Optischer Sensor
    23.
    发明公开
    Optischer Sensor 失效
    光学传感器

    公开(公告)号:EP0487992A2

    公开(公告)日:1992-06-03

    申请号:EP91119499.1

    申请日:1991-11-15

    Abstract: Ein optischer Sensor (1) weist eine integriert optische Anordnung zur Messung des optischen Absorptionskoeffizienten und der Brechzahl flüssiger oder gasförmiger Medien auf. Dieser optische Sensor kann als Interferometer ausgebildet sein, wobei in einem Wellenleiter-Zweig (4b) ein sensitiver Bereich (6) vorgesehen ist. In diesem sensitiven Bereich ist der Wellenleiterabschnitt des Wellenleiter-Zweiges (4b) mit einer sensitiven Schicht (8) aus einem Heteropolysiloxan überdeckt. Die übrigen Wellenleiterabschnitte sind durch eine dielektrische Schicht (7) abgedeckt.
    Durch die sensitive Schicht (8) aus einem Heteropolysiloxan ist in vorteilhafterweise eine selektive Wechselwirkung mit dem nachzuweisenden Stoff ermöglicht. Unter dem Einfluß des nachzuweisenden Stoffes ändert die sensitive Schicht (8) ihre optischen Eigenschaften, die entsprechend ausgewertet werden. Der optische Sensor kann insbesondee auch dort eingesetzt werden, wo elektrische Sensoren problematisch sind, insbesondere in der Umgebung von starken elektromagnetischen Impulsen oder HF-Strahlung oder auch in explosionsgefährdeter Umgebung.

    Abstract translation: 光学传感器(1)具有用于测量液体或气体介质的光学吸收系数和折射率的集成光学装置。 所述光学传感器可以被设计为干涉仪,敏感区域(6)设置在波导分支(4b)中。 在所述敏感区域中,波导管(4b)的波导部分被由异质聚硅氧烷制成的敏感层(8)覆盖。 剩余的波导段由电介质层(7)屏蔽。 由杂多硅氧烷组成的敏感层(8)有利地使得与待检测物质的选择性相互作用成为可能。 敏感层(8)的光学性质在受检物质的影响下发生变化,适当评价。 特别是,即使在电传感器存在问题的地方,特别是在强电磁脉冲或HF辐射附近,甚至在爆炸环境中也可以使用光学传感器。

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