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公开(公告)号:CN105391920A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201510526441.X
申请日:2015-08-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西村晃幸
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/26 , G01J2003/1239
Abstract: 本发明提供一种可以迅速取得高精度的分光图像的分光图像取得装置以及分光图像取得方法。分光相机具备具有一对反射膜和变更反射膜间的间隙尺寸的静电致动器的波长可变干涉滤波器(5)、具有多个摄像像素的摄像部(122)以及滤波控制部(153),该滤波控制部(153)根据记录有用于摄像部(122)的各摄像像素接收目标波长的控制量的受光波长数据,控制静电致动器。作为受光波长数据,对每个摄像像素设定从波长可变干涉滤波器(5)射出的目标波长的取得次数、且按间隙驱动量变小的顺序设定该取得次数,记录用于使目标波长的光以设定的取得次数射出的值。
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公开(公告)号:CN105334561A
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201510783816.0
申请日:2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括:第一基板;第二基板,以与第一基板相对的方式配置;第一反射膜,配置在第一基板和第二基板之间;第二反射膜,配置在第二基板和第一反射膜之间;以及第一电极,用于除去第一反射膜的带电,在从第二基板侧看第一基板侧时,具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域,第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
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公开(公告)号:CN102313984B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201110189166.9
申请日:2011-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/288 , G01J3/26 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了滤光器、滤光器模块、分光测量仪和光设备。该滤光器具有:第一可变波长带通滤波器,其能够将第一波段(400nm~460nm)分光,并且具有以上述第一波段内的第一波长为中心波长的第一光谱带以及以第一波段内的第二波长为中心波长的第二光谱带;以及第二可变波长带通滤波器,其能够将邻接于第一波段的第二波段(480nm~540nm)分光,并且具有以第二波段内的第三波长为中心波长的第三光谱带以及以第二波段内的第四波长为中心波长的第四光谱带。
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公开(公告)号:CN102466516B
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201110259007.1
申请日:2011-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 舟本达昭
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G02B13/22 , G02B26/001
Abstract: 一种光学装置。其具备波长可变干涉滤光器、远心光学系统以及检测部,波长可变干涉滤光器具备:第一基板;第二基板,具备可动部和保持部;第一反射膜,设置在所述第一基板上;第二反射膜,设置在所述可动部上;以及静电致动器,使可动部位移,其中,在第一反射膜和第二反射膜上设置有测定有效区域,在可动部的位移量变为最大时,能够使以测定中心波长为中心且处于预先设定的容许值以内的波长的光透过,远心光学系统以使入射光的主光线平行且垂直于第一反射膜的方式将入射光导向所述波长可变干涉滤光器,同时使入射光会聚在测定有效区域内。
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公开(公告)号:CN105045292A
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:CN201510205381.1
申请日:2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
IPC: G05D3/12
CPC classification number: G05B11/14 , B81B2201/031 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/505 , G02B5/286 , G02B5/288 , G02B26/001 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15),偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称,并且能够分别独立地驱动,电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸,导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。
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公开(公告)号:CN105022160A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201510487456.X
申请日:2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括:第一基板;与第一基板相对配置的第二基板;配置在第一、第二基板之间的第一反射镜;配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜;配置在第一、第二基板之间的第一电极;以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极,其中,第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面,第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面,第一电极配置在第一、第二电极面之间,并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分,第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
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公开(公告)号:CN102221744B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201110098336.2
申请日:2011-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。
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公开(公告)号:CN103842784B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201280049230.6
申请日:2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806
Abstract: 分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光透过基板(3)、被配置于第2镜层(23)侧并且检测透过了干涉滤光部(20)的光的光检测基板(4)。空腔层(21)具有:被第1以及第2镜层(22,23)夹持的滤光区域(24)、从滤光区域(24)取得规定的距离来包围滤光区域(24)的环状的包围区域(25)、连接滤光区域(24)的光检测基板(4)侧的端部(24e)和包围区域(25)的光检测基板(4)侧的端部(25e)的环状的连接区域(26)。
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公开(公告)号:CN104656176A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201410659191.2
申请日:2014-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01J2003/1213 , G01J2003/1234 , G02B5/22 , G02B5/26 , G02B5/28 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。光学滤波器装置(500)具备:波长可变干涉滤波器(501),具有彼此相对的一对反射膜(54、55)以及改变一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器(56);带通滤波器(502),设置在一对反射膜(54、55)的光轴上。带通滤波器(502)具有多个使光透过的透过波段。
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公开(公告)号:CN104412080A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201380018730.8
申请日:2013-04-04
Applicant: 德尔格医疗有限责任公司
IPC: G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/433 , G01N21/3504
CPC classification number: G01N21/3504 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/433 , G01N2201/061 , G01N2201/0662 , G01N2201/068
Abstract: 本发明涉及接收液体吸收频谱用的装置,带有第一射线源(1),它沿着第一光程(11)在第一频谱范围内发射射线;带有安排在第一光程(11)中的第一测量段(5),沿过该测量段射线射过该液体;带有安排在第一光程(11)中的可调节的Fabry-Perot干涉计(7),可以作为可移动带通滤波器在第一频谱范围内透射射线;并带有第一检测器(9;35),在第一频谱范围内测量该射线的强度。按照本发明规定,该装置具有第一校准器(3)用以对射线进行频谱调制,它安排在第一光程(11)上并在第一频谱范围内具有多个透射最大值(17),建立该Fabry-Perot(7)(干涉仪)是为了由Fabry-Perot干涉计(7)形成的带通滤波器可以这样地在第一频谱范围上移动,使得第一校准器(3)对射线的频谱调制可以作为射线强度的时间调制由第一检测器(9,35)测量。
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