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公开(公告)号：FR2890438B1
公开(公告)日：2007-11-30
申请号：FR0509173
申请日：2005-09-08
Inventor： BAVOUX BERNARD , DANEL JEAN SEBASTIEN , ROBERT PHILIPPE , PAULY MAXIME
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22.发明专利
公开(公告)号：FR2898597A1
公开(公告)日：2007-09-21
申请号：FR0650902
申请日：2006-03-16
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: Pour réaliser une structure d'un microsystème électromécanique (MEMS) au sein d'une cavité hermétique (38) d'un dispositif microélectronique (50), un capot (30) et un substrat (10) préparés sont scellés par un scellement direct de silicium (SDB). Pour optimiser la préparation des surfaces par un nettoyage humide sans altérer les propriétés du MEMS (22), c'est-à-dire sans occasionner de collage, la structure MEMS (22) n'est pas libérée lors du scellement, mais solidarisée au support (12) par une couche intermédiaire sacrificielle (16). Celle-ci est supprimée une fois le scellement réalisé par injection d'HF vapeur par l'intermédiaire d'un évent (40) débouchant dans la cavité (38).
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公开(公告)号：DE60307672T2
公开(公告)日：2007-09-06
申请号：DE60307672
申请日：2003-11-27
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
IPC: H01H59/00
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公开(公告)号：DE60307136T2
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：DE60307136
申请日：2003-11-27
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
IPC: H01H59/00
Abstract: The invention relates to an electrostatic microswitch which is intended to connect electrically two strip conductors which are disposed on an insulating support ( 21 ), the two strip conductors are connected electrically by conducting means ( 38 ) which are provided in the central part of deformable means ( 28 ) which can be deformed in relation to the support under the effect of an electrostatic force generated by control electrodes ( 25, 48; 26, 58 ). The control electrodes are distributed facing one another on the deformable means and the support, such as to form capacitive means around the aforementioned conducting means. The control electrodes are associated with insulating stop elements ( 35, 36 ) which are provided in order to prevent a short circuit between electrodes of the capacitive means during the deformation of the deformable means. The distance between the deformable means and the ends of the strip conductors is less than or equal to the distance between the insulating stop elements associated with the control electrodes and the control electrodes located opposite.
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公开(公告)号：AT369612T
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：AT04767860
申请日：2004-06-30
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：FR2890438A1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：FR0509173
申请日：2005-09-08
Inventor： BAVOUX BERNARD , DANEL JEAN SEBASTIEN , ROBERT PHILIPPE , PAULY MAXIME
Abstract: Cette structure de capteur notamment pour un environnement sévère dans un véhicule automobile, est caractérisée en ce qu'elle comprend un corps de capteur (1) comportant à une extrémité, un élément (2) sensible à la grandeur à mesurer dans l'environnement sévère et à une autre extrémité, un circuit (3) de raccordement de celui-ci, placé hors de l'environnement sévère, séparés physiquement l'un de l'autre, raccordés par des moyens de transmission d'informations par courant porteur sur un conducteur électrique (5) du capteur auquel l'élément sensible et le circuit de raccordement sont associés par des moyens de couplage sans fil et entre lesquels sont prévus des moyens (4) de protection du circuit de raccordement à l'encontre de l'environnement.
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公开(公告)号：FR2880128A1
公开(公告)日：2006-06-30
申请号：FR0414033
申请日：2004-12-29
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
IPC: G01P15/08
Abstract: Accéléromètre à peignes capacitifs comportant un substrat (5), une électrode mobile (2) par rapport audit substrat (5) munie d'un ensemble de doigts mobiles (7), une électrode (4) fixe par rapport audit substrat (5) munie d'un ensemble de doigts fixes (8A, 8B), chacun desdits doigts mobiles (7) étant disposé entre deux doigts fixes contigus (8A, 8B) de manière à former une microstructure à peignes interdigités.Selon l'invention les doigts mobiles (7) sont solidarisés entre eux par au moins une première poutre de liaison (20) gravée directement dans le substrat (5), et/ou, les doigts fixes (8A, 8B) sont solidarisés entre eux par au moins une deuxième poutre de liaison (22) gravée directement dans le substrat (5).
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公开(公告)号：FR2868591B1
公开(公告)日：2006-06-09
申请号：FR0403586
申请日：2004-04-06
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: A microswitch comprises a deformable membrane including two substantially parallel flexure arms, attached to a substrate via at least one end thereof and comprising thermal actuating means. An elongated contact arm, substantially parallel with the flexure arms, is arranged therebetween and attached thereto at the high deformation areas thereof. The contact arm moves in a direction substantially parallel to the substrate upon actuation of the microswitch, and comprises electrostatic holding electrodes and a conducting pad.
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公开(公告)号：FR2874257A1
公开(公告)日：2006-02-17
申请号：FR0451849
申请日：2004-08-13
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: L'invention propose un micro-gyromètre (10), avantageusement usiné selon les techniques classiques en microélectronique, basé sur la détection des forces de Coriolis générées par un mouvement angulaire (Ω) perpendiculaire à la direction (X) de vibration de masses (12, 12') mobiles dans le plan (X, Y) du gyromètre (10).La détection des forces de Coriolis est effectuée par le déplacement que celles-ci exercent sur le mode propre d'un résonateur (22) couplé au dispositif mobile (20).
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公开(公告)号：FR2849016B1
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：FR0216088
申请日：2002-12-18
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , MICHEL FRANCE , MAEDER PACHURKA CATHERINE , SILLON NICOLAS
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