公开(公告)号：JP2019040899A

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：JP2017159274

申请日：2017-08-22

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 藤原 直己 ,  黄 善夏

IPC: B24B27/06 ,  B24B49/02 ,  B24B49/12 ,  H01L21/56 ,  H01L25/10 ,  H01L25/11 ,  H01L25/18 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】ワークの研削量のばらつきを抑制する。 【解決手段】加工装置は、ワーク2を加工する加工装置であって、ワーク2を載置するテーブル4と、ワーク2を研削する研削機構8と、ワーク2のワーク厚み方向における少なくともワーク2の一部の位置を測定する測定機構19とを備え、研削機構8は研削砥石10を有し、測定機構19によって測定された測定値に基づき、ワーク厚み方向における研削砥石の位置が制御される。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2019005857A

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：JP2017124214

申请日：2017-06-26

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 宮田 和志 ,  黄 善夏

IPC: B26D1/14 ,  B26D7/26 ,  B24B27/06 ,  H01L21/301 ,  B24B45/00

Abstract: 【課題】ブレードの自動交換を実現可能にする。 【解決手段】ブレード交換機構は、ブレード(22)を吸着するように構成される第1吸着部(4)と、第1吸着部(4)の内側に位置して第1吸着部(4)による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第2吸着部(5)と、第2吸着部(5)の内側に位置してブレード(22)をスピンドル(21)に脱着可能とする脱着部材(24)を回転可能に構成される脱着部材回転部(6)と、を備える。 【選択図】図4

公开(公告)号：JP6333894B2

公开(公告)日：2018-05-30

申请号：JP2016136037

申请日：2016-07-08

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 黄 善夏

IPC: H01L23/50 ,  H01L23/12

CPC classification number: H01L23/12 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2924/00014