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公开(公告)号:JP2020019253A
公开(公告)日:2020-02-06
申请号:JP2018146266
申请日:2018-08-02
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂成形時の基板の変形量に着目して樹脂成形による成形対象物の変形を抑制することができる。 【解決手段】成形対象物W1の第1面Waを保持し、第1面Waとの間で空間を形成する凹部2Mを有する第1型2と、第1型2に対向して設けられ、樹脂材料Jを収容するキャビティ3Cを有する第2型3と、凹部2M内に気体を供給する気体供給部6と、成形対象物W1の変形に関する情報を計測する変形計測部8と、変形計測部8の計測結果に基づいて、気体供給部6による気体の供給量を制御する制御部9とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2019081320A
公开(公告)日:2019-05-30
申请号:JP2017210386
申请日:2017-10-31
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】ノズルの周辺構造を複雑化することなく、ノズルにおいて液状樹脂を加熱する 【解決手段】互いに対向する一対の成形型14、23の間に挿入されて、一対の成形型14、23の少なくとも一方の成形型14に形成されたキャビティ26に液状樹脂30を供給するためのノズル29であって、表面の少なくとも一部に黒化処理が施されている。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2017183443A
公开(公告)日:2017-10-05
申请号:JP2016067078
申请日:2016-03-30
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】フィルムにしわやたわみの発生を低減して樹脂成形する。 【解決手段】互いに対向して配置される第1型8及び第2型9の少なくとも一方にキャビティ17が設けられた成形型を用い、成形型を型締めして樹脂成形を行う樹脂成形装置であって、第1型8と第2型9との間にフィルム12を送り出す送り出し機構13と、第1型8と第2型9との間からフィルム12を巻き取る巻き取り機構14と、送り出し機構側に設けられた第1ローラ15と、巻き取り機構側に設けられた第2ローラ16と、第1ローラ15の回転軸19と第2ローラ16の回転軸19とのうち少なくとも1つの対象軸19の一端部と他端部とのそれぞれに複数取り付けられた主筒状部材20とを備え、複数の主筒状部材20のうち、外側の主筒状部材20cの外径が内側の主筒状部材20aの外径よりも大きく、複数の主筒状部材20が前記対象軸19に対して着脱可能である。 【選択図】図2
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