公开(公告)号：CN104364923B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201380029575.X

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。

公开(公告)号：CN104641481A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048271.8

申请日：2013-08-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 前岛和彦 ,  仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  田中美知

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

CPC classification number: H01L41/04 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。

公开(公告)号：CN104576915A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410564550.6

申请日：2014-10-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 会田康弘 ,  太田龙 ,  田中美知 ,  千原宏 ,  佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC classification number: H01L41/0805 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01L1/16 ,  G01L9/008 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。