公开(公告)号：JP6620637B2

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：JP2016063484

申请日：2016-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 大槻史朗 ,  原田祥典 ,  小須田正則 ,  鈴木翔太 ,  ▲高▼橋和子

IPC: H01L27/04 ,  H01G4/10 ,  H01G4/12 ,  H01L21/822

公开(公告)号：JP6575411B2

公开(公告)日：2019-09-18

申请号：JP2016063483

申请日：2016-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 大槻史朗 ,  原田祥典 ,  小須田正則 ,  鈴木翔太 ,  ▲高▼橋和子

IPC: H01G4/12 ,  H01G4/30 ,  C04B35/468 ,  H01G4/33

公开(公告)号：JP2017183321A

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：JP2016063484

申请日：2016-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 大槻史朗 ,  原田祥典 ,  小須田正則 ,  鈴木翔太 ,  ▲高▼橋和子

IPC: H01L27/04 ,  H01G4/33 ,  H01G4/12 ,  H01L21/822

Abstract: 【課題】高い比誘電率を有する誘電体薄膜を備え、良好な絶縁耐圧を有する誘電体薄膜素子を提供する。 【解決手段】第1の電極と、前記第1の電極上に形成された誘電体薄膜と、前記誘電体薄膜上に形成された第2の電極とを備えた誘電体薄膜素子であって、前記誘電体薄膜は、BaTiO 3 を主成分とした第1の誘電体と、組成式[BaO] m [TiO 2 ]で表した場合、前記組成式中のmが0.40≦m≦0.60である第2の誘電体とから成り、前記第2の誘電体は、前記第1の電極と少なくとも接し、かつ、島状であることを特徴とする。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2017183320A

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：JP2016063483

申请日：2016-03-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 大槻史朗 ,  原田祥典 ,  小須田正則 ,  鈴木翔太 ,  ▲高▼橋和子

IPC: H01G4/12 ,  C04B35/468 ,  H01G4/33

Abstract: 【課題】高い比誘電率を有する誘電体薄膜を備え、良好なDCバイアス特性と、良好な温度特性を示す誘電体薄膜素子を提供する。 【解決手段】第1の電極と、前記第1の電極上に形成された第1の誘電体薄膜と、前記第1の誘電体薄膜上に形成された第2の誘電体薄膜と、前記第2の誘電体薄膜の上に形成された第2の電極と、を備えた誘電体薄膜素子であって、前記第1の誘電体薄膜及び前記第2の誘電体薄膜は、BaOとTiO 2 とを主成分とし、前記第1の誘電体薄膜は、mBaO−nTiO 2 で表した場合、mとnとの関係が0.40≦m/n≦0.60であり、前記第2の誘電体薄膜は、mBaO−nTiO 2 で表した場合、mとnとの関係が0.90≦m/n≦1.10で表されることを特徴とする。 【選択図】図1