METHOD OF AND APPARATUS FOR TREATING WASTE GAS BY IRRADIATION WITH ELECTRON BEAM
    21.
    发明申请
    METHOD OF AND APPARATUS FOR TREATING WASTE GAS BY IRRADIATION WITH ELECTRON BEAM 审中-公开
    用电子束照射废物处理废气的方法和装置

    公开(公告)号:WO1990004448A1

    公开(公告)日:1990-05-03

    申请号:PCT/JP1988001101

    申请日:1988-10-28

    CPC classification number: B01D53/60 B01D53/007 B01D2259/812 B01J19/081

    Abstract: A method of and apparatus for treating waste gas by irradiation with electron beams wherein an electron beam irradiation chamber for irradiation with electron beams from an electron beam accelerator is provided in the vicinity of a main duct for waste gas; a part of the waste gas to be treated is introduced into the electron beam irradiation chamber where the waste gas is irradiated with electron beams to thereby form active species such as O and OH radiacals; the waste gas having the active species formed therein is fed int the waste gas main duct by means of a feeding device; the waste gas fed into the waste gas main duct is dispersed into and mixed with the waste gas flowing through the main duct by means of a dispersing device, thereby changing noxious (gas) ingredients in the waste gas into the form of a mist or dust by the action of the active species; and the mist or dust is captured by means of a capturing device, for example, a dust collector.

    Abstract translation: 用于通过电子束照射处理废气的方法和装置,其中在用于废气的主管道附近设置有用于从电子束加速器照射电子束的电子束照射室; 待处理的废气的一部分被引入电子束照射室中,其中废气被电子束照射,从而形成活性物质如O和OH辐射; 其中形成有活性物质的废气通过进料装置在废气主管道内进料; 进入废气主管道的废气通过分散装置分散并流入主管道内的废气,从而将废气中的有害(气体)成分变成雾或灰尘的形式 通过活性物种的作用; 并且通过捕获装置,例如集尘器捕获雾或灰尘。

    PARTICULES SUBMICRONIQUES COMPRENANT DE L'ALUMINIUM
    26.
    发明申请
    PARTICULES SUBMICRONIQUES COMPRENANT DE L'ALUMINIUM 审中-公开
    包括铝的亚尺寸颗粒

    公开(公告)号:WO2015079050A1

    公开(公告)日:2015-06-04

    申请号:PCT/EP2014/076021

    申请日:2014-11-28

    Applicant: NANOMAKERS

    Abstract: La présente invention concerne un procédé pour produire des particules (10), comprenant comme étapes: on introduit dans une chambre de réaction au moins un flux de réaction (1) comprenant un premier élément chimique (typiquement Silicium) et se propageant selon une direction de flux (11); on projette un faisceau de rayonnement (3) à travers la chambre de réaction en intersection avec chaque flux de réaction (1) dans une zone d'interaction (14) par flux de réaction, pour former dans chaque flux de réaction des cœurs de particules comprenant le premier élément chimique, et on introduit, dans la chambre de réaction, un deuxième élément chimique (par exemple Aluminium) interagissant avec chaque flux de réaction (1) pour recouvrir les cœurs de particules d'une couche comprenant le deuxième élément chimique. Chaque flux de réaction (1) est de préférence dénué d'agent oxydant le premier élément chimique.

    Abstract translation: 本发明涉及一种生产颗粒(10)的方法,包括以下步骤:将包含第一化学元素(通常为硅)并沿流动方向(11)传播的至少一个反应流(1)引入反应室, ; 在反应流相互作用区域(14)中将射线束(3)投影通过反应室与每个反应流(1)相交,以在每个反应流中形成包括第一化学元素的粒子的核心,以及 在反应室中引入与每个反应流(1)相互作用的第二化学元素(例如铝),以便用包含第二化学元素的层覆盖颗粒的芯。 每个反应流(1)优选不含氧化第一化学元素的试剂

    IN-SITU GENERATION OF THE MOLECULAR ETCHER CARBONYL FLUORIDE OR ANY OF ITS VARIANTS AND ITS USE
    27.
    发明申请
    IN-SITU GENERATION OF THE MOLECULAR ETCHER CARBONYL FLUORIDE OR ANY OF ITS VARIANTS AND ITS USE 审中-公开
    分子氧化碳氟化物或任何其变体及其使用的现场生成

    公开(公告)号:WO2014039425A1

    公开(公告)日:2014-03-13

    申请号:PCT/US2013/057796

    申请日:2013-09-03

    Abstract: The molecular etcher carbonyl fluoride (COF2) or any of its variants, are provided for, according to the present invention, to increase the efficiency of etching and/or cleaning and/or removal of materials such as the unwanted film and/or deposits on the chamber walls and other components in a process chamber or substrate (collectively referred to herein as "materials"). The methods of the present invention involve igniting and sustaining a plasma, whether it is a remote or in-situ plasma, by stepwise addition of additives, such as but not limited to,. a saturated, unsaturated or partially unsaturated perfluorocarbon compound (PFC) having the general formula (CyFz) and/or an oxide of carbon (COx) to a nitrogen trifluoride (NF3) plasma into a chemical deposition chamber (CVD) chamber, thereby generating COF2.

    Abstract translation: 根据本发明,提供分子蚀刻剂碳酰氟(COF 2)或其任何变体,以提高蚀刻和/或清洁和/或去除诸如不需要的膜和/或沉积物之类的材料的效率 处理室或基板(这里统称为“材料”)中的室壁和其它部件。 本发明的方法包括通过逐步添加添加剂(例如但不限于)来点燃和维持等离子体,无论其是远距离还是原位等离子体。 具有通式(CyFz)的饱和,不饱和或部分不饱和全氟化碳化合物(PFC)和/或与三氟化氮(NF 3)等离子体的碳(CO x)氧化物进入化学沉积室(CVD)室,从而产生COF 2 。

    粒子線照射システムとその運転方法
    30.
    发明专利
    粒子線照射システムとその運転方法 审中-公开
    颗粒束辐照系统及其操作方法

    公开(公告)号:JP2015047260A

    公开(公告)日:2015-03-16

    申请号:JP2013180178

    申请日:2013-08-30

    Abstract: 【課題】出射ビームエネルギーの変更制御とともに運転周期の更新、ビームの出射を短時間で実現する粒子線照射システムを提供する。【解決手段】シンクロトロン13を構成する機器の制御データを、初期加速制御データと、複数の出射制御データと、複数の出射制御データ間を接続する複数のエネルギー変更制御データを組み合わせるとともに、出射制御データ内に複数の出射制御データに対応した出射条件設定データと出射条件解除データを有するものとする。【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种在短时间内实现操作周期和光束发射更新以及发射束能量变化控制的粒子束照射系统。解决方案:在配置同步加速器13的设备的控制数据中,初始加速度 控制数据,多个排放控制数据和用于连接多个排放控制数据的多个能量变化控制数据组合在一起。 在排放控制数据内设置与多个排放控制数据相对应的排放条件设定数据和排放条件抵消数据。

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