1:10 to 5:1. With the described device to overcome the technological difficulties in production and operation of sensors SPM due to the large difference betweenthe micro cantilever length of and size of the country wherefrom the micro cantilever extends in currently manufactured sensors.