公开(公告)号：JPS5884473A

公开(公告)日：1983-05-20

申请号：JP19066582

申请日：1982-10-29

Applicant: ASEA AB

Inventor： TORUGUNII BUROGARUDO ,  KURISUTERU OBUREN

IPC: H01L31/10 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/102

公开(公告)号：JPS57119238A

公开(公告)日：1982-07-24

申请号：JP19267181

申请日：1981-11-30

Applicant: Asea Ab

Inventor： TORUGUNII BUROGARUDO ,  ANDERUSU RINGE ,  RARUSU SANDERU

IPC: G01N21/21 ,  G01D5/26 ,  G01J4/00 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01J4/00 ,  G01D5/268