公开(公告)号：EP4367632A1

公开(公告)日：2024-05-15

申请号：EP22734528.7

申请日：2022-06-03

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： LIANG, Haoyi ,  CHEN, Yani ,  YANG, Ming-Yang ,  YANG, Yang ,  HUANG, Xiaoxia ,  CHEN, Zhichao ,  YU, Liangjiang ,  WANG, Zhe ,  PU, Lingling

IPC: G06T7/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/3014820130101 ,  G06T2207/1006120130101 ,  H01L22/10

公开(公告)号：EP4356201A1

公开(公告)日：2024-04-24

申请号：EP22732013.2

申请日：2022-05-20

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： PU, Lingling ,  LIN, Yuzhang ,  WANG, Teng ,  WANG, Bo ,  LA GRECA, Raphael, Eric ,  HUNSCHE, Stefan

IPC: G03F7/20 ,  G06T7/12

CPC classification number: G03F7/70616 ,  G06T7/12 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/3014820130101 ,  G06T2207/1006120130101

公开(公告)号：EP4367627A1

公开(公告)日：2024-05-15

申请号：EP22734500.6

申请日：2022-06-02

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： LIANG, Haoyi ,  CHEN, Zhichao ,  PU, Lingling ,  CHANG, Fang-Cheng ,  YU, Liangjiang ,  WANG, Zhe

IPC: G06T3/00 ,  G06T7/33

CPC classification number: G06T7/337 ,  G06T3/14 ,  G06T5/80

公开(公告)号：EP4147195A1

公开(公告)日：2023-03-15

申请号：EP21724633.9

申请日：2021-05-06

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： FANG, Wei ,  FEI, Ruochong ,  PU, Lingling ,  ZHOU, Wentian ,  YU, Liangjiang ,  WANG, Bo

IPC: G06T5/00 ,  G06T5/20 ,  G06T5/50