工件飘浮装置
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100522765C

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200410097982.7

    申请日:2004-12-01

    CPC classification number: B65G51/03 B65G49/061 B65G2249/02 H01L21/67784

    Abstract: 通过与确定于本体(28)中的供给口(26)连接的管(38)向确定于本体(28)中的连通腔室(36)供给压力流体。压力流体通过流体喷射部件(32)而从连通腔室(36)朝着工件(18)喷射,该流体喷射部件(32)由多孔材料制成,并通过板(34)而安装在本体(28)的端表面上。工件(18)通过朝着工件(18)喷射的压力流体和在工件(18)和板(34)之间流动的压力流体而向上漂浮并保持在空中。

    去静电方法及其装置
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100441064C

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200410076894.9

    申请日:2004-09-09

    CPC classification number: H05F3/04

    Abstract: 提供一种通过给一对电极针的一侧施加高电压,将另一侧接地,而无须接地的接地板的去静电方法及其装置。在由绝缘材料构成的保持件(5)内彼此相向配置单一或多个可个别施加正负高电压的一对电极针(6a、6b)。以短周期交替切换给上述电极针的一侧施加正或负的高电压的同时,将另一侧的电极针接地的通电状态,以及将施加了上述高电压的电极针接地的同时,给上述接地的电极针施加与上述高电压正负相反的高电压的通电状态,根据上述电极针的高电压使生成的正离子以及负离子作用于去静电对象而进行去静电。

    去电装置
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101204122A

    公开(公告)日:2008-06-18

    申请号:CN200680022373.2

    申请日:2006-06-19

    CPC classification number: H01T23/00 H01T19/04

    Abstract: 提供一种可近距离设置的去电装置,其在工件近距离上设置去电装置的情况下,可在防止工件表面电位极端性上升的同时进行去电。设置多个放电针(5a、5b)的同时,在设有向这些放电针周围喷出气体的气体喷出口(6)的保持件(4)上安装罩(8),其由覆盖上述放电针(5a、5b)的导电性多孔材料形成,该罩(8)使离子化的气体从该罩(8)表面均匀释放的同时,还具有通过接地吸收一部分离子的功能。

    电离器
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1783607A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510127044.1

    申请日:2005-11-29

    CPC classification number: H01T23/00 B03C3/36 B03C3/38

    Abstract: 使电离器中的筒状外壳内的空气流路具有在确保有效截面积的同时不会体积增大的耐压性,流路的确保也变得简单容易。为此,具备在内部容纳高压电源单元(2)及控制单元(3)的筒状外壳(1),并沿该外壳(1)的纵向排列多个具有电极针(5a、5b)以及向其周围喷出空气流的空气吹出口(6)的电极单元(4)。其中,利用合成树脂形成上述筒状外壳的沿纵向的一部分,在由该合成树脂构成的树脂外壳(12)上一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁、在该外壳(12)的纵向上延伸的空气流路(15)的流路筒(12b),并使该空气流路连通到上述空气吹出口(6)。

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