公开(公告)号：EP4091023A1

公开(公告)日：2022-11-23

申请号：EP20821256.3

申请日：2020-12-15

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： VAN DER WOORD, Ties, Wouter ,  HILDENBRAND, Volker, Dirk ,  DONMEZ NOYAN, Inci ,  GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria ,  KLEIN, Alexander, Ludwig

IPC: G03F1/62 ,  G03F7/20

公开(公告)号：EP3762142A1

公开(公告)日：2021-01-13

申请号：EP19706407.4

申请日：2019-02-07

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： KURGANOVA, Evgenia ,  GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria ,  KLEIN, Alexander, Ludwig ,  NASALEVICH, Maxim, Aleksandrovich ,  NOTENBOOM, Arnoud, Willem ,  PÉTER, Mária ,  VAN ZWOL, Pieter-Jan ,  VLES, David, Ferdinand ,  VOLLEBREGT, Sten ,  VOORTHUIJZEN, Willem-Pieter

IPC: B01J23/652 ,  B01J23/883 ,  B01J23/885 ,  B01J23/28 ,  B01J23/30 ,  B01J27/22 ,  B01J21/18 ,  B01J37/02 ,  B01J35/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20