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公开(公告)号：CN113451090B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202110722031.8
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种用于提高光电倍增管阴极量子效率可控性及一致性的方法，包括：获取不同量子效率的光电阴极制备过程中的光电流曲线；提取出与设定的量子效率区间对应的光电流曲线斜率的角度参考范围；在制备光电阴极的过程中，根据需要达到的量子效率区间选择对应的角度参考范围；以及以选择的角度参考范围为依据，在制备过程中将实际的光电流曲线斜率的角度与角度参考范围进行对比，对正在进行的阴极制备过程进行调整，使阴极制备过程中光电流曲线斜率的角度向所需量子效率的角度参考范围不断接近，最终制作出所需量子效率的光电阴极。本发明的调控方法可通过给出的参考值设定期望制作的量子效率值，在实际生产过程中可提高量子效率的可控性，从而提高了光电倍增管量子效率的一致性，避免单独针对某个量子效率进行调控时的不确定性和降低调控难度。
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公开(公告)号：CN114058447A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202210046809.2
申请日：2022-01-17
Applicant: 杭州安誉科技有限公司
Abstract: 本发明属于光电倍增管技术领域，具体涉及一种光电倍增管用光电阴极及其制备方法。本发明提供了一种光电倍增管用光电阴极，以铜铍合金为支撑基板，Be2N3薄膜为光电子反射层，K2CsSb薄膜为光电子发射层，弥补了现有技术中光电阴极材料量子效率低、稳定性差、噪声大的问题。
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公开(公告)号：CN113990733A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111264205.7
申请日：2021-10-27
Applicant: 中国科学院高能物理研究所
Abstract: 本公开提供一种大面积红外单光子探测器，包括：光子探测阴极(102)，光子探测阴极(102)的面积大于预设面积阈值；收集从光子探测阴极(102)放出的光电子的电子探测器(104)；以及容纳光子探测阴极(102)以及电子探测器(104)的真空容器(106)，真空容器(106)的壳体为透光材料；其中，光子探测阴极(102)包括附着在真空容器(106)的壳体的内表面或外表面的薄膜材料(1022)和附着在真空容器的壳体的内表面的光阴极层(1024)，薄膜材料(1022)用于将红外光转换为可见光，光阴极层(1024)用于使薄膜材料(1022)转换得到的可见光通过光电效应产生光电子。该方法实现了大面积光阴极探测器，来探测红外单光子，并能提高有效探测效率。
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公开(公告)号：CN112185795A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010953334.6
申请日：2020-09-11
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增管，具体涉及一种基于硅电子倍增器的混合型大面积光电倍增管，旨在解决现有光电倍增管响应时间较慢、制作装配流程复杂，加载电压过高致使高压器件负担增大，以及增大聚焦电极结构尺寸导致装配难度大等问题。该光电倍增管包括玻璃外壳、光电阴极、聚焦电极、硅电子倍增器以及电极引线，所述玻璃外壳为真空腔体，光电阴极沉积于玻璃外壳的入射端内表面，聚焦电极与硅电子倍增器置于所述真空腔体沿入射光方向的中心轴上。本发明采用工作于盖革模式下的硅电子倍增器可获得较好的单光子信号探测能力，采用金属圆盘聚焦、单级或多级静电聚焦电极结构可实现光电子的有效收集和提高大面积PMT探测效率。
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公开(公告)号：CN111403252A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010246717.X
申请日：2020-03-31
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明属于光电倍增管技术领域，公开一种光电倍增管使用的高量子效率低热发射的双碱光电阴极及其制备方法，获得的双碱光电阴极结构呈多层碱锑化物依次堆叠在基底上，从双碱光电阴极的基底至外表面方向上碱锑化物的组成呈锑元素逐渐减少、碱金属元素逐渐增多的规律，提高了微通道板型光电倍增管的量子效率；在制备过程中通过对钾和锑同蒸第一阶段中调整增加锑球电流的速率来控制光电流拐点，通过对钾和锑同蒸第二阶段中关锑观察反射率变化的综合调控，降低光电阴极的热电子发射，从而降低双碱阴极积分灵敏度，改善微通道板型光电倍增管的噪声，工艺一致性较好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111261488A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010077421.X
申请日：2020-01-29
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管，其制备过程包括：首先真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2eV。本发明提出的金属氮化物增透膜可有效提高光电倍增管的量子效率，同时通过本发明的转移式双工位的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备系统，可在一个钟罩下的两个工位的切换，实现金属薄膜的镀制和对金属薄膜的辉光离子氮化，快速实现光电倍增管光窗的金属氮化物增透膜的制备。
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公开(公告)号：CN111029240A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911284117.6
申请日：2015-11-13
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： D·麦凯
Abstract: 本发明涉及具有反射光电阴极阵列的光电倍增管(PMT)。具体的，提供一种光电倍增管PMT的具有反射光电阴极阵列的内部部分及一种用于制造所述内部部分的方法。所述PMT的所述内部部分包括所述反射光电阴极阵列及对应于所述反射光电阴极阵列的至少一个二次发射极结构。每一反射光电阴极接收光且从所述光产生光电子，所述光电子接着朝向所述至少一个二次发射极结构行进。在所述光电子与所述至少一个二次发射极结构接触后，所述光电子即刻倍增。
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公开(公告)号：CN107622930B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201710743036.2
申请日：2017-08-25
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
Abstract: 本发明公开了高量子效率的微通道板型光电倍增管、双碱光电阴极及制备方法，获得的双碱光电阴极呈多层碱锑化物依次堆叠在基底上，从双碱光电阴极的基底至外表面方向上碱锑化物的组成呈锑元素逐渐减少、碱金属元素逐渐增多的规律。由此获得稳定的双碱光电阴极结构，重复性好；且在双碱光电阴极内部形成自建电场，有利于电子被激发到真空中，由此得到的微通道板型光电倍增管的量子效率高。
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公开(公告)号：CN105684122B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201480058539.0
申请日：2014-08-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 透过型光电阴极(2)包括：光透过性基板(4)，其具有光入射的外侧面(4a)和出射从外侧面(4a)侧入射的光的内侧面(4b)；设置在光透过性基板(4)的内侧面(4b)侧、将从内侧面(4b)出射的光转换为光电子的光电转换层(5)；和设置在光透过性基板(4)和光电转换层(5)之间的由石墨烯构成的光透过性导电层(6)。
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公开(公告)号：CN107078016A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580059985.8
申请日：2015-11-13
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： D·麦凯
IPC: H01J43/08
Abstract: 本发明提供一种光电倍增管PMT的具有反射光电阴极阵列的内部部分及一种用于制造所述内部部分的方法。所述PMT的所述内部部分包括所述反射光电阴极阵列及对应于所述反射光电阴极阵列的至少一个二次发射极结构。每一反射光电阴极接收光且从所述光产生光电子，所述光电子接着朝向所述至少一个二次发射极结构行进。在所述光电子与所述至少一个二次发射极结构接触后，所述光电子即刻倍增。
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