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公开(公告)号：CN103546115B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201310288176.7
申请日：2013-07-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 菊岛正幸
CPC classification number: H01L41/04 , G01L1/162 , G01L9/0022 , H03H9/15 , H03H9/2473
Abstract: 本发明实现一种振动片、振子、电子装置、电子设备以及移动体，其能够高精度地调节频率。振动片(1)具备：第一振动臂部(17)和第二振动臂部(18)；第一基部(13)和第二基部(14)，所述第一基部(13)连接第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)的一侧端部，所述第二基部(14)连接第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)的另一侧端部；锤膜(41～44)，其被设置在第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)中的每一个振动臂部上。驱动电极(20a～20c)和驱动电极(30a～30c)被配置在，于第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)上产生的变形最大的位置处，锤膜(41～44)被配置在，于第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)上产生的变形较小的位置处。通过去除锤膜(41～44)的一部分，从而能够高精度地调节振动片(1)的振动频率。
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公开(公告)号：CN106323511A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610638733.7
申请日：2016-08-05
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 单片式石英谐振压力/温度传感器及单片式力敏传感器的工艺方法，涉及一种压力/温度传感器。解决了现有的谐振式石英晶体压力/温度传感器体积大、工艺难度高、精密度低、稳定性差的问题。本发明采用了高稳定的力敏-热敏石英晶体切型、高品质因数的单片式力敏-热敏谐振器的结构、压力/压缩力的转换结构、石英低应力封接结构和工艺，采用低应力封接结构和工艺利用了石英晶体、SiC层、单晶硅、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的优良弹性，配合半导体工艺实现。虽然硅和石英材料的热膨胀系数不等，利用了非晶态SiC层的缓冲作用，大幅度地减少了石英压力/温度传感器的热应力。本发明适用于作为压力/温度传感器使用。
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公开(公告)号：CN102439405B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201080022073.0
申请日：2010-05-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01L1/10
CPC classification number: G01L9/0016 , G01L1/162
Abstract: 本发明提供一种物理量传感器，具备梁状的振动体和支撑梁状的振动体的两端的固定部。另外，在梁状的振动体的中央部形成驱动元件，在两端部形成反馈元件。构成为使梁状的振动体进行固有振动，并通过检测振动体的固有振动频率来检测作用于梁状的振动体的物理量。由此，能够以稳定的状态检测作用于物体的应变和载荷等物理量。
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公开(公告)号：CN102667512A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080053652.1
申请日：2010-10-20
Applicant: AVL里斯脱有限公司
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L1/162 , G01L9/08 , G01L27/007 , G01R31/2829
Abstract: 为了运行机电式转换器系统，该转换器系统包括至少一个压电式转换器元件、必要时至少一个识别元件、和一个控制电子装置，经由一个带有仅一个电信号导线的导线系统一方面传输确定的有效运行范围的有效信号和另一方面也传输用于转换器系统识别和/或功能检验的查询信号和应答信号，该有效运行范围由有效信号的频带和时间窗限定，该有效信号配设于至少一个压电式转换器元件。在此为了实现简单且可靠地诊断输入电路的电缆断裂，同时相应提高运行可靠性、缩短故障查找时间和简化操作，将至少一个位于转换器元件的有效运行范围外部的查询信号传输到转换器系统上和由所产生的应答信号形成至少一个特性值并且针对至少一个先前确定的标准进行查询，其中，在不满足标准的情况下生成故障报告。
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公开(公告)号：CN1834595B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610059675.9
申请日：2006-03-17
Applicant: 爱信精机株式会社
IPC: G01G19/52
CPC classification number: G01L1/162 , G01G3/13 , G01G3/165 , G01G19/4142
Abstract: 一种载荷检测装置，配备：传感器元件(10)，其配设在支持体上，并且，在单个元件内具有产生振动和检测振动的功能，且将施加在所述支持体上的载荷和加速度转换为检测信号；驱动部(20)，其输出使所述传感器元件振动的驱动信号；振动检测部(30)，其提取来自所述传感器元件的检测信号，并且，基于所提取的检测信号，检测所述传感器元件的振动特性值；配线(15)，其将所述传感器元件、所述驱动部、和所述振动检测部电连接，并且，传递叠加信号，所述叠加信号叠加来自所述驱动部的驱动信号和来自所述传感器的检测信号；和运算部(40)，其基于来自所述振动检测部的振动特性值，运算施加在所述传感器元件的载荷和加速度中的其中一方或双方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101287977A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200680034440.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 伊利诺斯工具制品有限公司
Inventor： 迈克尔·威廉姆·福德
IPC: G01L1/16 , G01L9/00 , G01P15/097
CPC classification number: G01L1/10 , G01L1/162 , G01P15/097
Abstract: 来自振动梁(11)的力被施加到力传感器(10)，激励压电装置(12)引起梁以其共振频率振动，以及测量压电装置(12)测量该频率，该频率表征施加到梁(11)的力。激励和测量压电装置(12)连接于梁(11)的一个末端且互相邻近。
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公开(公告)号：CN1834595A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610059675.9
申请日：2006-03-17
Applicant: 爱信精机株式会社
IPC: G01G19/52
CPC classification number: G01L1/162 , G01G3/13 , G01G3/165 , G01G19/4142
Abstract: 一种载荷检测装置，配备：传感器元件(10)，其配设在支持体上，并且，在单个元件内具有产生振动和检测振动的功能，且将施加在所述支持体上的载荷和加速度转换为检测信号；驱动部(20)，其输出使所述传感器元件振动的驱动信号；振动检测部(30)，其提取来自所述传感器元件的检测信号，并且，基于所提取的检测信号，检测所述传感器元件的振动特性值；配线(15)，其将所述传感器元件、所述驱动部、和所述振动检测部电连接，并且，传递叠加信号，所述叠加信号叠加来自所述驱动部的驱动信号和来自所述传感器的检测信号；和运算部(40)，其基于来自所述振动检测部的振动特性值，运算施加在所述传感器元件的载荷和加速度中的其中一方或双方。
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公开(公告)号：CN1233987C
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN02160458.4
申请日：2002-12-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山下宗治
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/162 , G01P15/09
Abstract: 一种力学量传感器，其中，2个压电振子(Sa、Sb)设置成因加速度等力学量产生的应力为相互相反。电流电压转换-信号加法电路(11)将在2个压电振子(Sa、Sb)中流动的电流信号转换成电压信号。电压放大-限幅电路(12)将这两个电压信号的和信号放大，使与电流信号同相位的电压信号(Vosc)正反馈产生振荡。相位差电压转换电路(13)产生与电压转换后的Sa信号和Sb信号的相位差成正比的电压信号。放大—滤波电路(14)对其直流放大，除去不需要的频率成分。从而可以不需要进行为降低2个压电振子的特性离散的电路部的调整以及消除这种离散要因，并且能使压电振子和电路部之间相隔一定距离且不需要用相位位移电路控制相位位移量。
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公开(公告)号：CN1077024A
公开(公告)日：1993-10-06
申请号：CN93101220.1
申请日：1993-02-15
Applicant: 脱罗尼克斯称量股份有限公司
Inventor： 托马斯·H·约翰逊
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/14 , G01L1/162 , G01L1/2206 , G01L9/0005 , G01L9/0022
Abstract: 本发明公开一种载荷传感器，它用以测量由诸如重力、加速度、压力以及类似东西所产生的力和独立位移。该载荷传感器具有一种梁式结构，其中的梁至少在一个平面上相互平行设置。通常，这些平行的梁设置到一个固定的基板上，并在两根梁之间设置敏感装置。工作时，由于在第二根梁中的相关偏转或作用，一根梁的偏转将在敏感装置中产生一个响应。
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公开(公告)号：CN109269689A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810630069.0
申请日：2018-06-19
Applicant: 斯凯孚航空法国公司
Inventor： Y.希伯拉德
CPC classification number: G01M13/045 , F16C17/24 , F16C19/52 , F16C41/008 , F16C2233/00 , G01M13/021 , G01M13/028 , G01M13/04 , G01L1/16 , G01D5/12 , G01L1/162
Abstract: 一种机械功能部件，包括至少一个传感器，其被配置为将一个或多个物理量值转换为电传感器信号，所述传感器包括直接沉积在机械功能部件上的电活性复合材料和直接沉积在电活性复合材料一部分上的至少一个导电电极。
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