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公开(公告)号:JP2021102257A
公开(公告)日:2021-07-15
申请号:JP2020092991
申请日:2020-05-28
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B24B21/04 , B24B9/00 , H01L21/304 , B24B7/02
Abstract: 【課題】研削対象物に対する粗研削及び仕上げ研削において平坦度を一定にする。 【解決手段】板状の研削対象物Wを保持する複数のテーブル2と、研削対象物Wを粗研削する少なくとも1つの粗研削部4と、研削対象物Wを仕上げ研削する少なくとも1つの仕上げ研削部5とを備え、複数のテーブル2それぞれに、粗研削部4及び仕上げ研削部5が移動可能に構成されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018118189A
公开(公告)日:2018-08-02
申请号:JP2017009893
申请日:2017-01-24
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】液状樹脂等の流動性樹脂の吐出工程に要する時間の短縮を図る。 【解決手段】吐出装置であるディスペンサ15は、流動性樹脂である液状樹脂32を貯留する貯留部であるシリンジ20と、液状樹脂32を押し出す押し出し機構であるプランジャ27を少なくも含む機構と、シリンジ20に接続され液状樹脂32を吐出する吐出部17と、吐出部17に取り付けられた弾性変形可能なチューブ36と、チューブ36を挟んで移動可能なクランパ18と、クランパ18の移動量を制御する制御部31とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2017193095A
公开(公告)日:2017-10-26
申请号:JP2016084120
申请日:2016-04-20
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: H01L2224/97 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】樹脂吐出機構の吐出口に残留樹脂が垂れ下がって残留する状態を早期に解消する。 【解決手段】樹脂成形装置は、上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型と、キャビティに流動性樹脂29を供給するために、流動性樹脂29を吐出対象物17に吐出する樹脂吐出機構18と、樹脂吐出機構18の吐出口20aから残留樹脂30が垂れ下って残留する状態を強制的に解消する残留状態解消機構である樹脂除去機構21と、キャビティに流動性樹脂29が供給された成形型を型締めする型締機構とを備える。樹脂除去機構21は、残留樹脂30を付着させるフィルム状部材22を送り出す送り出し機構23と、フィルム状部材22を巻き取る巻き取り機構24と、フィルム状部材22を残留樹脂30の除去位置に配置させる配置部材25、26とを含む。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2017177455A
公开(公告)日:2017-10-05
申请号:JP2016066051
申请日:2016-03-29
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】複数の吐出口からの流動性樹脂の吐出量のばらつきを容易に低減する。 【解決手段】樹脂成形装置は、互いに対向して配置される上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型と、キャビティに流動性樹脂25を供給するために、流動性樹脂25を吐出する樹脂吐出機構18と、成形型を型締めする型締機構とを備える。樹脂吐出機構18は、流動性樹脂25の流入口40と吐出口37との間において分岐された分岐流路41を有する流路部材38と、それぞれの分岐流路41内に配置され、流動性樹脂25の通過に伴い回転可能な回転体45と、分岐流路41内に配置された回転体45のそれぞれを連動させて回転させる連動機構43とを含む。このことにより、複数の吐出口37からの流動性樹脂25の吐出量のばらつきを容易に低減する。 【選択図】図3
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公开(公告)号:JP2015193096A
公开(公告)日:2015-11-05
申请号:JP2014071297
申请日:2014-03-31
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂成形装置において、ノズルに圧縮空気を供給することによって液状樹脂を吐出する。 【解決手段】ディスペンサ1の先端に取り付けられたノズル6に、樹脂供給口14と樹脂吐出口15とエア供給口16とを設ける。樹脂供給口14を、水平方向に沿って延びる樹脂通路22aと樹脂通路22aに直交して鉛直方向に延びる樹脂通路22bとを介して樹脂吐出口15につなぐ。コンプレッサ7から樹脂押圧力P0よりも大きい圧力P1で圧縮空気をエア供給口16に供給し、液状樹脂2がエア供給口16に進入することを防止する。樹脂通路22bに貯留された液状樹脂2に、P1より大きい圧力P2で圧縮空気を吹き付けることによって、樹脂吐出口15から樹脂通路22bに残留した液状樹脂2を押し出して所定量の液状樹脂2をキャビティ21に供給する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种通过向喷嘴供给压缩空气来排出液体树脂的树脂成型装置。解决方案:设置树脂供给口14,树脂排出口15和空气供给口16,用于安装在喷嘴6的喷嘴6。 树脂供给口14通过沿水平方向延伸的树脂通道22a和与树脂通道22a正交并沿正交方向延伸的树脂通道22b连接到树脂排出口15。 压缩空气以大于树脂挤出力P0的压力P1从压缩机7供给到空气供给口16,以防止液体树脂2进入供气口16.通过将压缩空气喷射到聚集在树脂通路中的液体树脂2 在压力P2大于P1的情况下,残留在树脂通道22b中的液体树脂2从树脂排出口15挤出,并将预定量的液体树脂2供应到空腔21。
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