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公开(公告)号：TWI619883B
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW102109327
申请日：2013-03-15
Applicant: 愛發科機工股份有限公司 , ULVAC KIKO, INC.
Inventor： 大坂泰介 , OSAKA, TAISUKE , 田邊優作 , TANABE, YUSAKU , 長野元泰 , CHOUNO, MOTOYASU , 糸山龍二 , ITOYAMA, RYUJI
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
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