一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺

    公开(公告)号:CN105887027A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610306488.X

    申请日:2016-05-11

    Abstract: 本发明属于冶金材料技术领域,具体涉及一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺,包括制粉、成型、真空烧结和机械加工步骤,所述制粉包括以下步骤:将钼粉和铌粉按照重量比为6?10:1的比例装入球磨机中,然后加入过程控制剂和氧化锆磨球,在氩气保护下进行球磨,过筛,分离得到钼铌合金复合粉末;所述过程控制剂和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0.01?0.05倍、5?20倍;所述的过程控制剂为硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种。本发明所得钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞,平均晶粒尺寸为40?65μm,其密度≥9.85g/cm3,性能优异,可广泛的应用于平面显示器等领域。

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